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公开(公告)号：CN103430450B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201280003686.9
申请日：2012-02-24
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H01L41/0475 , H01L41/29 , H03H3/02 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/17 , H03H9/21 , H03H2003/022
Abstract: 本发明提供一种压电振动片、使用该压电振动片的压电振子、压电振动片的制造方法、及压电振子的制造方法。在压电振动片上，形成有至少一对激励电极，为了使所述一对激励电极与外部电极之间实现机电连接，而形成有从所述一对激励电极分别引出的至少一对引出电极。所述一对引出电极各自的前端部，具有被引出到所述压电振动片的一主面的一端部附近的连接电极。所述各个连接电极的顶面上，形成有与外部电极接合的第1金属膜。所述第1金属膜为，在其表面有两个以上的凸部，与所述各个连接电极相比，表面粗糙度更粗、面积更小，所述凸部的截面形状被形成为弯曲状。
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公开(公告)号：CN101878590A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200980101049.3
申请日：2009-09-18
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/0519 , H03H9/0595 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 音叉型压电振动片，至少由作为振动部的多根腿部、与外部接合的接合部、突出地设置这些上述腿部以及上述接合部的基部构成。上述多根腿部从上述基部的一端面突出，且并列设置在上述一端面上。上述接合部从与上述基部的一端面相向的另一端面的下述位置突出，该位置是与上述基部的一端面的宽度方向上的上述多根腿部的中间位置相向的位置。而且，至少上述接合部的基端部被作为与外部接合的接合区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118176663A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202280071970.3
申请日：2022-11-07
Applicant: 株式会社大真空
Inventor： 森本贤周
Abstract: 带热敏电阻的晶体振动器件(Xtl)由具有上部收纳部(11A)和下部收纳部(11B)的封装体(1)、收纳在所述上部收纳部(11A)中的晶体振动片(2)、收纳在所述下部收纳部(11B)中的热敏电阻(4)、及将上部收纳部(11A)气密密封的盖子(3)构成；晶体振动片(2)的激励电极(21、22)由多个金属膜构成，其主层由Au构成；另外，热敏电阻(4)以单片的热敏电阻原板(40)为基材，热敏电阻(4)的动作电极(41、42)由多个金属膜构成，其主层由Au构成。
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公开(公告)号：CN118140416A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202280069888.7
申请日：2022-10-24
Applicant: 株式会社大真空
Inventor： 森本贤周
Abstract: 一种带热敏电阻的压电振动器件(1)，具备三明治器件(2)、及安装在三明治器件(2)中的第一密封构件(20)的外表面上的薄片式热敏电阻(5)。薄片式热敏电阻(5)被配置为，俯视时与三明治器件(2)的振动部(13)的至少一部分重叠。并且，三明治器件(2)中的压电振动板(10)具有振动部(13)、包围着振动部(13)的外周的外框部(14)、及通过将振动部(13)与外框部(14)连结而保持着振动部(13)的保持部(15)。薄片式热敏电阻(5)被配置为，与三明治器件(2)的彼此相向的两条边上的外框部(14)重叠。
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公开(公告)号：CN114223133A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202180004961.8
申请日：2021-02-22
Applicant: 株式会社大真空
Abstract: 本发明提供一种能够对发热体的温度及压电振子的压电振动这两者进行高精度的控制的同时、能够降低成本的恒温槽型压电振荡器。恒温槽型压电振荡器(1)具备核心部(5)，该核心部(5)具有晶体谐振器(50)、振荡器IC(51)、及加热器IC(52)，恒温槽型压电振荡器(1)中，核心部(5)通过中介构件(4)被支撑在封装体(2)中，并以密封状态被封入封装体(2)的内部。
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公开(公告)号：CN114080859A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202180004028.0
申请日：2021-02-19
Applicant: 株式会社大真空
Abstract: 本发明提供一种薄膜加热器(10)。该薄膜加热器(10)具有在绝缘基板(11)上的两个端子之间进行图案形成而构成的金属布线(12)。金属布线(12)在两个端子之间的电阻值为10Ω以下，并具有由在200℃以下的温度发生再结晶的材料形成的发热层(12A)。发热层(12A)通过成膜工序和图案形成工序形成，成膜工序中，在将绝缘基板(11)预热至200℃以上的状态下，利用真空蒸镀法进行金属膜的成膜；图案形成工序中，通过对成膜后的金属膜进行蚀刻而进行图案形成。
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公开(公告)号：CN109643983A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201780052650.2
申请日：2017-07-31
Applicant: 株式会社大真空
Abstract: 本发明提供一种既能提高抗冲击性能又能抑制电气特性恶化的可靠性高的晶振片及晶体振动器件。该晶振片是一种A T切割晶振片(2)，其具备：在中间部分的表里主面上形成有激发电极的俯视为矩形的振动部(22)；在振动部的外周形成的俯视为矩形的切口部(21)；在所述切口部的外周形成的俯视为矩形的外框部(23)；及从所述振动部的与X轴方向平行的边的一个端部沿着所述振动部的Z′轴方向延伸，将所述振动部与外框部连结的一个连结部(24)。所述连结部上形成有只朝着外框部宽度逐渐变宽的宽幅部(24a、24b)。
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