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公开(公告)号：CN103137385A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210400808.X
申请日：2012-10-19
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: B81B3/0067 , B81B3/0021 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01L41/0805 , H01L41/0933
Abstract: 本申请提供一种电子器件，包括：基材；横梁，可弹性变形以向上弯曲，并且具有由形成在该基材中的缝隙部分限定的轮廓；导电图案，设置在该横梁的顶面上；接触电极，设置在该导电图案上方，该接触电极能接触该导电图案；以及可弹性变形的桥电极，该桥电极将该导电图案和该基材的位于该轮廓之外的部分连接。
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公开(公告)号：CN102190286A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110057805.6
申请日：2011-03-04
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。
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公开(公告)号：CN100466318C
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN03826503.6
申请日：2003-05-22
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01L41/107 , G06F3/03 , G06F3/033
CPC classification number: G06F3/0436 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/29 , H01L41/316
Abstract: 一种压电元件(X)，具有基板(11)、压电膜(12)、第一电极(13)、以及第二电极(14)，第一电极(13)以及/或者第二电极(14)介于上述基板(11)以及上述压电膜(12)之间，并且由含有0.1～3wt%的从Ti、Cr、Ni、Cu、Zn、Pd、Ag、Hf、W、Pt、以及Au构成的组中选择出的金属的Al合金构成。
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公开(公告)号：CN101135562A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200710147843.4
申请日：2007-08-30
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供了一种振动传感器。该振动传感器包括：具有基座和从该基座延伸的臂的音叉式振动器；用于安装所述音叉式振动器的安装部；以及用于将所述音叉式振动器安装在所述安装部上的多个支撑件。
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公开(公告)号：CN101078962A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710127096.8
申请日：2003-05-22
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G06F3/043
CPC classification number: G06F3/0436
Abstract: 本发明涉及触摸屏装置。在压电体的前表面上形成梳状电极和在后表面上形成板状电极(整片电极)而构成设置在非压电基板的框架区中的激励元件和接收元件，梳状电极由总线电极和从总线电极延伸的多个V形电极指构成。设置有外围引线以将梳状电极(总线电极)和板状电极连接到外部电路，在梳状电极(总线电极)和板状电极(所有梳状电极的电极指具有相同的极性)之间加上周期信号时，来自位于上边和下边的激励元件的声表面波同时分别沿两个方向传播，所传播的声表面波分别由位于左边和右边的接收元件接收。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101059347A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710096500.X
申请日：2007-04-19
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，并且所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的多个臂部长度的平均值的百分之一。
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公开(公告)号：CN1771612A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN03826503.6
申请日：2003-05-22
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01L41/107 , G06F3/03 , G06F3/033
CPC classification number: G06F3/0436 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/29 , H01L41/316
Abstract: 一种压电元件(X)，具有基板(11)、压电膜(12)、第一电极(13)、以及第二电极(14)，第一电极(13)以及/或者第二电极(14)介于上述基板(11)以及上述压电膜(12)之间，并且由含有0.1～3wt％的从Ti、Cr、Ni、Cu、Zn、Pd、Ag、Hf、W、Pt、以及Au构成的组中选择出的金属的Al合金构成。
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公开(公告)号：CN102190286B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201110057805.6
申请日：2011-03-04
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。
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公开(公告)号：CN103430260A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201180069245.4
申请日：2011-03-16
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够可靠地控制可动电极的动作的可变电容元件。具有可变电容元件的电子设备具有：给予物理性支承的支承基板；一对固定部件，其被形成在支承基板上，并且具有与支承基板表面垂直方向的支承部；可动电极，其被一对固定部件的支承部支承，对置的第一侧面和第二侧面构成电极面，并且至少一部分能够弹性变形；第一固定电极，其被支承在支承基板上，具有与可动电极的第一侧面对置的第一电极面；以及第二固定电极，其被支承在支承基板上，具有与可动电极的第二侧面对置的第二电极面。
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公开(公告)号：CN102190275A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110043026.0
申请日：2011-02-21
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81C1/00698 , B81B2201/0221 , H01G5/18
Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极，并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层，所述方法包括以下步骤：在固定电极和可动电极之间施加第一电压，使可动电极与电介质层进行接触，并且，在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前，在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反，并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。
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