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公开(公告)号：CN101484775A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780025323.4
申请日：2007-07-03
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 渡部贵志
IPC: G01B11/30 , G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: G01B11/30 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N21/9503 , G01N2201/0634
Abstract: 一种用于观察待检查物体的边缘部分的表面检查设备，包括：照明装置，其将照明光照射到边缘部分；和观察装置，其形成利用照明光照明的边缘部分的观察范围的像。该照明装置射出第一照射光束和第二照射光束，所述第一照射光束成近似直角地入射到所述边缘部分，用于补偿像的亮度，而所述第二照射光束侧向倾斜地入射到所述边缘部分的观察范围，用于生成依据观察范围的表面状态的阴影。
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