公开(公告)号：CN101303365A

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200810055267.5

申请日：2008-06-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  张文栋 ,  石云波 ,  李丽华 ,  王楷群

IPC: G01P15/097 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明涉及微机械电子技术领域，具体是一种高灵敏度的谐振式微加速度计。解决了传统基于应力改变的谐振式加速度计的测量灵敏度易受内部残余应力等因素影响的问题，该加速度计包括玻璃基底、质量块、两双端固定音叉谐振器，两谐振器并列/排设置，且敏感电容侧相对，敏感电容包含若干个一侧极板经连接梁与音叉梁固定的平板电容，平板电容的另一侧极板经支撑连接梁整体固定；质量块设置于两谐振器之间，质量块与其两侧谐振器之间分别设置有一组对称的微杠杆，质量块两侧的微杠杆相对于质量块对称，微杠杆一端与质量块固定，另一端与平板电容的支撑连接梁固定。本发明结构合理，体积小，灵敏度高，检测效果好，具有良好的发展前景。

公开(公告)号：CN101017180A

公开(公告)日：2007-08-15

申请号：CN200710061572.0

申请日：2007-03-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  郭涛 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  马游春 ,  张斌珍 ,  李丽华 ,  毛海央 ,  翟成瑞

IPC: G01P15/00 ,  F42B15/01

Abstract: 本发明涉及一种微加速度计，具体是用于常规弹药制导抗高过载复合式微加速度计，解决了有些物理过程存在相差上百甚至上千倍的多个加速度值需要测量，而现有技术中一个微加速度计无法完成测试的问题。包括四组微加速度计单元，所述四组微加速度计单元按2×2阵列结构设置，上排两组微加速度计单元的压敏电阻沿固支梁的长度方向设置，下排两组微加速度计单元的压敏电阻沿固支梁的宽度方向设置，各微加速度计单元的框架为整体。本发明不但能同时感测4种不同的加速度信号，而且具有很好的抗干扰能力、较高的抗过载能力和自检测功能。

公开(公告)号：CN100520413C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200710061572.0

申请日：2007-03-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 郭涛 ,  熊继军 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  马游春 ,  张斌珍 ,  李丽华 ,  毛海央 ,  翟成瑞 ,  李杰

IPC: G01P15/00 ,  F42B15/01

Abstract: 本发明涉及一种微加速度计，具体是用于常规弹药制导抗高过载复合式微加速度计，解决了有些物理过程存在相差上百甚至上千倍的多个加速度值需要测量，而现有技术中一个微加速度计无法完成测试的问题。包括四组微加速度计单元，所述四组微加速度计单元按2×2阵列结构设置，上排两组微加速度计单元的压敏电阻沿固支梁的长度方向设置，下排两组微加速度计单元的压敏电阻沿固支梁的宽度方向设置，各微加速度计单元的框架为整体。本发明不但能同时感测4种不同的加速度信号，而且具有很好的抗干扰能力、较高的抗过载能力和自检测功能。

公开(公告)号：CN101303365B

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：CN200810055267.5

申请日：2008-06-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  张文栋 ,  石云波 ,  李丽华 ,  王楷群

IPC: G01P15/097 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明涉及微机械电子技术领域，具体是一种高灵敏度的谐振式微加速度计。解决了传统基于应力改变的谐振式加速度计的测量灵敏度易受内部残余应力等因素影响的问题，该加速度计包括玻璃基底、质量块、两双端固定音叉谐振器，两谐振器并列/排设置，且敏感电容侧相对，敏感电容包含若干个一侧极板经连接梁与音叉梁固定的平板电容，平板电容的另一侧极板经支撑连接梁整体固定；质量块设置于两谐振器之间，质量块与其两侧谐振器之间分别设置有一组对称的微杠杆，质量块两侧的微杠杆相对于质量块对称，微杠杆一端与质量块固定，另一端与平板电容的支撑连接梁固定。本发明结构合理，体积小，灵敏度高，检测效果好，具有良好的发展前景。