公开(公告)号：CN103000564B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201210333040.9

申请日：2012-09-10

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 横山智哉 ,  林繁利 ,  池田哲也

IPC: H01L21/70 ,  H01L21/78

Abstract: 本发明涉及电子部件模块的制造方法，用以提供一种当在芯片侧面设置通孔时，即使充填了树脂等绝缘体，也能够将母板按每个芯片进行分割的电子部件模块。在涂布绝缘体之前，在通孔内充填固体材料，以使绝缘体不会流入通孔内。固体材料是蜡、蜡材等低熔点材料（具有低于绝缘体的固化温度的小于100℃的熔点）。并且，若使绝缘体热固化，则固体材料熔析或者挥发，通孔成为空洞。因此，若通过使V字型的切割用槽向外侧，矩形形状的切割用槽以及V字型的切割用槽向内侧弯曲来将母层叠体切割成各芯片，则在通孔的侧壁露出端面电极，而不会发生在分割后的某一方的芯片的侧壁附着有绝缘体的情况。

公开(公告)号：CN212725369U

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201990000515.8

申请日：2019-02-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 山川庆之 ,  后藤征士朗 ,  川田慎一郎 ,  林繁利 ,  藤田章雄 ,  中村悠佑

IPC: H01L41/297 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/293

Abstract: 本实用新型的压电致动器具备：层叠体，包含层叠的多个压电陶瓷层和多个平面电极；低电位用外部电极，设置在上述层叠体的一个端面上；以及高电位用外部电极，设置在上述层叠体的另一个端面上。上述平面电极包含：低电位用平面电极，与上述低电位用外部电极电连接；以及高电位用平面电极，与上述高电位用外部电极电连接，上述低电位用平面电极和上述高电位用平面电极交替地位于上述层叠方向上。在上述层叠体的一个主面中，位于最外侧的平面电极为低电位用平面电极，该低电位用平面电极的内侧与活性区域的极化的“‑”侧相接，该低电位用平面电极的外侧露出在外部，在上述层叠体的另一个主面中，高电位用平面电极不露出在外部。