公开(公告)号：CN108896458A

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201810480421.7

申请日：2018-05-18

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  包宇洋 ,  于海涛 ,  蔡晟然

IPC: G01N15/06

Abstract: 本发明提供一种微传感器、制备及其使用方法，通过微传感器的进气口及位于空腔内部的具有特定间隙大小的微过滤栅，能够筛选并捕获待测气体中特定直径范围内的微颗粒物，并通过谐振式微悬臂梁测量捕获的微颗粒物的质量，从而获得微颗粒物浓度等环境信息；设备体积小，便于现场分析、适用范围广，能有效捕获待测气体中微米级及亚微米级杂质微粒。

公开(公告)号：CN108896458B

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN201810480421.7

申请日：2018-05-18

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  包宇洋 ,  于海涛 ,  蔡晟然

IPC: G01N15/06

Abstract: 本发明提供一种微传感器、制备及其使用方法，通过微传感器的进气口及位于空腔内部的具有特定间隙大小的微过滤栅，能够筛选并捕获待测气体中特定直径范围内的微颗粒物，并通过谐振式微悬臂梁测量捕获的微颗粒物的质量，从而获得微颗粒物浓度等环境信息；设备体积小，便于现场分析、适用范围广，能有效捕获待测气体中微米级及亚微米级杂质微粒。

公开(公告)号：CN104569369A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201510016562.X

申请日：2015-01-13

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 于海涛 ,  许鹏程 ,  李昕欣 ,  陈滢 ,  包宇洋

IPC: G01N33/50 ,  B81C1/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G01N33/50 ,  B81C1/00222 ,  B81C1/00531 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝；从背面划片，去除光刻胶释放器件结构；将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁，狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得工作时，微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数和灵敏度。

公开(公告)号：CN105067471A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510443118.6

申请日：2015-07-24

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 于海涛 ,  李昕欣 ,  许鹏程 ,  王家畴 ,  包宇洋

IPC: G01N5/00

Abstract: 本发明提供一种微悬臂谐振结构传感器的制造方法，包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底中形成有微悬臂结构；所述微悬臂结构的微悬臂梁表面形成有亲水层；在所述微悬臂梁的敏感区域表面形成一保护层；在所述衬底表面形成疏水分子层；去除所述保护层，露出其下的亲水层；在去除所述保护层的过程中，所述保护层表面的疏水分子层也被去除，其余部分的疏水分子层不受影响；在所述衬底表面涂覆敏感材料，由于所述疏水分子层的存在，所述敏感材料集中于所述敏感区域。本发明通过疏水或双疏的分子层将器件表面封闭，仅悬臂谐振结构敏感区域露出下方的亲水表面，从而使敏感材料固定在悬臂谐振结构的该区域上，使敏感材料的固定实现批量化。

公开(公告)号：CN105067471B

公开(公告)日：2017-12-29

申请号：CN201510443118.6

申请日：2015-07-24

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 于海涛 ,  李昕欣 ,  许鹏程 ,  王家畴 ,  包宇洋

IPC: G01N5/00

Abstract: 本发明提供一种微悬臂谐振结构传感器的制造方法，包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底中形成有微悬臂结构；所述微悬臂结构的微悬臂梁表面形成有亲水层；在所述微悬臂梁的敏感区域表面形成一保护层；在所述衬底表面形成疏水分子层；去除所述保护层，露出其下的亲水层；在去除所述保护层的过程中，所述保护层表面的疏水分子层也被去除，其余部分的疏水分子层不受影响；在所述衬底表面涂覆敏感材料，由于所述疏水分子层的存在，所述敏感材料集中于所述敏感区域。本发明通过疏水或双疏的分子层将器件表面封闭，仅悬臂谐振结构敏感区域露出下方的亲水表面，从而使敏感材料固定在悬臂谐振结构的该区域上，使敏感材料的固定实现批量化。

公开(公告)号：CN104569369B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201510016562.X

申请日：2015-01-13

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 于海涛 ,  许鹏程 ,  李昕欣 ,  陈滢 ,  包宇洋

IPC: G01N33/50 ,  B81C1/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝；从背面划片，去除光刻胶释放器件结构；将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁，狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得工作时，微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数和灵敏度。