公开(公告)号：CN101590997A

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200910053221.4

申请日：2009-06-17

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  陈滢 ,  杨永亮

IPC: B81C1/00 ,  C23F1/40

Abstract: 本发明涉及一种使用湿法腐蚀在硅片单面低成本制作集成压阻二氧化硅悬臂梁的方法，属于硅微机械制造技术领域。具体特征是使用四甲基氢氧化铵水溶液通过各向异性腐蚀释放二氧化硅悬臂梁结构，并且使用钛金铬三层复合金属作为引线，与硅压阻形成良好的欧姆接触，同时兼容湿法腐蚀以及后期的化学敏感修饰。本发明的特点是制作工艺成本低廉、节约时间、成品率高、可批量生产且便于和压敏电阻集成。

公开(公告)号：CN111855756B

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN201910350247.9

申请日：2019-04-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 许鹏程 ,  徐东升 ,  李昕欣 ,  王雪晴 ,  于海涛 ,  陈滢

IPC: G01N27/12

公开(公告)号：CN105271361A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510713929.3

申请日：2015-10-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  上海应用技术学院

Inventor： 陈滢 ,  许鹏程 ,  李昕欣 ,  徐涛 ,  郑丹

IPC: C01G9/02 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，包括以下步骤：1）清洗基底表面；2）采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3）在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4）再将基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳米线阵列；5）采用原子层沉积工艺在基底表面再沉积一层氧化锌种子层；6）重复步骤3）-4），形成树枝状的氧化锌纳米线阵列。本发明提供的一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，制备温度低，纳米树枝结构均匀性好、致密性好，适用于非平面或具备复杂结构的基底，简单可行。

公开(公告)号：CN104569369A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201510016562.X

申请日：2015-01-13

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 于海涛 ,  许鹏程 ,  李昕欣 ,  陈滢 ,  包宇洋

IPC: G01N33/50 ,  B81C1/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G01N33/50 ,  B81C1/00222 ,  B81C1/00531 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝；从背面划片，去除光刻胶释放器件结构；将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁，狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得工作时，微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数和灵敏度。

公开(公告)号：CN101451946B

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200810208129.6

申请日：2008-12-26

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 于海涛 ,  李昕欣 ,  李俊纲 ,  许鹏程 ,  陈滢

IPC: G01N19/00

Abstract: 本发明涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作，特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜，利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零，而自由端处质量检测灵敏度最大的特性，通过同时记录悬臂梁的各个模态在检测前后频率的变化，得到各个敏感位置所吸附的不同物质的质量，从而实现用单根悬臂梁检测多种物质。本发明的特点是结构简单、制作方便、容易实现以及扩展性好等特点。

公开(公告)号：CN101712451A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910198994.1

申请日：2009-11-18

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 许鹏程 ,  李昕欣 ,  陈滢 ,  于海涛 ,  刘民

IPC: B81C99/00

Abstract: 本发明涉及一种在微悬臂梁的二氧化硅表面一步制造羧酸功能化自组装单层膜的新方法，属于纳米功能薄膜制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液(Carboxyethylsilanetriol，sodium salt；25％)或者N-(三甲氧基硅丙基)乙二胺三乙酸钠盐水溶液(N-(Trimethoxysilypropyl)ethylenediamine triacetic acid，trisodium salt；45％)为薄膜制造原料，配制成一定浓度与酸度的水溶液，将经过严格清洗的微悬臂梁没入其中，氮气保护下加热反应10-100小时。反应结束后，用大量的去离子水冲洗微悬臂梁，即可制得羧酸功能化的微悬臂梁器件。

公开(公告)号：CN101451946A

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN200810208129.6

申请日：2008-12-26

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 于海涛 ,  李昕欣 ,  李俊纲 ,  许鹏程 ,  陈滢

IPC: G01N19/00

Abstract: 本发明涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作，特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜，利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零，而自由端处质量检测灵敏度最大的特性，通过同时记录悬臂梁的各个模态在检测前后频率的变化，得到各个敏感位置所吸附的不同物质的质量，从而实现用单根悬臂梁检测多种物质。本发明的特点是结构简单、制作方便、容易实现以及扩展性好等特点。

公开(公告)号：CN113092543B

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202110383829.4

申请日：2021-04-09

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 许鹏程 ,  王雪晴 ,  李昕欣 ,  陈滢 ,  胡嘉豪

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明提供一种气体传感材料及其制备方法和用途，所述气体传感器材料包括金属氧化物气敏材料和负载在所述金属氧化物气敏材料上的分子筛。本发明中的气体传感材料用于形成氟代烷烃气体检测的传感器的灵敏度非常高。

公开(公告)号：CN113092543A

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN202110383829.4

申请日：2021-04-09

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 许鹏程 ,  王雪晴 ,  李昕欣 ,  陈滢 ,  胡嘉豪

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明提供一种气体传感材料及其制备方法和用途，所述气体传感器材料包括金属氧化物气敏材料和负载在所述金属氧化物气敏材料上的分子筛。本发明中的气体传感材料用于形成氟代烷烃气体检测的传感器的灵敏度非常高。

公开(公告)号：CN112312600A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN201910686367.6

申请日：2019-07-29

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈滢 ,  李昕欣

IPC: H05B3/14 ,  H05B3/06

Abstract: 本发明提供一种加热元件、微加热器及其制备方法，加热元件的制备方法包括如下步骤：1)提供一衬底；2)于所述衬底的上表面形成粘附层，并于所述粘附层的上表面形成加热元件主体层；3)于所述加热元件主体层的表面形成覆盖层，所述覆盖层覆盖所述加热元件主体层及所述粘附层。本发明的加热元件及微加热器中通过设置粘附层及覆盖层，具有高温稳定好、冷态电阻值稳定性好、使用寿命长等优点。