公开(公告)号：CN101579785A

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200910139046.0

申请日：2009-05-15

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 冈部宪嗣 ,  田中祥一 ,  黑川昌史

IPC: B23K26/00

CPC classification number: B23K26/0613 ,  B23K26/0604 ,  B23K26/066 ,  B23K2101/36

Abstract: 本发明公开一种激光加工装置(1)。在设置有位于激光振荡部(10)中的激光化学汽相淀积用激光振荡器(11)和激光修理用激光振荡器(12)的激光加工装置(1)中，通过本体部(1000)的激光振荡器切换程序(510A)切换激光振荡器(11)或(12)而发射的激光光束通过光路形成部(30)而沿着同一缝部到达样本并进行激光加工。此外，物镜配置成通过物镜部(60)的物镜切换部(61)而切换为具有对应于从激光振荡部(10)发射的激光光束的波长的倍率的物镜。

公开(公告)号：CN101579785B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN200910139046.0

申请日：2009-05-15

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 冈部宪嗣 ,  田中祥一 ,  黑川昌史

IPC: B23K26/00

CPC classification number: B23K26/0613 ,  B23K26/0604 ,  B23K26/066 ,  B23K2101/36

Abstract: 本发明公开一种激光加工装置(1)。在设置有位于激光振荡部(10)中的激光化学汽相淀积用激光振荡器(11)和激光修理用激光振荡器(12)的激光加工装置(1)中，通过本体部(1000)的激光振荡器切换程序(510A)切换激光振荡器(11)或(12)而发射的激光光束通过光路形成部(30)而沿着同一缝部到达样本并进行激光加工。此外，物镜配置成通过物镜部(60)的物镜切换部(61)而切换为具有对应于从激光振荡部(10)发射的激光光束的波长的倍率的物镜。