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公开(公告)号：CN116504706A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202211197255.2
申请日：2022-09-27
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供半导体制造装置用部件，在具备容许气体流通的多孔质插塞的半导体制造装置用部件的基础上，抑制杂质混入于晶片，并且，抑制气体的流通阻力增大。半导体制造装置用部件(10)具备：在上表面具有晶片载放面(21)的陶瓷板(20)、以及容许气体流通的多孔质插塞(50)。多孔质插塞(50)配置于沿着上下方向贯穿陶瓷板(20)的插塞插入孔(24)。多孔质插塞(50)具有：在晶片载放面(21)露出的第一多孔质部(51)、以及上表面由第一多孔质部51覆盖的第二多孔质部(52)。第一多孔质部(51)与第二多孔质部(52)相比，纯度高且厚度薄。第二多孔质部(52)与第一多孔质部(51)相比，气孔率高。
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公开(公告)号：CN106664790B
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201680002242.1
申请日：2016-08-18
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 原子束源(10)具备：筒状的阴极(20)，其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30)；设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40；以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50)；通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成，从而抑制溅射粒子的射出，该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。
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公开(公告)号：CN104364062A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029390.9
申请日：2013-06-03
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B28B3/26
CPC classification number: B28B3/269 , B23P15/243
Abstract: 一种蜂窝结构体成形用模头(1)，具备有由铁等形成的第2板状部(3)和碳化钨基硬质合金制的第1板状部(7)；第2板状部(3)具有第2接合面(6)，形成有用于导入成形原料的内孔(5)；第1板状部(7)具有第1接合面(10)，形成有与内孔(5)连通的用于使成形原料成形的狭缝(9)，同时，连通内孔(5)及狭缝(9)的孔部(11)形成于第1接合面(10)一侧；第1板状部(7)配设在第2板状部(3)上，第1接合面(10)与第2接合面(6)相接；第1接合面(10)上的孔部(11)的开口部直径与第2接合面(6)上的内孔(5)的开口部直径的大小不同；第1接合面(10)上的孔部(11)的开口部(11a)配置在第2接合面(6)上的内孔(5)的开口部(5a)的内侧。提供可以抑制蜂窝结构体发生变形的蜂窝结构体成形用模头。
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公开(公告)号：CN113439208A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201980090924.6
申请日：2019-12-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N27/407 , G01N27/416
Abstract: 传感器元件具备：测定电极44，其配设于被测定气体流通部9的内周面上；以及基准电极42，其在作为特定气体浓度的检测基准的基准气体中露出。传感器元件具备导入口保护层(第五保护层84e)，其将元件主体102的表面中的作为被测定气体流通部9的入口的气体导入口10、以及开设有该气体导入口10的第五面102e的至少一部分覆盖。并且，第五保护层84e所具有的第五内部空间90e的第五内周面94e(第五外侧内周面95e)的算术平均粗糙度Rap满足：8μm以上或大于保护层84中的与元件主体102之间的接合面97的算术平均粗糙度Rac中的至少一个条件。
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公开(公告)号：CN108028312A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680002597.0
申请日：2016-09-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/337 , B24B37/10 , H01L41/18 , H01L41/312 , H01L41/335 , H03H3/08
CPC classification number: H01L41/337 , B24B37/10 , B81C1/00611 , H01L21/30625 , H01L21/7684 , H01L41/0805 , H01L41/18 , H01L41/312 , H01L41/338 , H03H3/02
Abstract: 本发明的复合基板的制造方法包括以下工序：(a)对直径2英寸以上的贴合基板的压电基板侧进行镜面研磨直至所述压电基板的厚度为20μm以下，该贴合基板是将压电基板和支撑基板接合而得到的；(b)进行离子束加工，加工成：所述压电基板的外周部的厚度比内周部厚且所述压电基板的内周部的厚度的最大值与最小值的差值在整个平面中为100nm以下；(c)使用直径5mm～30mm的研磨垫，使所述研磨垫带来的按压力保持恒定，并且，使所述研磨垫边旋转边移动，从而进行CMP研磨，除去通过所述离子束加工而产生的变质层的至少一部分，使所述压电基板的整个表面变得平坦。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104379310B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201380029389.6
