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公开(公告)号:CN106661758A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201580042702.9
申请日:2015-08-07
Applicant: 住友电气工业株式会社
CPC classification number: C30B25/186 , C01B31/06 , C01B32/25 , C23C14/48 , C23C16/01 , C23C16/02 , C23C16/0272 , C23C16/27 , C23C16/56 , C30B25/20 , C30B29/04 , C30B31/22 , C30B33/00 , C30B33/06
Abstract: 本发明提供:一种制造金刚石的方法,所述方法能够在短时间内将所述金刚石与基板分离并且使得所述基板和所述金刚石各自的分离表面平坦;一种通过所述制造金刚石的方法获得的金刚石;和使用所述金刚石的金刚石复合基板、金刚石接合基板和工具。一种通过气相合成法制造金刚石的方法,其包括如下步骤:准备包含金刚石籽晶的基板;通过对所述基板实施离子注入而在自所述基板的主表面起算的预定深度处形成透光性比所述基板低的光吸收层;通过所述气相合成法在所述基板的所述主表面上生长金刚石层;和通过从所述金刚石层和所述基板中的至少一者的主表面施加光以使所述光吸收层吸收光并造成所述光吸收层破碎,从而将所述金刚石层与所述基板分离。
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公开(公告)号:CN106460226A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201580032164.5
申请日:2015-07-14
Applicant: 住友电气工业株式会社 , 住友电工硬质合金株式会社
CPC classification number: C30B29/04 , C01B32/25 , C30B25/186 , C30B25/20
Abstract: 本发明提供单晶金刚石、制造所述单晶金刚石的方法以及包含所述金刚石的工具,所述单晶金刚石以均衡方式提高了硬度和耐缺损性。单晶金刚石含有氮原子,且所述单晶金刚石中的孤立置换型氮原子的数目对所述单晶金刚石中的氮原子总数之比为0.02%以上且低于40%。
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公开(公告)号:CN114655953A
公开(公告)日:2022-06-24
申请号:CN202210130434.8
申请日:2015-08-07
Applicant: 住友电气工业株式会社
Abstract: 本发明提供:一种制造金刚石的方法,所述方法能够在短时间内将所述金刚石与基板分离并且使得所述基板和所述金刚石各自的分离表面平坦;一种通过所述制造金刚石的方法获得的金刚石;和使用所述金刚石的金刚石复合基板、金刚石接合基板和工具。本发明的通过气相合成法制造金刚石的方法包括如下步骤:准备包含金刚石籽晶的基板;通过气相合成法在所述基板的主表面上形成光吸收层;通过气相合成法在所述光吸收层的主表面上生长金刚石层;和通过从所述金刚石层和所述基板中的至少一者的主表面施加光以使所述光吸收层吸收光并造成所述光吸收层破碎,从而将所述金刚石层与所述基板分离。
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公开(公告)号:CN108474136B
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN201780007532.X
申请日:2017-01-18
Applicant: 住友电气工业株式会社 , 住友电工硬质合金株式会社
Abstract: 本发明提供一种制造单晶金刚石的方法、所述方法包括如下步骤:在辅助板的至少一部分表面上形成保护膜的步骤;准备金刚石籽晶衬底的步骤;将具有保护膜的辅助板和金刚石籽晶衬底布置在腔室内的步骤,在所述具有保护膜的辅助板中所述保护膜形成在所述辅助板上;以及在将含碳气体引入所述腔室内的同时通过化学气相沉积法在所述金刚石籽晶衬底的主面上生长单晶金刚石的步骤。
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公开(公告)号:CN111133134A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201880060767.X
申请日:2018-09-14
Applicant: 住友电气工业株式会社 , 住友电工硬质合金株式会社
Abstract: 本发明涉及一种单晶金刚石,所述单晶金刚石包含:在观察表面中观察到的杂质总浓度不同的n种类型的区域,所述观察表面与(110)面平行并且具有不大于5μm的表面粗糙度Ra,所述观察表面是通过对所述单晶金刚石的表面进行研磨而得到的,其中n为2或3。所述n种类型的区域各自具有不小于0.1μm2的面积。在所述观察表面上的第一条线、第二条线和第三条线中的至少一条与所述n种类型的区域之间的边界交叉至少四次。所述第一条线、所述第二条线和所述第三条线是与 方向平行并且具有1mm长度的线段。所述第一条线的中点对应于所述观察表面的重心。所述第二条线的中点对应于在 方向上距所述重心300μm的点。所述第三条线的中点对应于在 方向上距所述重心300μm的点。
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公开(公告)号:CN111032932A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201880052808.0
申请日:2018-08-13
Applicant: 住友电气工业株式会社
Abstract: 一种含有固体碳的材料的加工体的制造方法,所述方法包括:准备所述含有固体碳的材料的步骤,所述含有固体碳的材料由至少具有含有固体碳的表面的材料构成;形成气相流体的步骤,所述气相流体含有对所述固体碳具有活性的活性气体或活性等离子体中的至少一种;和通过将所述气相流体喷射到所述含有固体碳的材料的表面的至少一部分上来加工所述含有固体碳的材料的步骤。
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公开(公告)号:CN106661759B
公开(公告)日:2020-04-07
申请号:CN201580043048.3
申请日:2015-08-10
Applicant: 住友电气工业株式会社
Abstract: 提供一种能缩短分离衬底和金刚石层的分离时间的金刚石复合体、衬底和制造金刚石的方法、以及从所述金刚石复合体获得的金刚石和包括所述金刚石的工具。所述金刚石复合体包括:包括金刚石籽晶并在主表面中具有沟槽的衬底,形成在所述衬底的主表面上的金刚石层,以及在距所述衬底和所述金刚石层之间的界面恒定深度处形成在衬底侧上的非金刚石层。
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公开(公告)号:CN107848002B
公开(公告)日:2020-03-13
申请号:CN201680043048.8
申请日:2016-07-22
Applicant: 住友电工硬质合金株式会社 , 住友电气工业株式会社 , 联合材料公司
Abstract: 一种金刚石拉丝模,其包括设置有用于拉拔丝材的孔的金刚石,所述金刚石是CVD单晶金刚石,所述孔的轴相对于所述金刚石的晶面的法线方向倾斜。
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