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公开(公告)号：CN104076428B
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201410119773.1
申请日：2014-03-27
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种偏振元件，能够在某种程度的宽区域照射从可见短波长区域至紫外区的偏振光，在消光比、透过率这样的基本性能中具有优异的特性。设置在透明基板（1）上的条纹状的栅格（2）由非晶态状的氧化钛形成，将构成栅格（2）的各线状部（21）的宽度的平均值设为w，将各线状部（21）与一侧的相邻的线状部（21）之间的距离设为t，将与另一侧的相邻的线状部（21）之间的距离设为T时，成为t/T＞0.0149w＋0.0644的关系。
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公开(公告)号：CN104749676A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201410588358.0
申请日：2014-10-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 鹤冈和之
IPC: G02B5/30 , G02F1/1337
CPC classification number: G02B5/3058 , G02B5/3075 , G02F1/133788
Abstract: 提供一种栅偏振元件、紫外线偏振光照射方法、紫外线偏振光照射装置，该非反射型的栅偏振元件，制造较容易，在以紫外线为对象波长那样的容易发生氧化的条件下使用的情况下也能够稳定得到希望的偏振性能。在透明基板(1)上设置的条纹状的栅(2)由多个线状部(21)形成，该多个线状部具有由氮化钛或/及氮氧化钛形成的主要的层，并且不包含单体金属层，将s偏振光有选择地吸收，使p偏振光透过，从而使光偏振。各线状部(21)以能够使紫外线偏振的间隔t离开。来自水银灯(51)的紫外线被栅偏振元件(53)偏振，通过将紫外线偏振光对工件(10)照射，将工件(10)进行光取向。
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公开(公告)号：CN104459862A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410495255.X
申请日：2014-09-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 鹤冈和之
IPC: G02B5/30
CPC classification number: G02B5/3041 , G02B5/3033 , G02B5/3075
Abstract: 本发明提供一种消光比在周边部不下降的优异的栅偏振元件。构成设置在透明基板(1)上的条纹状的栅格(2)的各线状部(3)由起到偏振作用的第一层(31)和位于第一层(31)的入射侧的第二层(32)构成。第二层(32)由透光性的材料形成，高度比第一层(31)低，由对形成第一层(31)时的蚀刻剂的耐性比第一层(31)高的材料形成。
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公开(公告)号：CN104076428A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410119773.1
申请日：2014-03-27
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种偏振元件，能够在某种程度的宽区域照射从可见短波长区域至紫外区的偏振光，在消光比、透过率这样的基本性能中具有优异的特性。设置在透明基板（1）上的条纹状的栅格（2）由非晶态状的氧化钛形成，将构成栅格（2）的各线状部（21）的宽度的平均值设为w，将各线状部（21）与一侧的相邻的线状部（21）之间的距离设为t，将与另一侧的相邻的线状部（21）之间的距离设为T时，成为t/T＞0.0149w＋0.0644的关系。
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