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公开(公告)号：CN109778115A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811345197.7
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及制造蒸镀掩模的金属板及其检查方法和制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和蒸镀掩模装置。金属板具备具有金属板的长度方向和与长度方向垂直的宽度方向的表面。在使光入射到表面时观测到的反射光之中，在与表面垂直的至少一个平面内以45°±0.2°的角度从表面射出的反射光的表面反射率为8％以上且25％以下。
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公开(公告)号：CN115125483B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202210882184.3
申请日：2020-01-31
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C23C14/04 , C23C14/24 , H10K50/805
Abstract: 本申请涉及电子器件的制造方法和电子器件。蒸镀掩模组具备：第1蒸镀掩模，其具有沿不同的两个方向排列的两个以上的第1贯通孔；第2蒸镀掩模，其具有沿不同的两个方向排列的两个以上的第2贯通孔；和第3蒸镀掩模，其具有两个以上的第3贯通孔。在将第1蒸镀掩模、第2蒸镀掩模和第3蒸镀掩模重合时，第1贯通孔与第2贯通孔或第3贯通孔部分重叠。
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公开(公告)号：CN116356252A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310424015.X
申请日：2020-10-09
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本公开提供蒸镀掩模的制造方法。一种蒸镀掩模的制造方法，其具备：准备金属板的工序，该金属板具备第1面和位于上述第1面的相反侧的第2面；以及加工工序，在上述金属板上形成两个以上的贯通孔，上述加工工序包含：第1面蚀刻工序，通过对上述第1面进行蚀刻而在上述第1面形成两个以上的第1凹部；利用树脂覆盖上述第1凹部的工序；第2面蚀刻工序，通过对上述第2面进行蚀刻而在上述第2面形成与上述两个以上的第1凹部连接的两个以上的第2凹部；以及除去上述树脂的工序，上述第1凹部包含形成有凹陷部的壁面、或者上述第2凹部包含形成有凹陷部的壁面。
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公开(公告)号：CN112626451A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011072285.1
申请日：2020-10-09
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本公开提供用于制造蒸镀掩模的金属板、金属板的制造方法、蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法。一种用于制造蒸镀掩模的金属板，该金属板具备第1面和位于第1面的相反侧的第2面，并且包含铁和镍，该金属板可以具有包含除铁和镍以外的元素作为主要成分的颗粒。在包括金属板的第1面和第2面的样品中，可以满足下述条件(1)、(2)。(1)每1mm3体积的样品中所包含的具有1μm以上的等效圆直径的颗粒的数量为50个以上3000个以下。(2)每1mm3体积的样品中所包含的具有3μm以上的等效圆直径的颗粒的数量为50个以下。
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公开(公告)号：CN111455312A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201911106045.6
申请日：2019-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C23C14/04 , C23C14/24 , C22C38/10 , C22C38/08 , C21D1/26 , C21D8/02 , C21D9/00 , C21D1/74 , C23F1/02 , C23F1/28
Abstract: 本发明涉及制造蒸镀掩模的金属板及其制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和具备其的蒸镀掩模装置。为了制造蒸镀掩模而使用的金属板具有30μm以下的厚度。通过利用EBSD法测定出现在金属板的截面中的晶粒并对测定结果进行分析而算出的晶粒的平均截面积为0.5μm2以上且50μm2以下。平均截面积通过在将晶体取向之差为5度以上的部分认定为晶界的条件下利用面积法对由EBSD法得到的测定结果进行分析而算出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1761023A
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200510113483.7
申请日：2005-10-17
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: H01J29/07
CPC classification number: H01J29/076 , H01J2229/0755
Abstract: 一种荫罩(21)，在荫罩主体(22)的水平方向(X)以及垂直方向(Y)上排列有多个槽缝(23)。各槽缝具有通过连通大致矩形状的反面侧孔部(33)与大致矩形状的正面侧孔部(32)而形成的通孔(31)。在形成于荫罩主体上的多个槽缝中，至少形成在通过荫罩主体的中心点(28)的水平轴(24)与两个对角轴(26、27)之间的区域中的槽缝的正面侧孔部，构成其正面侧孔部轮廓的上下一对边(32c、32d)，沿着以荫罩主体的中心点为起点延伸至该槽缝的放射线(61)相对于水平轴倾斜。上下一对边(32c、32d)的倾斜角(β)，优选的是相对于延伸至槽缝的放射线(61)与水平轴的角度(α)来说在±10°的范围内。
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公开(公告)号：CN119876845A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411477074.4
申请日：2024-10-22
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 冈宏树
Abstract: 本发明提供掩模和掩模的制造方法。掩模的壁面的第1端也可以位于比第2端靠内侧的位置。壁面也可以包含：位于第1端、与第1假想直线和壁面相交的第1假想点之间的第1壁面；以及位于第1假想点与第2端之间的第2壁面。第1假想直线是穿过第1端和第2端的假想的直线。第1壁面也可以包含位于比第1假想直线靠内侧的部分。壁面也可以具有第1端、与第2假想直线和第1面相交的第2假想点之间的在第1面的面内方向上的距离即第2尺寸。第2假想直线是穿过第2端并在厚度方向上延伸的假想的直线。第1壁面也可以具有第1假想直线与第3假想直线之间的在第1面的面内方向上的距离即第3尺寸。第3假想直线是与第1假想直线平行地延伸并与第1壁面相切的假想的直线。第3尺寸相对于第2尺寸的比率可以为0.120以下。
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公开(公告)号：CN119608764A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411268909.5
申请日：2024-09-11
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供金属板及其制造方法、以及金属掩模的制造方法。提供遍及更大的范围均质性较高的长条的金属板及其制造方法、以及由该金属板得到的金属掩模及其制造方法。一种金属板，其是用于制造金属掩模的长条的金属板，其中，在长度方向上的任意多个位置分别测量与所述金属板的宽度方向上的任意的位置n对应的、长度方向的单位长度L0下的伸长差率En时，在多个所述位置处，宽度方向的中央部的伸长差率En之差为9.0×10‑6以下，所述中央部是所述金属板的除了宽度方向上的两个占10％的侧部之外的、宽度方向上的占80％的部分。
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公开(公告)号：CN113774323B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202111239868.3
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及用于制造蒸镀掩模的金属板和金属板的制造方法以及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。金属板具有位于金属板的表面的两个以上的凹坑。用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法具备下述检查工序：基于位于金属板的表面的一部分的两个以上的凹坑的容积的总和，判定金属板的优劣。
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公开(公告)号：CN117187746A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311162647.X
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及金属板的制造方法和蒸镀掩模的制造方法。金属板具有位于金属板的表面的两个以上的凹坑。用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法具备下述检查工序：基于位于金属板的表面的一部分的两个以上的凹坑的容积的总和，判定金属板的优劣。
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