公开(公告)号：CN117212121B

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311127210.2

申请日：2023-09-04

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  丁双 ,  杨传森 ,  夏天 ,  王汐月 ,  李京 ,  张湧颀 ,  崔健 ,  崔玉妹 ,  姚雪琦 ,  康朋伟

IPC: F04B51/00 ,  F04B37/14

Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法，包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路；进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门；测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵，第一测试罩上还连接有第二真空计；校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组，第二测试罩上还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度，减小测量不确定度，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。

公开(公告)号：CN116697177A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310818990.9

申请日：2023-07-05

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 董云宁 ,  卢耀文 ,  王汐月 ,  李京 ,  崔健 ,  崔玉妹 ,  佟亚珍 ,  王欢 ,  张湧颀 ,  姚雪琦 ,  丁双 ,  陈俊儒 ,  豆运来

IPC: F16L55/00 ,  F04B51/00 ,  F15D1/02

Abstract: 本发明涉及用于高真空泵抽速测试进气散流机构，包括连接法兰、连接于所述连接法兰一侧的进气管、以及依次连接于所述连接法兰另一侧的平面散流板、第一连接杆、第一锥形散流版、第二连接杆和第二锥形散流版。本发明基于双级锥形散流结构的散流板可以保证气体分子在进入后至少发生两次碰撞，实现良好的平衡态，还具有放气量小的优点，同避免了传统弯管进气引起的束流效应，减小了本底真空的测量不确定度，可以提高测试效率和测试结果的可靠性。