申请日：2013-06-03
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B28B3/26
CPC classification number: B32B3/266 , B28B3/269 , B29C47/0028 , B29C47/085 , B29C47/0852 , B29C47/0859 , B29C47/30 , B32B2037/1246
Abstract: 一种蜂窝结构体成形用模头(1)，包含第2板状部(3)和碳化钨基硬质合金制的第1板状部(7)，第2板状部(3)由铁等形成的同时形成有内孔(5)，第1板状部(7)形成有与内孔(5)连通的孔部(11)的同时形成有与孔部(11)连通的狭缝(9)；第1板状部(7)由配设在第2板状部(3)一侧的第1层(7a)、和配设在第1层(7a)上的第2层(7b)构成，孔部(11)在第1层(7a)的两面开孔，狭缝(9)在第2层(7b)的两面开孔。提供寿命长的蜂窝结构体成形用模头。
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公开(公告)号：CN102398209B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201110265297.0
申请日：2011-09-08
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B24B37/04 , B24B37/26 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/042 , B24B7/228 , B24B13/00 , B24B37/00 , B24B37/0056 , B24B37/26 , B24B57/02
Abstract: 本发明提供一种被研磨物的研磨方法及研磨垫，其用来通过研磨被研磨物的表面而使表面形成为精度较高的凹面或者凸面。研磨垫(10)在表面上的径向的中心区域和外周区域形成有不同的槽状态，中心侧或外侧的任一区域为形成有槽(15)的第一研磨区域(11)、另一区域为做成与第一研磨区域(11)不同槽状态的第二研磨区域(12)，在该研磨垫(10)上以横跨研磨区域(11)与第二研磨区域(12)的交界的状态配设被研磨物(20)，使研磨垫(10)及被研磨物(20)旋转，对被研磨物(20)进行研磨。
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公开(公告)号：CN104822491A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201480003235.4
申请日：2014-10-02
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B24B1/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24B9/065 , B24B7/228 , B24B37/044 , B24B37/08 , B24B37/105 , C30B33/00 , H01L21/02013
Abstract: 磨削装置(10)具备可控制装置整体的控制器(11)，磨削电动机(14)，通过磨削电动机(14)旋转的砂轮座(15)以及固定在砂轮座(15)上的磨削用砂轮(16)。磨削工序中，使用该磨削装置(10)，利用以10m/s以下的圆周速度旋转的磨削用砂轮(16)磨削被研磨(18)的表面(19)。该磨削工序中，优选利用以0.5m/s以上的圆周速度旋转的磨削用砂轮(16)磨削被研磨物(18)的表面(19)。该磨削工序中，磨削作为上述被研磨物的氧化铝、蓝宝石、碳化硅以及氮化镓的表面。另外，该方法也包含使用磨粒研磨上述磨削后的被研磨物的研磨工序。
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公开(公告)号：CN101745975A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910246596.2
申请日：2009-11-25
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B28B3/26
CPC classification number: B28B3/269 , B23P15/243 , Y10T156/1056 , Y10T156/1082
Abstract: 本发明提供一种耐磨耗性高的蜂窝构造体成形用接头(1)，具有导入成形原料的内孔(4)、和将成形原料挤压成形为格子状的狭缝(5)。其包括由含有碳化钨和结合材料的超硬合金构成的，并形成有在厚度方向贯通的内孔(4)的第一板状构件(2)；和所述第一板状构件(2)接合的，由含有碳化钨和结合材料的超硬合金构成的，并形成有和内孔(4)连通的狭缝(5)的第二板状部件(3)；所述结合材料在所述第一板状构件(2)和所述第二板状构件(3)的接合部中分布得比第一板状构件(2)和第二板状构件(3)的其他部分中的少。
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公开(公告)号：CN100410011C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200510114309.4
申请日：2005-10-20
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B24B7/162 , Y10S269/90 , Y10S451/914
Abstract: 本发明提供一种研磨加工用夹具组及多个被研磨体的研磨方法，其不会损伤被研磨体、不会改变开始到结束期间的多个被研磨体的配置图案。研磨加工用夹具组用在将多个被研磨体配置在研磨夹具上，在被研磨体的研磨加工结束之后直到使被研磨体从研磨夹具脱离的一系列工序中，且由多个夹具单元组成，包括：配置用小型托架；分割托架，其可在收容配置用小型托架的状态下将被研磨体从起始托架上移送到配置用小型托架上；分割板，其可将载放在配置用小型托架上的被研磨体以转印状态配置到研磨夹具的表面上；脱离用小型托架，其可在被研磨体的研磨加工结束后，将通过规定的剥离处理从研磨夹具的表面上脱离的被研磨体以转印状态和分割成局部图案的状态移送。
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