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公开(公告)号：JPWO2017115783A1
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：JP2016088851
申请日：2016-12-27
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: H01L51/5253 , B32B9/00 , C23C14/08 , C23C16/0272 , C23C16/30 , C23C16/403 , C23C16/455 , C23C16/45525 , C23C16/56 , H01L51/50 , H01L51/56 , H01L2251/301 , H01L2251/558 , H05B33/02 , H05B33/04
Abstract: 積層体は、第一面を有し、高分子材料から形成される基材と、前記基材前記第一面上の少なくとも一部に配置され、原子層堆積膜の成膜原料である前駆体と結合可能な吸着部位を有する第1の無機物質を含むアンダーコート層と、前記前駆体から形成される前記原子層堆積膜であり、前記アンダーコート層の外面を覆うように配置され、前記アンダーコート層の前記吸着部位と結合する第2の無機物質を含む機能層と、前記機能層の外面を覆うように配置され、第3の無機物質を含むオーバーコート層と、を有する。
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公开(公告)号：JP2017124633A
公开(公告)日：2017-07-20
申请号：JP2017076189
申请日：2017-04-06
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: C23C16/455 , C23C14/12 , B32B27/30 , B32B9/00
CPC classification number: C23C16/458 , C23C16/403 , C23C16/45544 , C23C16/45555 , C23C16/545 , C23C16/56 , Y10T428/2495
Abstract: 【課題】基材の外面に形成された原子層堆積膜が外力で容易に傷つかないようにしてガスバリア性を高めた積層体を提供する。 【解決手段】積層体1bは、基材2と、基材の外面に沿って形成された原子層堆積膜4と、一般式としてR1(M−OR2)(但し、Rl、R2は炭素数1〜8の有機基、Mは金属原子Ti、Al、Zrのいずれかである)で表わされる有機金属化合物を含有し、OH基とCOOH基の少なくとも何れかを有する水系バリアコートで形成され、かつ原子層堆積膜よりも膜厚の厚い膜で原子層堆積膜を覆うオーバーコート層5と、基材と原子層堆積膜との間に配され、前駆体と結合する無機物質が分散されたアンダーコート層3または前駆体と結合する有機高分子が含有されたアンダーコート層3とを備え、無機物質または有機高分子は、アンダーコート層と原子層堆積膜との界面に一部が位置するようにアンダーコート層の外面に露出している。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2017106052A
公开(公告)日：2017-06-15
申请号：JP2015238671
申请日：2015-12-07
Applicant: 凸版印刷株式会社
Inventor： 加納 満
IPC: H01L21/31 , H01L21/316 , C23C16/54
Abstract: 【課題】ALDの各ステップにおける暴露条件を容易に調節することができる原子層堆積装置を提供する。 【解決手段】原子層堆積装置1は、巻出し室と、巻き取り室と、巻き出し室と巻き取り室との間に設けられた複数の反応室20と、第一前駆体を含むガスが収容された第一供給部26と、第一供給部と接続された第一供給管21と、パージガスが収容された第二供給部27と、第二供給部と接続された第二供給管22と、第二前駆体を含むガスが収容された第三供給部28と、第三供給部と接続された第三供給管23と、複数の反応室に接続された排気管24とを備え、複数の反応室のそれぞれには、第一供給管、第二供給管、および第三供給管の少なくとも一つが接続されており、複数の反応室の少なくとも一つには、第一供給管、第二供給管、第三供給管のうち二つが接続されており、かつ反応室内のガス種およびガス条件を調節可能に構成されている。 【選択図】図2
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2016203431A
公开(公告)日：2016-12-08
申请号：JP2015085116
申请日：2015-04-17
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: B32B37/02 , C23C16/455 , C23C16/50 , C23C14/08 , B32B9/00
