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公开(公告)号：CN1655373A
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN200510008265.7
申请日：2005-02-07
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H01G7/06 , H01H2057/006 , H01L41/0933 , H01L41/094
Abstract: 本发明公开一种薄膜压电致动器，包括一个驱动部分，至少其一端被一个锚部件支撑，所述驱动部分包括：压电薄膜；在所述压电薄膜的第一区域下面设置的第一下电极；在所述压电薄膜的不同于第一区域的第二区域下面设置的第二下电极；在所述压电薄膜上与所述第一下电极相对设置的第一上电极；在所述压电薄膜上与所述第二下电极相对设置的第二上电极；通过在所述压电薄膜上形成的第一通孔电连接所述第一下电极和所述第二上电极的第一连接部件；以及通过在所述压电薄膜上形成的第二通孔电连接所述第二下电极和所述第一上电极的第二连接部件。
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公开(公告)号：CN101488723B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200910002664.0
申请日：2009-01-14
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H02N2/02
CPC classification number: H01H57/00 , B81B3/0021 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0973
Abstract: 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。
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公开(公告)号：CN101112000B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200680003626.1
申请日：2006-09-25
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H04B1/38 , H04L27/227
CPC classification number: H04L27/2272 , H03C3/0966 , H03D3/242 , H04B1/38 , H04L27/2273 , H04L2027/0016 , H04L2027/0022 , H04L2027/0055 , H04W56/00 , H04W88/02 , Y02D70/1222 , Y02D70/40
Abstract: 接收器具有：第一电压控制振荡器，其被配置为产生第一振荡信号；第二电压控制振荡器，其被配置为产生具有第一相位的第二振荡信号；第一相位比较器，其被配置为检测第一与第二振荡信号之间的相位差；解调器，其被配置为进行被接收信号的解调处理，并产生包含在第一振荡信号中的第二相位的定时信息；第二相位比较器，其被配置为检测第一与第二振荡信号之间的相位差；第一控制电压发生器，其被配置为基于由第二相位比较器检测得到的相位差产生用于控制第二电压控制振荡器的相位与频率的第一控制电压。
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公开(公告)号：CN101093966B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200710112193.X
申请日：2007-06-21
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H57/00 , H01G5/16 , H01H2057/006
Abstract: 本发明可以提供一种压电驱动MEMS装置，该压电驱动MEMS装置使动作端和固定电极之间的距离保持恒定而不管残余应变是大是小，并且具有再现性和可靠性良好的机构。均具有折叠梁结构的两个压电驱动致动器平行并且以线对称方式布置，并且在动作端附近彼此连接。
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公开(公告)号：CN101373811A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810213322.9
申请日：2008-08-22
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01G5/16 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0946
Abstract: 本发明提供了压电驱动型MEMS装置及便携终端，其使尽量地增大作用部和固定电极的接触面积成为可能。具备：基板(1)；设置在基板上支持部(2)；设置在基板上的固定电极(11)；和执行器(3)，具有第1电极(4)、第1电极上形成的压电膜(5)和压电膜上形成的第2电极(6)，一端经过支持部固定在基板上，另一端配置为与固定电极相对并变为作用部(10)，作用部被贯穿第1电极、压电膜及第2电极的多个缝隙分割为多个电极部，各电极部的至少一部分与相邻电极部的一部分连接，各电极部可以个别地产生弯曲变形。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1652458A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510006851.8
申请日：2005-01-28
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H9/02015 , H01H2057/006 , H01L41/0477 , H01L41/094 , H01L41/316 , H01L41/319 , H03H3/02 , H03H9/02094 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/175 , H03H9/542 , H03H9/582 , H03H9/605 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/025 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/49117 , Y10T29/49155
Abstract: 一种压电薄膜器件包括设置在衬底上的非晶态金属膜和设置在非晶态金属膜上的压电膜。压电膜的一个晶轴在垂直于非晶态金属的表面的方向上对齐。
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公开(公告)号：CN1614836A
公开(公告)日：2005-05-11
申请号：CN200410092250.9
申请日：2004-11-05
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01S5/18355 , H01S5/18308 , H01S5/18311 , H01S5/1833 , H01S5/18338 , H01S5/18347 , H01S5/1835 , H01S5/3201 , H01S5/3202 , H01S2301/176
Abstract: 本发明通过在晶面指数为(100)面等的普通衬底上制作的表面发光型半导体激光元件中，在台面内部的Al高浓度层部分形成非对称的选择氧化结构，对有源层中心部分施加各向异性的应力，从而提高偏振控制性。
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公开(公告)号：CN1750380B
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN200510103951.2
申请日：2005-09-16
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H02N2/02
CPC classification number: H01H57/00 , H01G5/18 , H01G5/38 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0946 , H01L41/0953 , Y10S977/837
Abstract: 一种压电致动器，包括第一横梁，第一横梁包括第一底电极，在第一底电极上的第一压电膜，以及在第一压电膜上的第一顶电极，设置在第一横梁的一端并固定在衬底上的固定端，设置在第一横梁的另一端并悬浮在自由空间上的连接端；以及第二横梁，第二横梁包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜，在第二压电膜下面的第二底电极，以及在第二压电膜上的第二顶电极，设置在第二横梁的一端并悬浮在自由空间上的工作端，该端与设置了连接端的另一端相对；其中固定端与工作端的中心之间的距离比工作端到连接端之间的距离短。
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公开(公告)号：CN101276707B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200810087276.2
申请日：2008-03-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01L41/094 , B81B3/001 , B81B2201/014 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2059/0072
Abstract: 本发明提供一种MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端。具体地说，提供一种工作电压低、接触压力大且分离力大的MEMS器件成为可能。一种MEMS器件，包括：衬底；设置在所述衬底上的支撑单元；设置在所述衬底上的固定电极；致动器，其包括第一电极、形成于所述第一电极上的第一压电膜以及形成于所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线上，并且设置在所述衬底上，以面对所述第一电极。
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公开(公告)号：CN101373811B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200810213322.9
申请日：2008-08-22
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01G5/16 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0946
Abstract: 本发明提供了压电驱动型MEMS装置及便携终端，其使尽量地增大作用部和固定电极的接触面积成为可能。具备：基板(1)；设置在基板上支持部(2)；设置在基板上的固定电极(11)；和执行器(3)，具有第1电极(4)、第1电极上形成的压电膜(5)和压电膜上形成的第2电极(6)，一端经过支持部固定在基板上，另一端配置为与固定电极相对并变为作用部(10)，作用部被贯穿第1电极、压电膜及第2电极的多个缝隙分割为多个电极部，各电极部的至少一部分与相邻电极部的一部分连接，各电极部可以个别地产生弯曲变形。
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