表面形状测量装置及方法

    公开(公告)号:CN101889189B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN200980101293.X

    申请日:2009-09-29

    Abstract: 本发明提供一种表面形状测量装置,其使利用双波长移相干涉术的物体的表面形状测量装置的测量精度提高。其具备:低相干光源的光源(101)、透射波长不同的多个波长滤波器(103)、角度控制部(104c)、解析部(114),并且,通过在实施双波长移相干涉术时由解析部(114)检测出双波长的波长差且对在一个波长运算下的波长值和相位值进行修正,来防止条纹次数的运算错误。接着,通过控制波长滤波器(103)的角度,使实际的波长差与设计值一致。由此,始终可使双波长的波长差控制为恒定,从而即使存在由温度变化或时间推移所引起的波长变动也能够高精度地测量表面形状。

    一种弥补频率响应缺陷的波前重建方法

    公开(公告)号:CN106595879A

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201611121160.7

    申请日:2016-12-02

    Applicant: 青岛大学

    CPC classification number: G01J9/0215 G01J2009/0234 G01J2009/0249

    Abstract: 本发明属于光学测试技术领域,涉及一种弥补频率响应缺陷的波前重建新方法,通过横向剪切干涉系统获取x方向和y方向的横向剪切干涉图;通过相移法提取x方向和y方向的差分相位;对差分相位进行补零,并对新的阵列进行傅里叶变换,得到傅里叶频谱;通过Shannon插值将傅里叶频谱连续化,并抽取傅里叶频谱组成新的阵列;进行逆向傅里叶变换,并利用相移定理,得到x和y方向的一维相位波前;利用最小二乘法,获得二维相位波前;本发明不增加测量次数,完全可以避免傅里叶变换中带来的频率响应缺陷,并提高了测量的精度和稳定性。

    光图像计测装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1670508A

    公开(公告)日:2005-09-21

    申请号:CN200510055319.5

    申请日:2005-03-15

    Abstract: 本发明是有关于一种光图像计测装置,可有效地求得由干涉光的背景光所构成的外差信号的直流成分。光图像计测装置包括干涉光学系统,将来自光源的光束以分光器分割成信号光和参照光,并利用频率位移器使参照光的频率进行位移,且使经过被测定物体的信号光和被镜反射的参照光重叠,生成干涉光;分光器,用于将干涉光分割为干涉光(L1、L2、L3);遮光器(31、32、33),为将各干涉光(L1、L2、L3)的强度以一定的周期进行调变的强度调变装置;CCD(21、22、23),接受强度调变的各干涉光,并输出电器信号;以及信号处理部,根据输出的电信号,计算对应于干涉光的背景光的直流成分的强度。

    一种移相干涉仪的抗振动方法

    公开(公告)号:CN106840418A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710045037.X

    申请日:2017-01-22

    CPC classification number: G01J9/02 G01J2009/0234

    Abstract: 本发明公开了一种移相干涉仪的抗振动方法,该方法中的移相干涉仪相机在打开和关闭像素组合功能下以高速采集第一组移相干涉图和以低速采集第二组移相干涉图。第二组移相干涉图经过均匀采样后的得到与第一组移相干涉图分辨率相同的第三组移相干涉图。使用修正三步迭代算法从第一组移相干涉图中提取低分辨率位相分布,并以其作为初始值利用修正三步迭代算法从第三组移相干涉图中计算时间相关参量。按比例缩放时间相关参量后,结合第二组移相干涉图构造最小二乘方程,计算高分辨率位相分布,最终重构被测表面高度。本发明方法充分利用了移相干涉仪相机的像素组合功能和修正三步迭代算法的特点,使用较低硬件成本较好地达到了移相干涉仪对抗振动的目的。

    高重复率超短光脉冲载波包络相位的测量系统

    公开(公告)号:CN108318143A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201711367748.5

    申请日:2017-12-18

    CPC classification number: G01J9/02 G01J2009/0234

    Abstract: 本发明涉及一种高重复率超短光脉冲载波包络相位的测量系统,该系统采用光脉冲耦合镜沿着具有延时T的两个共线超短光脉冲耦合到光谱色散成像装置的入口,光谱色散成像装置将两个共线超短光脉冲的干涉光谱映射成与相位差相关的空间干涉条纹图,并通过分束器将其分为强度相同的两部分,采用两个调制周期与干涉条纹相同且位移差1/4周期的空间调制器分别调制两部分条纹图。采用两个相同的光电探测装置探测透过两个空间调制器的信号强度。通过两个光电探测装置构成的二维参量曲线的极角即可得到超短光脉冲载波包络相位差。该系统实现了兆赫兹高重复频率光脉冲载波包络相位的连续的单发测量及控制,并可直观实时观测脉冲的载波包络相位。

Patent Agency Ranking