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公开(公告)号:CN107421443A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201710368794.0
申请日:2017-05-23
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种测定系统以及调整用设定值的切换方法,在利用一台装置实现多个特殊测定的同时易于调整与光学滤光片相应的设定值。测定系统(1)具备:装卸部(153a~153c),多个滤光片模块(50、70)中的一个滤光片模块以能够装卸的方式安装在装卸部,多个滤光片模块各自具有使各不相同的特殊光透过的光学滤光片;确定部(222),其对在装卸部(153a~153c)安装的一个滤光片模块的光学滤光片进行确定;以及设定值切换部(224),其根据由确定部(222)确定的确定光学滤光片来切换使用确定光学滤光片进行测定时的调整用设定值。
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公开(公告)号:CN102621658B
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201210021624.2
申请日:2012-01-31
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G02B21/245
Abstract: 提供了一种自动调焦装置,包括:光源;光学单元,其配置在所述光源和测量对象之间,用于使得来自所述光源的发射光和来自所述测量对象的物体光能够经过相同的光路;以及检测单元,用于通过使用经过了所述光学单元的物体光来进行焦点检测,其中,所述光学单元包括:管透镜,用于使所述发射光形成为平行光;线状图像形成单元,用于利用来自所述管透镜的平行光在所述测量对象的表面上形成线状图像;以及转动单元,用于使所述线状图像转动。
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公开(公告)号:CN102621658A
公开(公告)日:2012-08-01
申请号:CN201210021624.2
申请日:2012-01-31
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G02B21/245
Abstract: 提供了一种自动调焦装置,包括:光源;光学单元,其配置在所述光源和测量对象之间,用于使得来自所述光源的发射光和来自所述测量对象的物体光能够经过相同的光路;以及检测单元,用于通过使用经过了所述光学单元的物体光来进行焦点检测,其中,所述光学单元包括:管透镜,用于使所述发射光形成为平行光;线状图像形成单元,用于利用来自所述管透镜的平行光在所述测量对象的表面上形成线状图像;以及转动单元,用于使所述线状图像转动。
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公开(公告)号:CN109765669B
公开(公告)日:2022-06-17
申请号:CN201811329747.6
申请日:2018-11-09
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B7/02
Abstract: 一种倾斜度调整机构,包括第一构件,该第一构件可附接到可连接到镜筒的透镜单元的连接部分;第二构件,其面向第一构件并且可附接到可连接到透镜单元的镜筒的连接部分;固定到第一构件的接触构件,其从第一构件朝向第二构件突出,并且接触第二构件;以及调整/固定构件,其能够调整第一构件相对于第二构件的倾斜度并且能够将第一构件固定到第二构件。第二构件具有与接触构件接触的倾斜表面,并且每个接触构件具有与倾斜表面接触的弯曲表面。
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公开(公告)号:CN111427137B
公开(公告)日:2022-04-19
申请号:CN202010275486.5
申请日:2016-05-23
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B13/22
Abstract: 提供能够抑制部件数量的增加并且能够实现高精度光轴对准的远心光学装置。本发明的远心光学装置的特征在于其设置有:第一远心透镜面,其设置在物体侧;第二远心透镜面,其设置在像侧并且与所述第一远心透镜面共用焦点位置;和光路变更部,其在所述第一远心透镜面和所述第二远心透镜面之间设置在位于中心定位在所述焦点位置的光通过区域的外侧的外侧区域,所述光路变更部改变光路,从而防止入射至所述外侧区域的光束用于成像。
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公开(公告)号:CN107966098A
公开(公告)日:2018-04-27
申请号:CN201710997257.2
申请日:2017-10-20
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/002 , G01B11/0608 , G01B2210/50 , G01J3/0218 , G01J3/0248 , G01J3/2823 , G01J5/0896 , G01B11/00
Abstract: 一种光谱共焦传感器,包括:光源部,用于射出具有不同波长的多个光束;物镜,用于使所述多个光束会聚于不同的聚焦位置处;射出口,其中所述多个光束中的在所述聚焦位置处被待测物体反射的测量光从所述射出口射出;位置计算部,用于基于所射出的测量光来计算所述待测物体的位置;观察部,其包括图像传感器和用于射出观察光的观察光源;以及分束器,用于使穿过所述物镜的所述测量光的至少一部分射出到所述射出口,并且使穿过所述物镜并被所述待测物体反射的所述观察光的至少一部分射出到所述图像传感器。
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公开(公告)号:CN106199930A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610344887.5
申请日:2016-05-23
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B13/22
Abstract: 提供能够抑制部件数量的增加并且能够实现高精度光轴对准的远心光学装置。本发明的远心光学装置的特征在于其设置有:第一远心透镜面,其设置在物体侧;第二远心透镜面,其设置在像侧并且与所述第一远心透镜面共用焦点位置;和光路变更部,其在所述第一远心透镜面和所述第二远心透镜面之间设置在位于中心定位在所述焦点位置的光通过区域的外侧的外侧区域,所述光路变更部改变光路,从而防止入射至所述外侧区域的光束用于成像。
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公开(公告)号:CN102539432B
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201110423282.2
申请日:2011-12-16
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01N21/64 , G01N21/25 , G02B21/248
Abstract: 本发明涉及光学测量设备。在本发明所公开的一种光学测量设备中,目视观测部包括:能够发出白光的白光源;设置在白光源和测量对象之间的第一物镜,从白光源发出的白光以及来自测量对象的返回光透射通过第一物镜;多个筒状镜头,用于将通过第一物镜的返回光的倍率改变为预定倍率;以及镜头切换机构,其可选择性地切换筒状镜头,以选择多个筒状镜头中要设置在返回光上的一个筒状镜头,而且特殊观测部包括:能够发出特殊光的特殊光源;以及设置在特殊光源和测量对象之间的第二物镜,从特殊光源发出的特殊光以及来自测量对象的返回光透射通过第二物镜。
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公开(公告)号:CN101750712A
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200910246348.8
申请日:2009-11-27
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G02B21/244 , G02B7/36 , G02B21/245
Abstract: 本发明涉及一种自动聚焦装置,其包括物镜、观察光学系统、在物镜的光轴方向上移动物镜的驱动机构、用于使光穿过物镜照射待测物体的待测面的照明光学系统光路、和图案投射光学系统光路。在所述图案投射光学系统光路上设置有电子控制遮光器、形成有预定图案的图案投射板、和投射透镜。
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公开(公告)号:CN101579785A
公开(公告)日:2009-11-18
申请号:CN200910139046.0
申请日:2009-05-15
Applicant: 株式会社三丰
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/0613 , B23K26/0604 , B23K26/066 , B23K2101/36
Abstract: 本发明公开一种激光加工装置(1)。在设置有位于激光振荡部(10)中的激光化学汽相淀积用激光振荡器(11)和激光修理用激光振荡器(12)的激光加工装置(1)中,通过本体部(1000)的激光振荡器切换程序(510A)切换激光振荡器(11)或(12)而发射的激光光束通过光路形成部(30)而沿着同一缝部到达样本并进行激光加工。此外,物镜配置成通过物镜部(60)的物镜切换部(61)而切换为具有对应于从激光振荡部(10)发射的激光光束的波长的倍率的物镜。
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