螺杆转子
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101963153B

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201010277965.7

    申请日:2010-07-21

    CPC classification number: F04C2/16 F04C2/123 F04C11/005 F04C14/02

    Abstract: 本发明公开了螺杆转子,其用于螺杆泵,该螺杆泵通过一对在转子壳体中相互啮合的螺杆转子的旋转泵送流体。该螺杆转子包括用于泵吸入侧的多头螺纹部分和用于泵排放侧的单头螺纹部分。该螺杆转子如此形成以致于多头螺纹部分的齿廓通过垂直于螺杆转子的旋转轴线的边界面连接到单头螺纹部分的齿廓上。第一曲线段在边界面中与第三曲线段重合。

    氢气的排气方法以及真空泵装置

    公开(公告)号:CN102169813A

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN201110035448.3

    申请日:2011-01-31

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明提供一种能够提高氢气的排气效率的氢气的排气方法以及真空泵装置。真空泵装置S的构成为:主泵(10)、第二辅助泵(27)以及第一辅助泵(55)串联连接,并且在排气通路中的氢气的排气方向上,第一辅助泵(55)以及第二辅助泵(27)配置在主泵(10)的上游侧。在真空泵装置(S)的驱动过程中,来自半导体制造装置的氢气最先被吸入的第一辅助泵(55)的排气口(56b)处,经由导入口(56c)以及导入管(70)供给粘性率高于氢气的氮气,利用该氮气的粘性来提高氢气的输送性。

    隔膜式泵
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100465440C

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN200610163746.X

    申请日:2006-11-24

    CPC classification number: F04B43/0054

    Abstract: 隔膜式泵的隔膜组件(14)包含层叠的多个隔膜(141-143)。壳体(10)以及隔膜组件(14)划分泵室(15)。支承部(46、60)具有用于支承隔膜组件(14)的第1面(14b)的第1支承面(11a、55)、和用于支承隔膜组件(14)的第2面(14c)的第2支承面(12a、56)。支承部(46、60)在隔膜组件(14)变形的情况下,容许隔膜(141-143)在第1支承面(11a、55)和第2支承面(12a、56)之间偏移运动。因而提高隔膜的耐久性。

    隔膜单元
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100400942C

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200410075889.6

    申请日:2004-11-26

    CPC classification number: F04B43/0054 F04B43/06

    Abstract: 一种隔膜单元包括隔膜和隔膜壳体。隔膜具有中点和外周部分。隔膜壳体包括固定面和调节面。固定面在其外周部分支撑隔膜,从而在隔膜壳体中限定了流体室。调节面形成流体室的内表面,从而提供隔膜的变形极限。调节面有凸面区域和凹面区域。凸面区域与固定面连续形成,用于在其邻近外周部分的部分支撑隔膜。凹面区域与凸面区域连续形成,用于在其邻近中点的部分支撑隔膜。凸面和凹面区域的曲率是相同的。

    罗茨泵
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1330879C

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:CN200410044758.1

    申请日:2004-05-18

    CPC classification number: F04C18/126 F04C23/001 F04C2250/10 F04C2280/02

    Abstract: 一种罗茨泵具有一个壳体,多个旋转轴,一个转子,一个合流通道和一个闭合空间。壳体在其中形成一个泵室。各旋转轴彼此相对平行地支承在壳体上。转子安装在每个旋转轴上,并且在任何相邻旋转轴上的转子都相互接合。一组接合的转子安放在泵室中。合流通道沿着与成对并接合的转子一一对应的假想掠过周边表面的一个交叉线形成。闭合空间在成对的转子和形成泵室的成对周边壁表面之间与各成对转子一一对应地形成。闭合空间在成对的转子旋转情况下开始从合流通道的终端连接合流通道。

    螺旋流体机器
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1690427A

    公开(公告)日:2005-11-02

    申请号:CN200510070011.8

    申请日:2005-04-27

    CPC classification number: F01C1/084

    Abstract: 一种螺旋流体机器,包括螺旋形凸形转子,其具有螺旋式地形成于其周围的齿,还包括螺旋形的凹形转子,其具有螺旋式地形成于其周围的槽。凹形转子与凸形转子啮合在一起。壳体在其中容纳了凸形转子和凹形转子。由壳体以及凸形转子和凹形转子限定了工作腔。齿和槽的螺旋升角从进口朝向出口减小。各齿的轮廓包括一对第一弧部分,其弧中心位于凸形转子的节距圆上,还包括设于第一弧部分之间的第二弧部分。各槽的轮廓包括与第一弧部分相对应的一对第三弧部分,以及与第二弧部分大致对应的第四弧部分。

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