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公开(公告)号：CN112912701A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201980068536.8
申请日：2019-11-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 分光光度计(300)包括白色光源(212)、对从白色光源(212)释放的光进行聚光的聚光透镜(242a、242b)、对由聚光透镜(242a、242b)聚光后的光进行衍射的狭缝(245)、对通过狭缝(245)的光进行分光的凹面衍射光栅(246)、以及具有对由凹面衍射光栅(246)分光后的光进行检测的多个光检测元件(304)的多波长检测器(248)，多波长检测器(248)具有的多个光检测元件(304)中的各个配置于凹面衍射光栅(246)的成像位置。
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公开(公告)号：CN105074512B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201480013530.8
申请日：2014-01-30
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1852 , G01N21/31 , G02B1/04 , G02B5/1814 , G02B5/1857 , G02B5/1861
Abstract: 本发明提供一种制作高精度衍射光栅的技术，能够通过使在硅基板上使用半导体工艺制作的平面衍射光栅沿曲面基板塑性变形，制造具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。其特征为：将使用半导体工艺制作的硅制平面衍射光栅转印至非晶质材料，并将非晶质材料基板曲面化，安装在曲面固定基板上，得到具有抑制转位线的产生的结晶性材料的曲面衍射光栅。
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公开(公告)号：CN104335082B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201380029764.7
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1847 , B29C59/02 , B32B37/12 , B32B37/24 , B32B38/0012 , B32B2551/00 , G02B5/18 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , Y10T156/1028
Abstract: 本发明提供高精度地制成具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。一种曲面衍射光栅的制造方法，具有：在平板状的硅基板(2)上形成衍射光栅图案(20)的步骤；在加热的状态下向形成有上述衍射光栅图案的硅基板(2)按压具有所希望的曲面形状的固定基板(3)而使上述硅基板曲面化，并且在具有上述曲面形状的固定基板(3)上固定具有上述衍射图案的硅基板(2)来制作曲面衍射光栅的模具(1)的步骤；以及使具有柔软性的部件与上述曲面衍射光栅的模具接触来在该部件上转印衍射光栅图案的步骤。
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公开(公告)号：CN115917371A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202180040233.2
申请日：2021-02-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种高精度地制造具有均匀的衍射光栅图案的凹面衍射光栅的技术。本公开的凹面衍射光栅的制造方法包括如下步骤：准备具有光栅槽、以及形成于成为凹面衍射光栅的模具的区域外的伸长部、薄膜部或低摩擦部的平面衍射光栅；将所述平面衍射光栅安装于凸面基板来取得所述凹面衍射光栅的模具；以及将所述模具的所述光栅槽转印于凹面基板。
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公开(公告)号：CN115004065A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202180010423.X
申请日：2021-01-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明提供凹面衍射光栅和使用了该凹面衍射光栅的光学装置，该凹面衍射光栅能够防止反射膜因温度的影响而变形且能够防止由温度导致的光学特性的降低。本发明的凹面衍射光栅具备：反射膜(22)，其具备多个光栅槽(21)；保持膜(25)，其由金属构成，且在一方的面设有反射膜(22)；凹面基板(24)，其具备凹面(24a)；以及固定层(23)，其设于凹面(24a)与保持膜(25)的另一方的面之间，将保持膜(25)和反射膜(22)固定于凹面基板(24)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112313548B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201980042410.3
申请日：2019-04-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 提供能通过球面像差的抑制来提升衍射效率的凹面衍射光栅。凹面衍射光栅(2)对光进行分光、聚光，在凹面状的基板(24)上具有锯齿形状的光栅槽(21)，锯齿形状的光栅槽(21)的间隔不等。另外，通过用光刻法以及蚀刻、或机械加工在平面基板上形成锯齿形状，使形成锯齿形状为不等间隔的光栅槽(21)的平面衍射光栅在凸面固定基板上变形，来将安装的凹面衍射光栅的模转印到金属或树脂的表面，由此形成对光进行分光、聚光的凹面衍射光栅(2)。
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公开(公告)号：CN113167944A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980046336.2
申请日：2019-07-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种凹面衍射光栅的制造方法，包括如下步骤：使在推压面具有衍射光栅的槽图案的平面金属模具的上述推压面与在凹面涂布有树脂的凹面基板的上述凹面对置，配置上述平面金属模具及上述凹面基板；利用流体对上述平面金属模具进行加压，将上述推压面推压到涂布于上述凹面的上述树脂；以及使通过上述推压面被推压而转印有上述槽图案的上述树脂固化。由此，能够改善载荷不均匀性，能够制造具有高的面精度的凹面衍射光栅。
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公开(公告)号：CN112313548A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201980042410.3
申请日：2019-04-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 提供能通过球面像差的抑制来提升衍射效率的凹面衍射光栅。凹面衍射光栅(2)对光进行分光、聚光，在凹面状的基板(24)上具有锯齿形状的光栅槽(21)，锯齿形状的光栅槽(21)的间隔不等。另外，通过用光刻法以及蚀刻、或机械加工在平面基板上形成锯齿形状，使形成锯齿形状为不等间隔的光栅槽(21)的平面衍射光栅在凸面固定基板上变形，来将安装的凹面衍射光栅的模转印到金属或树脂的表面，由此形成对光进行分光、聚光的凹面衍射光栅(2)。
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公开(公告)号：CN103998984B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201280048495.4
申请日：2012-09-13
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F1/26 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/3065 , G03F1/0046 , G03F1/26 , G03F1/28 , G03F1/30 , H01L21/3085
Abstract: 提供一种可提高产品的精度以及缩短制作时间的、利用了相移掩模的非对称图案的形成技术、以及衍射光栅、半导体装置的制造技术。在利用了相移掩模(30)(周期性地配置遮光部和透过部(没有相移的第1透过部、有相移的第2透过部))的衍射光栅的制造方法中，使从照明光源(10)射出的光透过相移掩模(30)，使透过该相移掩模(30)而产生的0次光和+1次光在Si晶片(50)的表面产生干涉，使该Si晶片(50)的表面的光致抗蚀剂(60)曝光，在Si晶片(50)上形成具有闪耀状的截面形状的衍射光栅。
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公开(公告)号：CN106574998A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580044297.4
申请日：2015-09-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 在通过机械加工在曲面基板上制造锯齿形状的衍射光栅图案时，工具的角度固定，因而在曲面的中心部、外周部处成为衍射光栅图案的角度不同的形状。另外，在通过半导体工艺在曲面基板上进行光刻、蚀刻，从而形成锯齿形状的衍射光栅图案时，需要调整光刻时的焦点深度和蚀刻角度，从而导致成本变高。本发明的曲面衍射光栅的模型的制造方法包括：在金属制平面衍射光栅基板上形成衍射光栅图案的工序、在金属制平面衍射光栅基板的、与形成有衍射光栅图案的面相反侧的面上形成焊料的工序；在曲面基板上将与焊料共晶的接合材料成膜的工序；以及利用曲面固定基板和曲面固定基板夹住金属制平面衍射光栅基板并施加负荷的工序。
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