光图像计测装置及光图像计测方法

    公开(公告)号:CN1734253A

    公开(公告)日:2006-02-15

    申请号:CN200510089128.0

    申请日:2005-08-02

    Abstract: 本发明是有关于一种光图像计测装置及光图像计测方法。该光图像计测装置,可使检测灵敏度提高并有效地求取干涉光的信号强度和相位信息。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源(2)、将光束转换为直线偏光的偏光板(3)、将光束分割为信号光(S)和参照光(R),并且使信号光(S)和参照光(R)进行重叠而生成干涉光(L)的半反射镜(6)、将参照光(R)转换为圆偏光的波长板(7)、利用使参照光(R)的频率进行位移的频率位移器(8)及压电元件(9A)而被移动的参照镜(9)、将干涉光(L)的(S)偏光成分(L1)和(P)偏光成分(L2)进行抽出的偏光分光器(11)、分别检测偏光成分(L1,L2)并输出检测信号的(CCD21,22)、根据该检测信号计算干涉光(L)的信号强度及相位的信号处理部(20);且根据该计算结果而形成被测定物体(O)的图像。

    光图像计测装置
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1670508A

    公开(公告)日:2005-09-21

    申请号:CN200510055319.5

    申请日:2005-03-15

    Abstract: 本发明是有关于一种光图像计测装置,可有效地求得由干涉光的背景光所构成的外差信号的直流成分。光图像计测装置包括干涉光学系统,将来自光源的光束以分光器分割成信号光和参照光,并利用频率位移器使参照光的频率进行位移,且使经过被测定物体的信号光和被镜反射的参照光重叠,生成干涉光;分光器,用于将干涉光分割为干涉光(L1、L2、L3);遮光器(31、32、33),为将各干涉光(L1、L2、L3)的强度以一定的周期进行调变的强度调变装置;CCD(21、22、23),接受强度调变的各干涉光,并输出电器信号;以及信号处理部,根据输出的电信号,计算对应于干涉光的背景光的直流成分的强度。

    光图像计测装置及光图像计测方法

    公开(公告)号:CN1734253B

    公开(公告)日:2010-05-12

    申请号:CN200510089128.0

    申请日:2005-08-02

    Abstract: 本发明是有关于一种光图像计测装置及光图像计测方法。该光图像计测装置,可使检测灵敏度提高并有效地求取干涉光的信号强度和相位信息。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源(2)、将光束转换为直线偏光的偏光板(3)、将光束分割为信号光(S)和参照光(R),并且使信号光(S)和参照光(R)进行重叠而生成干涉光(L)的半反射镜(6)、将参照光(R)转换为圆偏光的波长板(7)、利用使参照光(R)的频率进行位移的频率位移器(8)及压电元件(9A)而被移动的参照镜(9)、将干涉光(L)的(S)偏光成分(L1)和(P)偏光成分(L2)进行抽出的偏光分光器(11)、分别检测偏光成分(L1,L2)并输出检测信号的(CCD21,22)、根据该检测信号计算干涉光(L)的信号强度及相位的信号处理部(20);且根据该计算结果而形成被测定物体(0)的图像。

    光图像计测装置
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100498294C

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200510051001.X

    申请日:2005-02-25

    Abstract: 本发明是有关于一种光图像计测装置,可根据干涉光的检测结果计算由背景光构成的直流成分的强度,并可利用其计算结果求得干涉光的信号强度及相位的空间分布。该光图像计测装置包括干涉光学系统,将光束由射束分裂器分割为信号光和参照光,并利用频率移相器使参照光的频率进行位移,且使经由了被测定物体的信号光和参照光重叠而生成干涉光;射束分裂器,用于将干涉光分割为个干涉光(L1、L2、L3);遮光器,用于将干涉光(L1、L2、L3)以一定的周期进行遮蔽并抽样;光检测器,将所抽样的干涉光(L1、L2、L3)进行检测,并变换为电信号进行输出;以及信号处理部,根据该电信号计算干涉光的信号强度和相位的空间分布。

    光图像计测装置
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1763499A

    公开(公告)日:2006-04-26

    申请号:CN200510108382.0

    申请日:2005-10-13

    Abstract: 本发明提供一种光图像计测装置,可在短时间内进行包含双折射层的被测定物体的计测。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源、扩大光束径的透镜、将光束转换为直线偏光的偏光板、将光束分割为信号光和参照光的半透镜、将参照光转换为圆偏光的波长板、将朝向被测定物体的信号光形成圆偏光,将来自被测定物体的信号光形成直线偏光的波长板、使参照光进行频率位移的频率位移器、从参照光和信号光所生成的干涉光将偏光成分和偏光成分进行分离的偏光分光器、接受各偏光成分并输出含有其强度变化的信息的检测信号的、根据该强度变化的信息形成反映被测定物体的双折射的图像的信号处理部。

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