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公开(公告)号：CN109555861A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811042819.9
申请日：2018-09-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 滨田裕一
Abstract: 本发明提供了一种在分配速率上具有较小波动的分配阀设备。分配阀设备是通过阀构件和阀构件座彼此接触而隔断流体的分配阀设备，其特征在于阀构件座的与阀构件接触的部分由具有2GPa或更大的拉伸弹性模量的材料制成。可替代地，分配阀设备是是通过阀构件和阀构件座彼此接触而隔断流体的分配阀设备，其特征在于阀构件座的与阀构件接触的部分由具有2GPa或更大的压缩弹性模量的材料制成。
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公开(公告)号：CN106950796A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710003770.5
申请日：2017-01-04
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 滨田裕一
Abstract: 提供一种在防尘薄膜组件框架的角部没有疑似异物，从而提高异物检查的精度，由此减少防尘薄膜组件制品的不合格率。使防尘薄膜组件框架的内侧面和上端面以及下端面所成的角部从截面来看为大略曲线状，特别是，防尘薄膜组件框架的内侧面和上端面以及下端面所成的各角部为被C倒棱的防尘薄膜组件中，防尘薄膜组件框架的内侧面和该C倒棱面形成的C倒棱面所成的角部被R倒棱或C倒棱。
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公开(公告)号：CN104635420A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201410643891.2
申请日：2014-11-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 滨田裕一
IPC: G03F1/64
CPC classification number: G03F1/38 , B32B37/12 , B32B37/18 , B32B41/00 , B32B2559/00 , G03F1/142 , G03F1/62 , G03F1/64 , G03F7/70983 , Y10T156/10
Abstract: 提供一种可以减轻将防尘薄膜组件贴附于光掩模时的光掩模扭曲的防尘薄膜组件的贴附方法以及实施该方法贴附装置。本发明的特征为在将防尘薄膜组件框架的一个端面通过接着剂将防尘薄膜绷紧设置，在防尘薄膜组件框架的另一个端面设有粘着层的光刻用防尘薄膜组件贴附于光掩模基板时，粘着层和光掩模基板优选加热为35℃以上80℃以下。另外，本发明的另一个特征为使100N以下的贴附负荷分为至少一个以上的加压步骤断续上升。
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公开(公告)号：CN107783368B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201710719065.5
申请日：2017-08-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 滨田裕一
Abstract: 提供一种薄膜组件框架，其即使在光刻的曝光步骤中杂散光入射到薄膜组件框架的内侧面时也防止诸如炭黑颗粒或填料颗粒之类的颗粒污染光掩模。更具体地说，提供一种薄膜组件框架，包括：框架基座；和聚合物涂层，其涂覆所述框架基座的至少内周表面，所述聚合物涂层包括离所述框架基座最远一侧的最外聚合物层和所述框架基座与所述最外聚合物层之间的一个或多个内部聚合物层，其中所述一个或多个内部聚合物层中的至少一层包含颗粒，并且所述最外聚合物层不包含颗粒或者具有比所述一个或多个内部聚合物层中的最高颗粒浓度低的颗粒浓度。还提供一种包括所述薄膜组件框架的薄膜组件。
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公开(公告)号：CN114278737A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111616354.5
申请日：2018-09-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 滨田裕一
Abstract: 本发明提供液体分配方法和分配阀设备的用途。分配阀设备是通过阀构件和阀构件座彼此接触而隔断流体的分配阀设备，其特征在于阀构件座的与阀构件接触的部分由具有2GPa或更大的拉伸弹性模量的材料制成。可替代地，分配阀设备是是通过阀构件和阀构件座彼此接触而隔断流体的分配阀设备，其特征在于阀构件座的与阀构件接触的部分由具有2GPa或更大的压缩弹性模量的材料制成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111679550A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010667573.5
