-
公开(公告)号：CN115046126A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210224403.9
申请日：2022-03-09
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 一种气体储存和分配容器包含储存器皿、第一气体压力调节器和第二气体压力调节器。所述储存器皿配置成容纳加压气体。所述气体储存和分配容器具有用于排放所述加压气体的排放流动路径。所述第一气体压力调节器设置在所述储存器皿内，并且所述第二气体压力调节器在所述储存器皿外部。所述排放流动路径延伸穿过所述第一气体压力调节器和所述第二气体压力调节器。一种从气体储存和分配容器排放气体的方法包含第一气体压力调节器将所述加压气体的压力降低至第一压力并且第二气体压力调节器将所述加压气体的所述压力降低至第二压力。
-
公开(公告)号：CN105702547B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201610048444.1
申请日：2010-10-25
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 一种离子注入系统及方法，提供掺杂气体馈送线路中掺杂气体的冷却，以对抗由于电弧腔室生成的热量而造成掺杂气体的加热与分解,例如使用诸如B2F4的硼源材料，或其它BF3的替代物。在此描述了各种电弧腔室热管理的设置，以及等离子体特性的改变、特定流动设置、清洗处理过程、功率管理、平衡偏移、提取光学器件的最优化、流动通道中的沉积物的探测，以及源寿命的最优化，以实现离子注入系统的有效操作。
-
公开(公告)号：CN104813095B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201380060894.7
申请日：2013-09-20
Applicant: 恩特格里斯公司
CPC classification number: F17C13/12 , F17C13/04 , F17C2201/0104 , F17C2205/0326 , F17C2205/0329 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0344 , F17C2205/035 , F17C2205/0382 , F17C2205/0391 , F17C2221/012 , F17C2221/013 , F17C2221/015 , F17C2221/016 , F17C2227/045 , F17C2250/0626 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/7795
Abstract: 一种流体供给封装包，包括：一个压力调节流体贮存和分配容器，一个阀头，适于分配来自该容器的流体，以及一个抗压力尖峰组件，适于对抗在流体分配的初期来自所述阀头的流体的流动中的压力尖峰。
-
公开(公告)号：CN107408271A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680015492.9
申请日：2016-02-12
Applicant: 恩特格里斯公司
CPC classification number: F17C13/026 , F17C11/00 , F17C13/003 , F17C13/02 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391 , F17C2205/05 , F17C2205/054 , F17C2205/058 , F17C2250/0439 , F17C2270/0518 , G06K19/06037 , G06K19/0723 , G06Q50/04 , G06K17/00 , G06K2017/0083 , G06Q50/10
Abstract: 本发明描述一种流体供应封装，所述流体供应封装包含流体存储与施配容器，及耦合到所述容器且经配置以达成在施配条件下从所述容器排放流体的流体施配组合件，其中所述流体供应封装在其上包含信息扩充装置，例如，快速读取QR码及RFID标签中的至少一者，以用于所述封装的信息扩充。本发明描述工艺系统，所述工艺系统包含工艺工具及上述类型的一或多个流体供应封装，其中所述工艺工具经配置以用于与所述流体供应封装进行通信交互。本发明描述各种通信布置，所述通信布置有效地用以增强其中采用上述类型的流体供应封装的工艺系统的效率及操作。
-
公开(公告)号：CN118941406A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410927030.0
申请日：2016-02-12
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本申请涉及智能封装。本申请描述一种流体供应封装，所述流体供应封装包含流体存储与施配容器，及耦合到所述容器且经配置以达成在施配条件下从所述容器排放流体的流体施配组合件，其中所述流体供应封装在其上包含信息扩充装置，例如，快速读取QR码及RFID标签中的至少一者，以用于所述封装的信息扩充。本申请描述工艺系统，所述工艺系统包含工艺工具及上述类型的一或多个流体供应封装，其中所述工艺工具经配置以用于与所述流体供应封装进行通信交互。本申请描述各种通信布置，所述通信布置有效地用以增强其中采用上述类型的流体供应封装的工艺系统的效率及操作。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118318151A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202280079056.3
申请日：2022-11-29
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 一种高压流体存储系统，其具有可执行压力调节器装置的功能的至少一个压力感测装置(PSD)。所述PSD可经由增材制造工艺制造以包含第一及第二单个一体式构造，其中外壳主体及内部压力调节机构在所述工艺期间一起制成。所述PSD可在无任何焊接组件或伸缩管的情况下制成。
-
公开(公告)号：CN113586937B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202110485000.5
申请日：2021-04-30
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 可使用经选择以具有约为从包含调节器组合件的流体存储及输送容器分配的选定流体的分子量的分子量的测试流体来测试调节器组合件。所述测试流体可为单种气体或混合物。所述测试流体可具有在从所述流体存储及输送容器分配的所述选定流体的所述分子量的80％到110％之间的分子量。当依此方式测试的调节器组合件在所述测试气体流启动时展示少于两个尖峰时，其可通过评估。可将这些调节器组合件安装到流体存储及输送容器中，尤其用于加压流体的存储及输送。
-
公开(公告)号：CN108591559B
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201810283916.0
申请日：2013-09-20
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本发明涉及压力调节器和流体供给封装包。一种流体供给封装包，包括：一个压力调节流体贮存和分配容器，一个阀头，适于分配来自该容器的流体，以及一个抗压力尖峰组件，适于对抗在流体分配的初期来自所述阀头的流体的流动中的压力尖峰。
-
公开(公告)号：CN106237934A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610643193.1
申请日：2011-08-28
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 描述了一种设备，包括反应区，用于反应物气体与反应性固体在有效形成中间产物的条件下接触，和开口，用于使气体试剂未反应部分和中间产物离开反应区。本设备可有利地用于形成作为中间产物与反应物气体的反应产物的最终产物。反应物气体与反应性固体的反应可在第一反应区进行，而反应物气体与中间产物的反应在第二反应区进行。在具体实施中，反应物气体与中间产物的反应是可逆的，且反应物气体和中间产物以受控速率或以受控方式流入第二反应区，从而抑制形成反应性固体的逆反应。
-
公开(公告)号：CN103201824B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201180052929.3
申请日：2011-08-28
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: H01L21/265
CPC classification number: B01J8/0285 , B01J8/0465 , B01J2208/00017 , B01J2208/00389 , B01J2208/00433 , B01J2208/00539 , C01B35/061
Abstract: 描述了一种设备，包括反应区，用于反应物气体与反应性固体在有效形成中间产物的条件下接触，和开口，用于使气体试剂未反应部分和中间产物离开反应区。本设备可有利地用于形成作为中间产物与反应物气体的反应产物的最终产物。反应物气体与反应性固体的反应可在第一反应区进行，而反应物气体与中间产物的反应在第二反应区进行。在具体实施中，反应物气体与中间产物的反应是可逆的，且反应物气体和中间产物以受控速率或以受控方式流入第二反应区，从而抑制形成反应性固体的逆反应。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
23
records
(took 0.039 seconds)
