静电卡盘
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100470756C

    公开(公告)日:2009-03-18

    申请号:CN200580029075.1

    申请日:2005-06-27

    Inventor: 神谷哲 横山清

    CPC classification number: H01L21/6831 H02N13/00

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种均热性良好,晶片到达饱和温度的时间短,并且对于施加电压循环的耐久性良好的静电卡盘。为达到所述目的,本发明的静电卡盘(1),由具有一对主面并将其中一方的主面作为载置晶片(W)的载置面(8a)的板状体(8)以及设置在该板状体的另一主面或内部的吸附用电极(6)所构成,其特征在于,包含:至少1个气体导入用的贯通孔(5),其以在所述板状体中贯通的方式而形成;气体流路(8d),其借助于相互分离的多个凸部(8b)而形成于所述载置面上,并以与所述贯通孔相连通的方式形成;以及环状壁部(8c),其形成于所述板状体的外周,所述凸部的平面形状由四个边和连接该四个边的弧形部构成,所述凸部以同样的方式配置在所述载置面上。

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