申请日：2017-01-04
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 滨田裕一
Abstract: 提供一种在防尘薄膜组件框架的角部没有疑似异物，从而提高异物检查的精度，由此减少防尘薄膜组件制品的不合格率。使防尘薄膜组件框架的内侧面和上端面以及下端面所成的角部从截面来看为大略曲线状，特别是，防尘薄膜组件框架的内侧面和上端面以及下端面所成的各角部为被C倒棱的防尘薄膜组件中，防尘薄膜组件框架的内侧面和该C倒棱面形成的C倒棱面所成的角部被R倒棱或C倒棱。
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公开(公告)号：CN111103756A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201911025180.8
申请日：2019-10-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 滨田裕一
IPC: G03F1/64
Abstract: 本发明提供一种防尘薄膜组件的剥离方法及防尘薄膜组件的剥离装置，将以粘着层(14)粘着于曝光原板(1)的防尘薄膜组件(10)从曝光原板(1)剥离；该组件(10)具有：防尘薄膜(12)，通过防尘薄膜用接着剂(13)张设于防尘薄膜框架(11)的一侧的端面；粘着层(14)，设置于防尘薄膜框架(11)的另一侧的端面。在设置于防尘薄膜框架外侧面的治具孔(30)插入防尘薄膜框架支持销(21)，使支持销(21)朝向粘着层(14)从曝光原板(1)剥离的方向移动，此时，测量作用在支持销(21)的剥离力，并在进行控制以使该剥离力降至最小的状况下，将组件(10)从曝光原板(1)剥离。由此，可在将防尘薄膜组件从曝光原板剥离时，减少残留于曝光原板上的残渣，并可在柔和的清洗条件下实施曝光原板的再清洗。
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公开(公告)号：CN104635420B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201410643891.2
申请日：2014-11-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 滨田裕一
IPC: G03F1/64
Abstract: 提供一种可以减轻将防尘薄膜组件贴附于光掩模时的光掩模扭曲的防尘薄膜组件的贴附方法以及实施该方法贴附装置。本发明的特征为在将防尘薄膜组件框架的一个端面通过接着剂将防尘薄膜绷紧设置，在防尘薄膜组件框架的另一个端面设有粘着层的光刻用防尘薄膜组件贴附于光掩模基板时，粘着层和光掩模基板优选加热为35℃以上80℃以下。另外，本发明的另一个特征为使100N以下的贴附负荷分为至少一个以上的加压步骤断续上升。
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公开(公告)号：CN101551587B
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN200910129926.X
申请日：2009-04-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 滨田裕一
CPC classification number: G03F1/64
Abstract: 本发明的目的在于提供一种平板印刷用防护薄膜组件，其曝光原版接合用粘着剂不会超溢出防护薄膜组件框架整体宽度而能稳定设置，藉此提高半导体制造成品率。为达成上述目的，本发明的平板印刷用防护薄膜组件，其在防护薄膜组件框架一端面涂布防护薄膜接合剂以铺设防护薄膜，在另一端面涂布曝光原版接合用粘着剂，其特征为：在该防护薄膜组件框架的防护薄膜接合面与框架的内侧和外侧面所构成的角部以及曝光原版接合面与框架的内侧和外侧面所构成的角部实施斜面倒角加工，该防护薄膜组件框架的曝光原版接合面的倒角尺寸比C0.35大且在C0.55以下。
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公开(公告)号：CN1779567A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200510126742.X
申请日：2005-11-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 滨田裕一
IPC: G03F1/14 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/64
Abstract: 本发明提供一种大型防护胶膜组件，其能够于不使用溶剂等且不伴随黏接剂凝集破坏下，将防护胶膜组件自曝光光罩分离。本发明的防护胶膜组件，包括：防护胶膜框体，具有上侧面与下侧面，呈边长30cm以上的四边形；防护胶膜膜片，张设于该防护胶膜框体上侧面；以及黏接层，于该防护胶膜框体下侧面，用以贴附防护胶膜框体与曝光光罩；其特征为：该黏接层具有将该黏接层自防护胶膜框体或曝光光罩剥离时，不会发生凝集破坏的凝集破断强度。
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