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公开(公告)号：CN105008868A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201380074118.2
申请日：2013-12-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/69 , G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F15/022 , H01L29/045 , H01L29/84
Abstract: 为了提供测量精度高的热式流量计，采用以下结构：具有流量检测部、用于配置上述流量检测部的副通路和被输入从上述流量检测部得到的信号且向外部输出信号的LSI，上述副通路的侧壁配置在上述流量检测部与上述LSI之间或者配置在上述LSI上，设置在上述LSI的内部的扩散电阻的长度方向与单晶硅的 轴平行。
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公开(公告)号：CN103380353B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201180067266.2
申请日：2011-03-02
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: H01L29/66992 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F5/00
Abstract: 本发明提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理，从而提高传感元件的灵敏度，并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计，具有：形成于半导体基板的空洞部；以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部；和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体，其中，在形成上述薄膜部后，进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。
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公开(公告)号：CN102959411B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201180030636.5
申请日：2011-06-21
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01R31/02 , G01D3/08 , G01R31/026 , G01R31/2829
Abstract: 在现有技术的桥电路的断路检测电路中，对桥输出的补偿电压和温度特性恶化的情形缺乏考虑。本发明所要解决的技术问题是提供一种将传感器的特性变化抑制到微小的桥电路的断路检测电路。本发明的桥电路的断路检测电路（8a）由从桥电路的输出端子向预定的电位流过电流的通电单元（9、10）；检测出所述桥电路的输出端子的电位和所述预定电位的电位差的电位差检测单元（12、13）和根据所述电位差检测单元的输出来检测断路的断路检测单元（14）构成（参考图1）。
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公开(公告)号：CN102620853B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210018140.2
申请日：2012-01-19
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01K13/02 , G01F1/00 , G01F1/68 , G01F1/6888 , G01F5/00 , G01F15/185 , G01K1/20 , G01K7/42 , G01K2013/024 , G01K2205/02
Abstract: 本发明提供一种能够以高精度高速地检测出吸气温度的吸气温度传感器及具有该吸气温度传感器的热敏式空气流量计。本发明涉及的吸气温度传感器包括：取入吸气流的副通路(7)；配置在副通路(7)的内部的流量检测元件(13)；设置在副通路的外部的吸气温度检测元件(4)；对吸气温度检测元件(4)的安装部的温度进行检测的温度传感器(9)；配置在框体内部的电路基板(11)；根据温度传感器(9)及流量检测元件(13)的输出信号对吸气温度检测元件(4)的输出进行补正处理的集成电路(10)。
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公开(公告)号：CN103026181A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201180036158.9
申请日：2011-07-28
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6842 , G01F1/699
Abstract: 本发明的课题在于提供高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。本发明的传感器元件（1）具备：半导体基板（2）、形成于半导体基板（2）的空腔部（4）、在空腔部（4）上隔着电绝缘膜形成的发热电阻器（5）、检测发热电阻器（5）的加热温度的加热温度传感器（7）、根据由加热温度传感器（7）检测的温度控制发热电阻器（5）的加热温度的驱动电路（22）。并且，加热温度传感器（7）是电阻值根据温度而变化的热敏电阻器，相对于发热电阻器（5）配置于被计测流体的流动的上游侧以及下游侧，且配置于被计测流体的流动的垂直方向的上部侧和下部侧。
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公开(公告)号：CN110678717B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201880020523.9
申请日：2018-03-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/00
Abstract: 本发明提供一种可以高速地跟随输入信号的脉动状态的变化的空气流量计。本发明的空气流量计(1)具备：空气流量检测元件(3)，其生成与作为测定对象的空气流量相关的输入信号(Qsen)；以及运算部(2)，其根据输入信号(Qsen)来进行用于生成与空气流量相应的输出信号(Qout)的运算。运算部(2)具有：输出信号运算部(7)，其对输出信号(Qout)进行包括比1大的乘方运算在内的运算；输入信号运算部(4)，其对输入信号(Qsen)进行运算；减法部(5)，其求出输出信号运算部(7)的运算结果与输入信号运算部(4)的运算结果的差分；以及积分器(6)，其对减法部(5)求出的差分进行积分，输出信号(Qout)根据来自积分器(6)的输出而生成。
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公开(公告)号：CN107431042B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201680021557.0
申请日：2016-03-25
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: H01L21/822 , H01L27/04
Abstract: 本发明提供一种具有耐噪性高的保护电路的半导体芯片。本发明的半导体芯片具有压焊块、保护元件及内部电路，其特征在于，到达至所述压焊块和所述保护元件的路径上的金属配线的电阻值高于所述保护元件的电阻值。
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公开(公告)号：CN106662477B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201580041838.8
申请日：2015-07-01
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
Abstract: 本发明的目的在于提供一种降低了因作用在物理量传感器的传感元件上的应力而产生的误差的、高精度、高可靠性的物理量传感器。本发明的物理量传感装置包括形成在Si基板上的空腔部、将所述空腔部覆盖的绝缘膜和形成于所述绝缘膜的加热部，并且包括检测所述空腔部上的绝缘膜的温度的检测元件，所述检测元件包括第一硅元件和第二硅元件，所述第一硅元件和所述第二硅元件使用不同种类的杂质进行了掺杂。
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公开(公告)号：CN105518420B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201480048418.8
申请日：2014-02-03
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明为了提供一种提高计测精度的热式流量传感器，采用以下构成：该热式流量传感器具有：空气流量检测元件，该空气流量检测元件具有在半导体基板上具备薄膜部的隔膜；以及修正电路部，其在所述隔膜上具有至少一个发热电阻，且在所述发热电阻的上游侧和下游侧至少形成有检测一个个温度的测温电阻，该修正电路部至少根据上游侧和下游侧的两个所述测温电阻的温度差信息处理所述空气流量检测元件的输出信号，其中，所述修正电路部所处理的输出信号的波形是在波形的峰值超过某个任意的规定值时输出所述规定值从而将形成峰值的波峰或波谷的一部分切成所述规定值的波形。
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公开(公告)号：CN105393114B
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201480034734.X
申请日：2014-02-03
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01N27/18 , F02D41/18 , F02D2200/0414 , F02D2200/0418 , F02M35/1038 , F02M35/10386 , G01D11/245 , G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/692 , G01K13/02 , G01K2013/024 , G01K2205/04 , G01M15/102 , G01N1/2252 , G01N9/36 , G01N27/12 , G01N27/121 , G01N27/407 , G01N27/4077 , G01N33/0016
Abstract: 本发明为了提供一种不会因气体中所含的颗粒或液滴等而堵塞气体导入口，从而可长期维持测量精度的气体传感器装置，在气体传感器装置(1)的壳体(3)内形成有膨胀室(6)和测量室(5)，膨胀室(6)经由吸气入口(8)与吸气通道(2)连通，测量室(5)经由连通部(7)与膨胀室(6)连通。由于具备气体导入口(8)和连通部(7)这双重的颈缩结构，并且在从气体导入口(8)到测量室(5)的路径上以两级方式设有容积扩大的区域，因此测量室(5)内的空气流动降低。因此，可增大气体导入口(8)的容积而制成不会因颗粒或液滴等而堵塞气体导入口的结构。
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