CPC classification number: B32B9/00 , B32B37/02 , C23C14/08 , C23C16/455 , C23C16/50
Abstract: 【課題】ガスバリア性が高く、且つ、耐久性に優れた積層体を提供する。 【解決手段】積層体1は、酸素原子または窒素原子を含む官能基を有する有機高分子材料よりなる基材2と、基材2に含まれる有機高分子の官能基に結合し、原子層堆積法により形成される機能層3と、機能層3を覆うように設けられ、遷移金属原子を含有するオーバーコート層4とを備える。基材2と機能層3との密着性に優れると共に、機能層3がオーバーコート層により保護されているため、高いガスバリア性と熱や湿度などの環境ストレスに対する優れた耐久性とを両立できる。 【選択図】図1
Abstract translation: 的气体阻隔性高，并提供具有优异的耐久性的层叠体。 一种层叠体1包括由具有含有氧原子或氮原子的官能团，键合到包含在基体材料2，原子层沉积的有机聚合物的官能团的有机聚合物材料制成的衬底2 它包括由所述方法形成的功能层3，被设置成覆盖所述功能层3，和含有过渡金属原子上的保护层4。 与基板2与功能层3之间优异的粘附性，因为功能层3由保护层保护的，可以实现对环境胁迫，如高气体阻隔性和热和湿度都优异的耐久性。 点域1
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公开(公告)号：JP2015116823A
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：JP2015018270
申请日：2015-02-02
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 【課題】PVD法やCVD法では、膜厚の増加に対しガスバリア性が飽和しやすい問題に対して、更に高いガスバリア性を持った透明、もしくは半透明なガスバリア性積層体およびこの製造方法を提供する。 【解決手段】ガスバリア性積層体10が、プラスチックフィルム基材11の少なくとも一方の面に、プラスチックフィルム基材11側から順に下地層12と、ガスバリア層13とを有し、下地層12の密度が、プラスチックフィルム基材11の密度よりも大きい。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：为了提供具有较高阻气性的透明或半透明的阻气性层压板及其制造方法，关于PVD法或 CVD法。解决方案：阻气性层压体10在塑料膜基材11的至少一个表面上至少具有接地层12和阻气层13，从塑料膜基材11侧开始，密度为 接地层12比塑料膜基材11的密度高。
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公开(公告)号：JP2020111767A
公开(公告)日：2020-07-27
申请号：JP2019001343
申请日：2019-01-08
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: C23C16/44 , H01L21/205 , H01L21/31 , C23C16/54
Abstract: 【課題】各反応室の排気量を調整可能にし、好適な原子層を形成でき、装置内部への反応物の堆積を抑制して装置内の汚染を抑制可能な原子層堆積装置および成膜方法を提供する。 【解決手段】原子層堆積装置1は、複数の反応室20のそれぞれと排気用のポンプとに接続されて排気量を調整可能な排気管23を備え、複数の反応室20のそれぞれには、第一供給管21、および第二供給管22のうち少なくとも一つが接続されており、第一前駆体または前記第二前駆体を含むガスが供給された複数の反応室20のそれぞれから排気管23により排気を行う。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019160940A
公开(公告)日：2019-09-19
申请号：JP2018043600
申请日：2018-03-09
Applicant: 凸版印刷株式会社
Inventor： 加納 満
IPC: C23C16/455 , C23C16/44 , B65H20/14 , B65H20/02 , H01L21/31
Abstract: 【課題】原子層堆積装置において、剛性が小さいフレキシブル基材を用いても、良好な原子層堆積層が形成できるようにする。 【解決手段】原子層堆積装置1は、巻き出し室10と、巻き取り室30と、フレキシブル基材2が通過可能かつ互いに対向する開口部50aを有する2つの隔壁50を含む複数の壁部によって囲まれて形成され、巻き出し室10と巻き取り室30との間に複数設けられた反応室20と、反応室20のうち少なくとも1つにおいて、フレキシブル基材2の移動経路上であって移動経路の中央までの距離よりも隔壁50までの距離の方が小さくなる位置にてフレキシブル基材2をその厚さ方向に支持するガイドローラー51と、を備える。 【選択図】図1
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