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公开(公告)号:JP2018083430A
公开(公告)日:2018-05-31
申请号:JP2018023580
申请日:2018-02-13
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: C23C16/45525 , B05D3/144 , C08J7/045 , C08J2367/02 , C08J2400/10 , C08J2400/104 , C08J2400/106 , C08L2201/14 , C23C16/02 , C23C16/45529 , C23C16/50
Abstract: 【課題】ガスバリア性が高く、且つ、耐熱性に優れた積層体、この積層体によって形成されたガスバリアフィルム、及びこれらの製造方法を提供する。 【解決手段】積層体(1)であって、基材(2)と、基材(2)の外面の少なくとも一部に形成され、有機高分子および無機化合物を含有するアンダーコート層(3)と、原料となる前駆体を含有し、アンダーコート層(3)の表面を覆うように形成され、前駆体の少なくとも一部が有機高分子に結合し、かつ前駆体の少なくとも一部が無機化合物に結合した原子層堆積膜(4)と、を備え、アンダーコート層(3)は、アンダーコート層(3)の線膨張係数が8.0×10 −5 /K以下となるように有機高分子および無機化合物を含有し、基材(2)とアンダーコート層(3)とを備える層状フィルムの線膨張係数は1.0×10 −5 /K以上8.0×10 −5 /K以下である。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP6697706B2
公开(公告)日:2020-05-27
申请号:JP2015238671
申请日:2015-12-07
Applicant: 凸版印刷株式会社
Inventor: 加納 満
IPC: H01L21/31 , H01L21/316 , C23C16/54
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公开(公告)号:JP6586720B2
公开(公告)日:2019-10-09
申请号:JP2014117416
申请日:2014-06-06
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: G01N23/203 , G01N23/20008
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公开(公告)号:JP6123672B2
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:JP2013525782
申请日:2012-07-27
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: C23C14/12 , C23C16/455 , B32B9/00
CPC classification number: C23C16/458 , C23C16/403 , C23C16/45544 , C23C16/45555 , C23C16/545 , C23C16/56 , Y10T428/2495
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公开(公告)号:JP2016151030A
公开(公告)日:2016-08-22
申请号:JP2015027870
申请日:2015-02-16
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: B32B9/00 , C23C14/08 , C23C16/455
Abstract: 【課題】本発明は、機能層の損傷や機能の低下を抑制し、高分子材料よりなる基材とアンダーコート層との間の密着性を向上させ、さらにガスバリア性を向上させることの可能な積層体及びその製造方法、並びにガスバリアフィルムを提供することを目的とする。 【解決手段】高分子材料からなり、かつ第1の無機物質を含む原子層堆積膜24の成膜原料となる前駆体と結合可能な官能基を有する基材11と、基材11の外面11aの少なくとも一部に配置された原子層堆積膜24に含まれる前駆体が基材11の外面11aに位置する官能基と結合されたアンダーコート層13と、アンダーコート層13の外面13aを覆うように配置され、第2の無機物質を含有する機能層14と、機能層14の外面14aを覆うオーバーコート層15と、を有する。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供:能够抑制功能层的损伤和功能劣化的层压体,改善由聚合物材料构成的基材和底涂层之间的粘合性,并提高阻气性; 其制造方法; 和阻气膜。解决方案:层压体包括:由聚合物材料构成的基材11,具有可与作为包含第一无机材料的原子层沉积膜24的成膜原料的前体结合的官能团; 在基材11的外表面11a的至少一部分上配置有与前述基材11的外表面11a上的官能团结合的原子层沉积膜24中包含前体的底涂层13, 布置成覆盖底涂层13的外表面13a并包括第二无机材料的功能层14; 以及覆盖功能层14的外表面14a的覆盖层15.图示:图1
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公开(公告)号:JP2015118077A
公开(公告)日:2015-06-25
申请号:JP2014117416
申请日:2014-06-06
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: G01N23/203
Abstract: 【課題】原子層堆積法または熱処理により成膜した膜の深さ方向の組成や密度分布を測定することが可能な、薄膜評価用構造体及び薄膜評価方法を提供する。 【解決手段】基板2上に、評価対象の薄膜である複数層の隣り合う薄膜3を成膜し、薄膜3の間に、薄膜3と同じ元素を含み、指標用薄膜となる超薄膜4を成膜して薄膜評価用構造体1を形成する。そして、超薄膜4を指標として、評価対象の薄膜3の深さ方向における組成及び密度を求める。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供能够测量由原子层沉积或热处理形成的深度方向上的膜的组成或密度分布的薄膜评价结构和薄膜评价方法。解决方案:薄膜评价结构1 通过在基板2上形成作为评价对象薄膜的多个相邻的薄膜3而形成,并且形成包含与薄膜3相同的元素的超薄膜4,并且作为薄膜3之间的折射率薄膜。 使用超薄膜4作为指标,测量评价对象薄膜3在深度方向上的组成和密度。
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公开(公告)号:JP5713038B2
公开(公告)日:2015-05-07
申请号:JP2013030445
申请日:2013-02-19
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: C23C16/54
CPC classification number: C23C16/545 , B65H20/16 , B65H23/025 , C23C16/45551
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