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公开(公告)号：CN103975232A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201280054993.X
申请日：2012-10-03
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 渡部贵志
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/04 , H01J35/14 , H01J2235/087 , H01J2235/1204 , H01J2235/1216 , H01J2235/1262 , H05G1/025
Abstract: 本发明是有关于一种可以抑制检测精度降低的装置。该装置对物体照射X射线，并对穿透物体的透射X射线进行检测。该装置设有形成第一空间的腔室部件；设有第一供给口，配置于第一空间，用以向对物体照射X射线的X射线源其至少一部分供给温度调整后的气体。
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公开(公告)号：CN103959048B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201280056289.8
申请日：2012-10-03
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 渡部贵志
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/04 , G01N23/046 , G01N2223/31 , G01N2223/419 , H01J35/14 , H01J2235/087 , H01J2235/1216 , H01J2235/1262 , H05G1/025 , Y10T29/49616
Abstract: 本发明是有关于一种可以抑制检测精度降低的X射线装置。该装置对物体照射X射线，并对穿透物体的X射线进行检测。该X射线装置设有射出X射线的X射线源；设有保持物体的载台；设有检测装置对从X射线源射出、并穿透物体的X射线其至少一部分进行检测；设有形成内部空间的腔室部件，其内部可配置X射线源、载台、及检测装置；设有隔离部，将内部空间分隔为可配置X射线源的第一空间，和可配置检测装置的第二空间。
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公开(公告)号：CN103975232B
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201280054993.X
申请日：2012-10-03
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 渡部贵志
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/04 , H01J35/14 , H01J2235/087 , H01J2235/1204 , H01J2235/1216 , H01J2235/1262 , H05G1/025
Abstract: 本发明是有关于一种可以抑制检测精度降低的装置。该装置对物体照射X射线，并对穿透物体的透射X射线进行检测。该装置设有形成第一空间的腔室部件；设有第一供给口，配置于第一空间，用以向对物体照射X射线的X射线源其至少一部分供给温度调整后的气体。
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公开(公告)号：CN101484775B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200780025323.4
申请日：2007-07-03
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 渡部贵志
IPC: G01B11/30 , G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: G01B11/30 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N21/9503 , G01N2201/0634
Abstract: 一种用于观察待检查物体的边缘部分的表面检查设备，包括：照明装置，其将照明光照射到边缘部分；和观察装置，其形成利用照明光照明的边缘部分的观察范围的像。该照明装置射出第一照射光束和第二照射光束，所述第一照射光束成近似直角地入射到所述边缘部分，用于补偿像的亮度，而所述第二照射光束侧向倾斜地入射到所述边缘部分的观察范围，用于生成依据观察范围的表面状态的阴影。
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公开(公告)号：CN108780728B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201580085535.6
申请日：2015-12-25
Applicant: 株式会社尼康 , 尼康计量公众有限公司
Abstract: 带电粒子装置具有以下部件：发射电子的电子发射部；被从所述电子发射部发射的电子照射的电子被照射部；可进行内部排气，将所述电子被照射部收纳在内部的收纳部；电线收纳部，用于收纳对所述收纳部中收纳的所述电子被照射部进行通电的电线，从所述收纳部的外部通过所述收纳部中设置的插入部插入电线收纳部；插入部侧突出部，属于所述收纳部的内壁，环绕所述电线收纳部，从所述插入部的附近向所述收纳部的内部突出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108780728A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201580085535.6
申请日：2015-12-25
Applicant: 株式会社尼康 , 尼康计量公众有限公司
Abstract: 带电粒子装置具有以下部件：发射电子的电子发射部；被从所述电子发射部发射的电子照射的电子被照射部；可进行内部排气，将所述电子被照射部收纳在内部的收纳部；电线收纳部，用于收纳对所述收纳部中收纳的所述电子被照射部进行通电的电线，从所述收纳部的外部通过所述收纳部中设置的插入部插入电线收纳部；插入部侧突出部，属于所述收纳部的内壁，环绕所述电线收纳部，从所述插入部的附近向所述收纳部的内部突出。
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公开(公告)号：CN103959048A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201280056289.8
申请日：2012-10-03
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 渡部贵志
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/04 , G01N23/046 , G01N2223/31 , G01N2223/419 , H01J35/14 , H01J2235/087 , H01J2235/1216 , H01J2235/1262 , H05G1/025 , Y10T29/49616
Abstract: 本发明是有关于一种可以抑制检测精度降低的X射线装置。该装置对物体照射X射线，并对穿透物体的X射线进行检测。该X射线装置设有射出X射线的X射线源；设有保持物体的载台；设有检测装置对从X射线源射出、并穿透物体的X射线其至少一部分进行检测；设有形成内部空间的腔室部件，其内部可配置X射线源、载台、及检测装置；设有隔离部，将内部空间分隔为可配置X射线源的第一空间，和可配置检测装置的第二空间。
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公开(公告)号：CN101796399A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200880105814.4
申请日：2008-09-04
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G01N21/956 , G01B11/30 , G01N21/88 , G01N21/89
CPC classification number: G01N21/9503
Abstract: 本发明提供一种观察装置和观察方法以及检查装置和检查方法。本发明的检查装置具有：摄像部(30)，拍摄被检测物中的第一范围以及相对于该第一范围向预定方向偏移的第二范围；差分处理部(44)，得到第一范围的图像和第二范围的图像在上述预定方向上对应的部分的信号的差分；和检查部(46)，根据差分处理部(44)的处理结果，检查被检测物中有无缺陷。
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公开(公告)号：CN105452804B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201380076108.2
申请日：2013-05-10
Applicant: 株式会社尼康 , 尼康计量公众有限公司
Abstract: 提供一种可抑制检测精度降低的装置及构造物的制造方法。检测装置(1)是对被测定物(S)照射X线并检测通过被测定物的X线的装置，包含射出X线的X线源、保持被测定物的桌台(3)、检测从X线源射出并通过被测定物的穿透X线的至少一部分的检测器(4)、以及一边支承桌台一边引导桌台往与X线源的光轴(Zr)平行的方向移动的第1引导装置(5A)及第2引导装置(5B)。检测装置，其与光轴(Zr)平行、且用以规定桌台的移动的平面的引导面(GP)，通过检测器的穿透X线的检测区域(DR)内。
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公开(公告)号：CN105452804A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201380076108.2
申请日：2013-05-10
Applicant: 株式会社尼康 , 尼康计量公众有限公司
CPC classification number: G01N23/046 , G01N23/04 , G01N2223/33 , G01N2223/646
Abstract: 提供一种可抑制检测精度降低的装置及构造物的制造方法。检测装置(1)是对被测定物(S)照射X线并检测通过被测定物的X线的装置，包含射出X线的X线源、保持被测定物的桌台(3)、检测从X线源射出并通过被测定物的穿透X线的至少一部分的检测器(4)、以及一边支承桌台一边引导桌台往与X线源的光轴(Zr)平行的方向移动的第1引导装置(5A)及第2引导装置(5B)。检测装置，其与光轴(Zr)平行、且用以规定桌台的移动的平面的引导面(GP)，通过检测器的穿透X线的检测区域(DR)内。
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