样品保持件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110073483A

    公开(公告)日:2019-07-30

    申请号:CN201780075442.4

    申请日:2017-12-19

    Inventor: 神谷哲

    Abstract: 样品保持件具备:陶瓷基板,一个主面是样品保持面;发热电阻体,被设置于该陶瓷基板的内部或者另一个主面;金属部件,隔着接合层而被设置为覆盖所述陶瓷基板的所述另一个主面,具有在一个主面和另一个主面开口的贯通孔;导线端子,被插入到所述金属部件;和导通部,被设置于所述接合层的内部,将所述发热电阻体与所述导线端子电连接,并且具有从所述陶瓷基板的所述另一个主面分离并在沿着所述另一个主面的方向延伸的区域。

    静电卡盘
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101010791A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200580029075.1

    申请日:2005-06-27

    Inventor: 神谷哲 横山清

    CPC classification number: H01L21/6831 H02N13/00

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种均热性良好,晶片到达饱和温度的时间短,并且对于施加电压循环的耐久性良好的静电卡盘。为达到所述目的,本发明的静电卡盘(1),由具有一对主面并将其中一方的主面作为载置晶片(W)的载置面(8a)的板状体(8)以及设置在该板状体的另一主面或内部的吸附用电极(6)所构成,其特征在于,包含:至少1个气体导入用的贯通孔(5),其以在所述板状体中贯通的方式而形成;气体流路(8d),其借助于相互分离的多个凸部(8b)而形成于所述载置面上,并以与所述贯通孔相连通的方式形成;以及环状壁部(8c),其形成于所述板状体的外周,所述凸部的平面形状由四个边和连接该四个边的弧形部构成,所述凸部以同样的方式配置在所述载置面上。

    音响发生器、音响发生装置以及电子设备

    公开(公告)号:CN104054356A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201380005778.5

    申请日:2013-09-26

    Abstract: 本发明的课题为得到良好的声压的频率特性。为了解决该课题,实施方式所涉及的音响发生器(1)具备压电元件(激励器)(5)、扁平的振动板(3)及框体(2)。上述压电元件(5)输入电气信号而振动。上述振动板(3)安装有上述压电元件(5)并通过该压电元件(5)的振动而与该压电元件(5)一起振动。上述框体(2)设置在上述振动板(3)的外周部。而且,在上述框体(2)的内周面的各个角部至少包含曲面,上述角部的至少一个角部与其他上述角部的形状不同。

    陶瓷加热器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103477704B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201280015086.4

    申请日:2012-03-30

    Inventor: 神谷哲

    CPC classification number: H05B3/16 H05B3/48

    Abstract: 本发明提供一种陶瓷加热器,抑制噪声的辐射,给周边的电子装置带来的影响小。陶瓷基体(4)由多个陶瓷层(4a)构成,在其中的2个陶瓷层(4a)之间,设置了将陶瓷材料和金属材料混合在一起的混合层(2)。在陶瓷层(4a)和混合层(2)之间,设置了通过通电而发热的发热电阻体(3)。因此,由于对发热电阻体(3)通电而产生的高频分量的辐射,通过混合层(2)来抑制,因而能够使得给周边的电子装置带来的影响变小。

    样品保持件
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110073483B

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN201780075442.4

    申请日:2017-12-19

    Inventor: 神谷哲

    Abstract: 样品保持件具备:陶瓷基板,一个主面是样品保持面;发热电阻体,被设置于该陶瓷基板的内部或者另一个主面;金属部件,隔着接合层而被设置为覆盖所述陶瓷基板的所述另一个主面,具有在一个主面和另一个主面开口的贯通孔;导线端子,被插入到所述金属部件;和导通部,被设置于所述接合层的内部,将所述发热电阻体与所述导线端子电连接,并且具有从所述陶瓷基板的所述另一个主面分离并在沿着所述另一个主面的方向延伸的区域。

    陶瓷加热器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103477704A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201280015086.4

    申请日:2012-03-30

    Inventor: 神谷哲

    CPC classification number: H05B3/16 H05B3/48

    Abstract: 本发明提供一种陶瓷加热器,抑制噪声的辐射,给周边的电子装置带来的影响小。陶瓷基体(4)由多个陶瓷层(4a)构成,在其中的2个陶瓷层(4a)之间,设置了将陶瓷材料和金属材料混合在一起的混合层(2)。在陶瓷层(4a)和混合层(2)之间,设置了通过通电而发热的发热电阻体(3)。因此,由于对发热电阻体(3)通电而产生的高频分量的辐射,通过混合层(2)来抑制,因而能够使得给周边的电子装置带来的影响变小。

    试样保持件
    10.
    发明公开
    试样保持件 审中-实审

    公开(公告)号:CN118901129A

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202380028734.8

    申请日:2023-03-22

    Inventor: 神谷哲

    Abstract: 本公开的试样保持件具备陶瓷基板、底板和筒状构件。陶瓷基板具有:试样保持面即第1面;和位于与第1面相反的位置的第2面。底板具有:位于陶瓷基板的第2面,与第2面的对置面即第3面;位于与第3面相反的位置的第4面;和将第3面以及第4面贯通的贯通孔。筒状构件位于贯通孔并且与所述第2面接合。本公开的试样保持件在贯通孔的内周面与所述筒状构件的外周面之间具有密封构件。

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