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公开(公告)号：CN103858199B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201180073766.7
申请日：2011-09-30
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B3/0072 , B81B3/0097 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , H01G5/16 , H01H59/0009
Abstract: 形成具有翘曲被抑制的可动部的电气设备。在形成在衬底上的第一种子层上并与第一空间区域相邻的位置，通过镀敷形成至少一个第二金属材料的台座部和相向电极，利用第一牺牲层填埋第一空间区域，利用相同的抗蚀图案，通过连续镀敷，形成从第一牺牲层上延伸至台座部的表面的一部分的金属材料的第二牺牲层以及在第二牺牲层上的具有与第二金属材料相同的组分、热膨胀系数的第三金属材料的下部结构体，露出未形成有第二牺牲层的台座部表面，在台座部、下部结构体上，通过镀敷形成与第二金属材料、第三金属材料具有相同的组分、热膨胀系数的第四金属材料的上部结构体，去除第一牺牲层、第二牺牲层，制成具有可动部的电气设备。
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公开(公告)号：CN102800478B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201210247006.X
申请日：2008-01-24
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H03H7/38 , H03H2007/006
Abstract: 本发明提供一种可变电容开关、阻抗匹配电路、以及发送和接收切换电路。该可变电容开关由微机械装置制成，该微机械装置包括彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层，当在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压时，该第一电极或该第二电极发生位移，以导通或断开电路，其中，选择并形成该介电层的材料和厚度，使得在以5毫秒的周期切换该控制电压的极性时，该第一电极与该第二电极之间的电容相对其电容初始值的改变量为10％或更小。本发明能够抑制微机械装置的电压控制特性中的磁滞现象的产生，并且能够比传统方法更容易地执行更精确的控制。
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公开(公告)号：CN102074352B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201010537486.4
申请日：2010-11-08
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01P1/2039 , H01P3/081
Abstract: 本发明涉及可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块，可变分布常数线路包括衬底；信号线路，其设置在该衬底上，且包括彼此面对的第一线路部分和第二线路部分；可移动电极，其设置在该衬底上方，且以面向第一线路部分和第二线路部分的方式横跨第一线路部分和第二线路部分；以及驱动电极，其以面向该可移动电极的方式设置在该衬底上，通过施加在该驱动电极和该可移动电极之间的电压作用吸引该可移动电极，且改变该信号线路和该可移动电极之间的距离。
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公开(公告)号：CN102800478A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210247006.X
申请日：2008-01-24
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H03H7/38 , H03H2007/006
Abstract: 本发明提供一种可变电容开关、阻抗匹配电路、以及发送和接收切换电路。该可变电容开关由微机械装置制成，该微机械装置包括彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层，当在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压时，该第一电极或该第二电极发生位移，以导通或断开电路，其中，选择并形成该介电层的材料和厚度，使得在以5毫秒的周期切换该控制电压的极性时，该第一电极与该第二电极之间的电容相对其电容初始值的改变量为10％或更小。本发明能够抑制微机械装置的电压控制特性中的磁滞现象的产生，并且能够比传统方法更容易地执行更精确的控制。
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公开(公告)号：CN101552094B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200810185049.3
申请日：2008-12-26
Abstract: 本发明涉及一种电子组件，该电子组件包括：多层陶瓷基底，所述多层陶瓷基底具有在其中形成的穿透电极，并且具有在其上表面上提供的无源元件；绝缘膜，所述绝缘膜被提供在所述多层陶瓷基底上，并且具有在所述穿透电极上方的开口；第一连接端子，所述第一连接端子被提供在所述绝缘膜上以覆盖所述开口，并且被电连接到所述穿透电极；以及第二连接端子，所述第二连接端子被提供在所述绝缘膜的区域上，所述区域不同于所述开口区域。其中，所述穿透电极的上表面被定位为相比所述多层陶瓷基底的所述上表面具有一个突起量，该穿透电极的突起量差不多等于所述绝缘膜的膜厚度，从而使所述第一连接端子的高度差不多等于所述第二连接端子的高度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1988080B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200610144641.X
申请日：2006-11-09
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 一种电子元件，包括衬底以及位于该衬底上的电容器单元。该电容器单元具有层叠结构，该层叠结构包括设置在该衬底上的第一电极层、与该第一电极层相对的第二电极层以及位于该第一电极层与该第二电极层之间的电介质层。该第一电极层具有多层结构，该多层结构包括与该电介质层接合的粘合金属层。该粘合金属层在该电介质层一侧设置有氧化物涂层。
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公开(公告)号：CN101764593A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910265526.1
申请日：2009-12-25
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H7/0123 , H01P1/203 , H01P1/20381 , H01P1/2135 , H01P1/2136 , H01P3/082 , H03H7/0153
Abstract: 本发明提供一种滤波器、通信模组以及通信装置。其中滤波器包括：衬底；形成于衬底上的信号线，包括信号线两端处的输入端子和输出端子；以及第一对谐振线，连接在信号线和接地部分之间，其中，所述第一对谐振线在相同点连接到信号线。
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公开(公告)号：CN101295809A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200810094844.1
申请日：2008-04-28
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01P1/2013 , H01G5/40 , H01P1/203 , H01P11/007 , H03H7/0123 , H03H7/0153 , H03H7/175 , H03H7/1775
Abstract: 本发明提供一种适用于降低驱动电压的可变滤波器元件和可变滤波器模块。该可变滤波器元件包括衬底、两条地线和位于所述两条地线之间的信号线，其中这些线被设置为在所述衬底上平行延伸。该滤波器元件还包括：可移动电容器电极，其桥接在所述两条地线之间，并具有面对所述信号线的部分；驱动电极，其位于所述信号线和地线之间，并对所述可移动电容器电极产生静电引力；以及设置在所述衬底中的地线，其具有面对所述信号线的部分，并接地。所述可移动电容器电极和所述地线构成地互连部，而所述信号线和所述地互连部构成分布常数传输线。
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公开(公告)号：CN100424539C
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200610074386.6
申请日：2006-04-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B6/357 , G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/3584 , Y10S359/90
Abstract: 本发明涉及一种微移动元件及光开关器件。其中微移动元件包括微移动衬底、封装基底以及导电连接部件。该微移动衬底设有微移动单元，该微移动单元包括：框架；可移动部件，其能够转动；扭转连接部件，连接该框架与该可移动部件；以及致动器，用于产生使该可移动部件转动的驱动力。该封装基底包括内部互连结构。该导电连接部件设置在该微移动衬底与该封装基底之间，用于电连接该致动器与该内部互连结构。
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公开(公告)号：CN100362388C
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200410028718.8
申请日：2004-03-15
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H02N1/008
Abstract: 一种微型振荡元件包括：可移动主部件；第一框架和第二框架；和第一连接部件，连接可移动主部件和第一框架，并且限定用于可移动主部件相对于第一框架的第一旋转操作的第一旋转轴。元件还包括第二连接部件，连接第一框架和第二框架，并且限定用于第一框架和可移动主部件相对于第二框架的第二旋转操作的第二旋转轴。设有产生用于第一旋转操作的驱动力的第一驱动机构。设有产生用于第二旋转操作的驱动力的第二驱动机构。第一旋转轴和第二旋转轴不垂直。第一框架具有包括电极支撑侧部的四个侧部，第一驱动机构的一部分从第一框架的所述电极支撑侧部向可移动主部件延伸，并且第二驱动机构的一部分从第一框架的所述电极支撑侧部向第二框架延伸。
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