窒化ガリウム基板、自立基板および機能素子

    公开(公告)号:JP2019172488A

    公开(公告)日:2019-10-10

    申请号:JP2018061030

    申请日:2018-03-28

    Abstract: 【課題】窒化ガリウム基板上に設けられた半導体系機能素子において、発光効率等の機能を更に向上させる窒化ガリウム基板の提供。 【解決手段】弾性定数C11が200〜290GPaである窒化ガリウム基板。好ましくは密度が6.0〜6.2g/cm 3 、転位密度が1×10 8 cm −2 以下、波長400〜1500nmの光に対する吸収係数が4cm −1 以下、比抵抗率が10 2 Ωcm以下である窒化ガリウム基板。窒化ガリウム基板からなる自立基板13。自立基板13および窒化ガリウム基板上に設けられた機能層18を有する機能素子21。機能層18の機能が、発光機能、整流機能または電力制御機能である機能素子21。支持基板、および支持基板上に設けられた窒化ガリウム基板を備えている、複合基板。複合基板、および窒化ガリウム基板上に設けられた機能層18を有する、機能素子21。 【選択図】図2

    13族元素窒化物層、自立基板および機能素子

    公开(公告)号:JPWO2019039190A1

    公开(公告)日:2020-10-01

    申请号:JP2018028207

    申请日:2018-07-27

    Abstract: 【課題】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。上面13aにおけるX線ロッキングカーブの(0002)面反射の半値幅が3000秒以下、20秒以上であり、酸素原子の含有量が1×10 18 atom/cm 3 以下であり、珪素原子、マンガン原子、炭素原子、マグネシウム原子およびカルシウム原子の含有量がそれぞれ1×10 17 atom/cm 3 以下であり、クロム原子の含有量が1×10 16 atom/cm 3 以下であり、塩素原子の含有量が1×10 15 atom/cm 3 以下である。 【選択図】 図1

    13族元素窒化物結晶層、自立基板および機能素子

    公开(公告)号:JP2020073438A

    公开(公告)日:2020-05-14

    申请号:JP2019233196

    申请日:2019-12-24

    Abstract: 【課題】窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶から選択された13族元素窒化物結晶からなり、上面及び底面を有する13族元素窒化物結晶層において、転位密度を低くでき、全体にわたって特性のばらつきを少なくできるような微構造を提供する。 【解決手段】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。上面13aにおけるX線ロッキングカーブの(0002)面反射の半値幅が3000秒以下、20秒以上であることを特徴とする。 【選択図】 図1

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