原子束源
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106664790B

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201680002242.1

    申请日:2016-08-18

    Abstract: 原子束源(10)具备:筒状的阴极(20),其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30);设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40;以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50);通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成,从而抑制溅射粒子的射出,该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。

    蜂窝状构造体的制造方法及其制造装置

    公开(公告)号:CN101754838B

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN200880025207.7

    申请日:2008-07-18

    CPC classification number: B28B11/006 B28B11/007 Y10T156/12

    Abstract: 一种具有孔眼密封部的蜂窝状构造体的制造方法及其制造装置,可缩短制造时间,从而可削减制造成本。在将蜂窝状构造体(1)定位于具有可插入蜂窝状构造体(1)端面部的贯通孔(11h)的台部(11)的状态下,将膜片(25)粘贴在蜂窝状构造体(1)的端面(8)上,并且做成膜片(25)的未粘贴在端面(8)上的剩余部分被粘贴在台部(11)上的状态,从而以平坦的状态保持膜片(25),通过在膜片(25)上形成与一部分网孔(3)的开口相对应的开口孔而将膜片(25)做成掩膜,利用孔眼密封材料供给装置(23)将具有流动性的孔眼密封材料(31)供给到该掩膜上或掩膜的同一平面上,然后利用孔眼密封装置(24)将孔眼密封材料(31)充填到蜂窝状构造体(1)的网孔(3)内。

    原子束源
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106664790A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201680002242.1

    申请日:2016-08-18

    CPC classification number: G21K5/00 G21K5/02 H05H1/46 H05H3/02

    Abstract: 原子束源(10)具备:筒状的阴极(20),其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30);设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40;以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50);通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成,从而抑制溅射粒子的射出,该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。

    蜂窝结构体的制造方法及其制造装置

    公开(公告)号:CN101541491B

    公开(公告)日:2013-09-25

    申请号:CN200880000601.5

    申请日:2008-07-18

    CPC classification number: B28B11/006 B28B11/007

    Abstract: 本发明提供通过缩短时间来消减制造成本的具有封孔部的蜂窝结构体的制造方法及其制造装置。在蜂窝结构体(1)上实施掩模,向该掩模上或与掩模为同一平面上供给具有流动性的封孔材料(31)(浆料或糊料),通过在掩模的表面上使相对于该表面配置成锐角并具有用于对封孔材料(31)加压的加压面的加压部件(24)移动,从而用加压面对封孔材料(31)加压并将封孔材料(31)填充到蜂窝结构体的隔室内。具体地说,使加压面的一部分区域通过封孔材料(31)与掩模接触并在掩模上移动,对封孔材料(31)向隔室一侧加压的同时将剩余的封孔材料(31)向移动方向推出,并且一边形成面接触区域一边加压填充到隔室内。

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