可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块

    公开(公告)号:CN102074352B

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN201010537486.4

    申请日:2010-11-08

    CPC classification number: H01P1/2039 H01P3/081

    Abstract: 本发明涉及可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块,可变分布常数线路包括衬底;信号线路,其设置在该衬底上,且包括彼此面对的第一线路部分和第二线路部分;可移动电极,其设置在该衬底上方,且以面向第一线路部分和第二线路部分的方式横跨第一线路部分和第二线路部分;以及驱动电极,其以面向该可移动电极的方式设置在该衬底上,通过施加在该驱动电极和该可移动电极之间的电压作用吸引该可移动电极,且改变该信号线路和该可移动电极之间的距离。

    制造MEMS器件的方法以及MEMS器件

    公开(公告)号:CN102190286A

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN201110057805.6

    申请日:2011-03-04

    CPC classification number: H01G7/00 H01H57/00 H01R9/00

    Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件,并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤:在衬底上形成第一电极,其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部;在第一电极上形成牺牲层,其中牺牲层具有第一倾斜边缘,该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置,使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小;在第一电极上形成第一隔离体,其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触;在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极;以及在形成梁电极以后去除牺牲层。

    MEMS设备
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102194572B

    公开(公告)日:2013-02-27

    申请号:CN201110049686.X

    申请日:2011-02-28

    CPC classification number: H01G5/18

    Abstract: 一种MEMS设备包括:衬底;固定电极,其被设置在该衬底上并且允许信号通过其中;可移动电极,其以面向该固定电极的方式设置在该衬底上方并且允许信号通过其中;驱动线,其被设置在该衬底内部并且被用作施加驱动电极以移置该可移动电极;以及第一电阻,其被设置在形成于该衬底内部的第一过孔中,并且被用作切断信号。通过第一电阻将固定电极或者可移动电极连接到驱动线。

    可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块

    公开(公告)号:CN102074352A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN201010537486.4

    申请日:2010-11-08

    CPC classification number: H01P1/2039 H01P3/081

    Abstract: 本发明涉及可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块,可变分布常数线路包括衬底;信号线路,其设置在该衬底上,且包括彼此面对的第一线路部分和第二线路部分;可移动电极,其设置在该衬底上方,且以面向第一线路部分和第二线路部分的方式横跨第一线路部分和第二线路部分;以及驱动电极,其以面向该可移动电极的方式设置在该衬底上,通过施加在该驱动电极和该可移动电极之间的电压作用吸引该可移动电极,且改变该信号线路和该可移动电极之间的距离。

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