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公开(公告)号:JPWO2019039249A1
公开(公告)日:2020-10-15
申请号:JP2018029365
申请日:2018-08-06
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 【課題】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。上面13aにおけるX線ロッキングカーブの(0002)面反射の半値幅が3000秒以下、20秒以上である。13族元素窒化物結晶層13の上面13aに対する法線Tが、13族元素窒化物結晶の 方向に対して2.0°以下のオフ角θを有する。 【選択図】 図11
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公开(公告)号:JPWO2019038892A1
公开(公告)日:2020-04-16
申请号:JP2017030373
申请日:2017-08-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/28 , H01L29/47 , H01L29/872 , H01L29/417 , H01L21/329 , H01L29/868 , H01L29/201 , H01L29/20 , C30B29/38 , H01L33/32 , H01L33/16
Abstract: 【課題】窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶から選択された13族元素窒化物結晶からなり、上面及び底面を有する13族元素窒化物結晶層において、転位密度を低くでき、全体にわたって特性のばらつきを少なくできるような微構造を提供する。 【解決手段】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。上面13aにおけるX線ロッキングカーブの(0002)面反射の半値幅が3000秒以下、20秒以上であることを特徴とする。 【選択図】 図1
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公开(公告)号:JP2019172488A
公开(公告)日:2019-10-10
申请号:JP2018061030
申请日:2018-03-28
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C23C16/34 , C23C16/01 , H01L21/205 , H01L33/32 , C30B29/38
Abstract: 【課題】窒化ガリウム基板上に設けられた半導体系機能素子において、発光効率等の機能を更に向上させる窒化ガリウム基板の提供。 【解決手段】弾性定数C11が200〜290GPaである窒化ガリウム基板。好ましくは密度が6.0〜6.2g/cm 3 、転位密度が1×10 8 cm −2 以下、波長400〜1500nmの光に対する吸収係数が4cm −1 以下、比抵抗率が10 2 Ωcm以下である窒化ガリウム基板。窒化ガリウム基板からなる自立基板13。自立基板13および窒化ガリウム基板上に設けられた機能層18を有する機能素子21。機能層18の機能が、発光機能、整流機能または電力制御機能である機能素子21。支持基板、および支持基板上に設けられた窒化ガリウム基板を備えている、複合基板。複合基板、および窒化ガリウム基板上に設けられた機能層18を有する、機能素子21。 【選択図】図2
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公开(公告)号:JPWO2019039190A1
公开(公告)日:2020-10-01
申请号:JP2018028207
申请日:2018-07-27
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 【課題】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。上面13aにおけるX線ロッキングカーブの(0002)面反射の半値幅が3000秒以下、20秒以上であり、酸素原子の含有量が1×10 18 atom/cm 3 以下であり、珪素原子、マンガン原子、炭素原子、マグネシウム原子およびカルシウム原子の含有量がそれぞれ1×10 17 atom/cm 3 以下であり、クロム原子の含有量が1×10 16 atom/cm 3 以下であり、塩素原子の含有量が1×10 15 atom/cm 3 以下である。 【選択図】 図1
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公开(公告)号:JPWO2019039342A1
公开(公告)日:2020-09-17
申请号:JP2018030222
申请日:2018-08-13
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 窒化ガリウム基板は、上面及び底面を有する。上面をカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部と、前記高輝度発光部に隣接する低輝度発光領域とを有しており、弾性定数C11が200GPa以上、290GPa以下である。 【選択図】 図1
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公开(公告)号:JP2020073438A
公开(公告)日:2020-05-14
申请号:JP2019233196
申请日:2019-12-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C30B19/02 , C30B25/18 , H01L21/208 , C30B29/38
Abstract: 【課題】窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶から選択された13族元素窒化物結晶からなり、上面及び底面を有する13族元素窒化物結晶層において、転位密度を低くでき、全体にわたって特性のばらつきを少なくできるような微構造を提供する。 【解決手段】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。上面13aにおけるX線ロッキングカーブの(0002)面反射の半値幅が3000秒以下、20秒以上であることを特徴とする。 【選択図】 図1
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公开(公告)号:JP6125527B2
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:JP2014545471
申请日:2012-11-06
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: H05K1/0203 , H01L33/486 , H01L33/62 , H01L33/641 , H05K1/0204 , H05K1/0209 , H05K1/0298 , H01L2924/0002 , H01L2933/0066 , H05K1/053 , H05K2201/062 , H05K2201/068 , H05K2201/10106 , H05K2201/10416 , H05K2203/1126
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