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公开(公告)号：CN103765771B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201280042031.2
申请日：2012-08-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 神藤始
CPC classification number: H01L41/1871 , H01L41/0477 , H01L41/29 , H03H3/02 , H03H9/02157 , H03H9/0595 , H03H9/173 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种利用LiTaO3的厚度滑动模式且由电极膜厚、LiTaO3的厚度的偏差引起的电特性偏差小的压电体波装置(1)及其制造方法。具备：压电薄板(5)，其由LiTaO3构成；和第1电极(6)、第2电极(7)，被设置成与压电薄板(5)接合，利用由LiTaO3构成的压电薄板(5)的厚度滑动模式，第1电极(6)、第2电极(7)由具有比在LiTaO3中传播的横波的固有声阻抗大的固有声阻抗的导体构成，在将第1电极(6)以及第2电极(7)的膜厚总和设为电极厚度，将由LiTaO3构成的压电薄板(5)的厚度设为LT厚度时，电极厚度／(电极厚度+LT厚度)为5％以上、40％以下。
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公开(公告)号：CN103187944A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201310070546.X
申请日：2005-03-24
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H3/04 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/4908
Abstract: 本发明提供一种频率偏差较小的声界面波装置的制造方法。该声界面波装置，按顺序叠层第1～第3媒质(1～3)、并且第1媒质(1)与第2媒质(2)间的界面上设有电极(5)。该制造方法中，准备叠层第1媒质(1)与第2媒质(2)，并在第1、第2媒质(1、2)的界面中设有电极(5)的叠层体，在该叠层体阶段，通过调整第2媒质(2)的膜厚来调整频率或声表面波、伪声界面波或声界面波的声速，实施该调整后，形成声界面波的声速及/或材料与第2媒质不同的第3媒质(3)。
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公开(公告)号：CN1788415B
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN200580000353.0
申请日：2005-01-05
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 神藤始
CPC classification number: H04R31/00 , H03H3/08 , H03H9/0222 , H03H9/02929 , H03H9/059 , H03H9/1078 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49007 , Y10T29/4908 , Y10T29/49798
Abstract: 一种使用SH边界声波的边界声波装置，其中可以有效地减小不希望有的乱真响应，并能产生优异的谐振特性或滤波器特性。边界声波装置1包括第一介质层2，层叠在第一介质层2上的第二介质层6，以及包含指状电极3和反射器4和5的电极。在第一介质层2和/或第二介质层6上与它们之间的界面相对的表面上设置吸音层7。
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公开(公告)号：CN101454974B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200780019212.2
申请日：2007-05-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 神藤始
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02834
Abstract: 提供一种层叠第1～第4介质，在第1、第2介质间配置电极，延迟时间温度系数的绝对值小，温度特性良好的声界面波装置。一种声界面波装置(1)，按第1介质～第4介质的顺序层叠第1～第4介质(11～14)，在第1介质(11)和第2介质(12)之间的界面上配置包含IDT电极(16)的电极，在层叠第4介质(14)、第2介质(12)、电极、以及第1介质11构成的结构中声界面波的延迟时间温度系数TCD为正值，第4或第2介质具有正的音速温度系数TCV，第1介质(11)具有负的音速温度系数TCV，第3介质(13)的横波音速慢于第4介质(14)及/或第2介质(12)的横波音速。
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公开(公告)号：CN101167247B
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN200680014068.9
申请日：2006-04-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 神藤始
CPC classification number: H03H9/0071 , H03H9/0222 , H03H9/02559 , H03H9/6493
Abstract: 本发明提供一种可以抑制由梳形电容电极造成的并非所需的响应的弹性边界波装置。其特征是，具备：第一介质；叠层于第一介质上的第二介质；配置于第一、第二介质间的边界上的多个电极，利用多个电极，构成滤波器及/或共振子、与该滤波器及/或共振子电连接的静电电容，滤波器及/或共振子都是使用IDT电极构成，静电电容由梳形电容电极形成，在将上述IDT的电极指的周期设为λm，将该IDT的弹性边界波的声速设为Vm，将梳形电容电极的电极指的周期设为λc，将梳形电容电极的电极指法线方向的第一、第二介质的各自的慢的横波的声速中的声速慢的横波的声速设为Vc的情况下，使得Vm/λm＜Vc/λc。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101194422B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200680020863.9
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02559
Abstract: 本发明提供一种声边界波滤波装置，其中在压电衬底(101)上形成介质膜(103)，在两者的边界设置具有多个IDT的至少一个纵耦合共振子型声边界波滤波器(110)，以及至少2个一端子对声边界波共振子(120、130，至少一个声边界波共振子(120)与纵耦合共振子型声边界波滤波器(110)串联连接，至少一个剩下的一端子对声边界波共振子(130)与纵耦合共振子型声边界波滤波器(110)并联连接，串联连接声边界波共振子的反共振频率位于比声边界波滤波装置的通过频带更高频侧，并联连接声边界波共振子的共振频率位于串联连接声边界波共振子的反共振频率以上。从而能够扩大通过频带外衰减量。
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公开(公告)号：CN101595641A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200880003074.3
申请日：2008-03-13
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02921 , H03H9/0071 , H03H9/02858 , H03H9/02881 , H03H9/14538 , H03H9/14594
Abstract: 本发明提供一种弹性波元件。其可改善谐振频率附近的谐振特性，难以产生指状电极间的短路故障或绝缘性的变差。该弹性波元件(1)以与压电体相接的方式形成IDT电极(3)，IDT电极(3)具有多个指状电极，该多个指状电极包括在弹性波传播方向上相邻并且连接于不同电位的第一、第二指状电极(31)、(32)和隔着配置于第一指状电极(31)的指状电极长度方向外侧的间隙(33)而对置的第一虚设指状电极(34)，在间隙附近，在第一指状电极(31)以及第一虚设指状电极(34)之中的至少一个，以从至少一个指状电极的侧缘向弹性波传播方向突出的方式形成了第一凸部(11)～(14)指状电极。
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公开(公告)号：CN1902817A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200480040301.1
申请日：2004-12-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 神藤始
CPC classification number: H03H9/0222
Abstract: 一种使用斯通利波的边界声波装置，其具有简单的结构，是由简单的制备方法制备的，并且具有大的机电系数、小的传播损耗、小的功率通量角和合适范围内的频率温度系数TCF。将介电物质(3)形成在压电物质(2)的一个表面上，在压电物质(2)和介电物质(3)之间的边界处安置作为电极的IDT(4)和反射器(5)和(6)。确定电极的厚度使得斯通利波的声速低于传播通过介电物质(3)的慢横波的声速和传播通过压电物质(2)的慢横波的声速。从而，制造边界声波装置(1)。
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公开(公告)号：CN1338821A
公开(公告)日：2002-03-06
申请号：CN01124380.5
申请日：2001-07-26
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 神藤始
CPC classification number: H03H9/14505
Abstract: 一种声表面波器件包含一非对称双电极,此非对称双电极防止带上反射波和传播声表面波间的失配,并能实现优良的单向性。此声表面波器件包含的非对称双电极,包含有着互不相同宽度的第一和第二条带的一个半波长段。半波长安排成定义一个基本段。此声表面波器件包含配置在一块压电基片上的至少两个基本段。当把基本段的中心作为参考位置时,反射中心矢量角度的绝对值在约45±10°或约135±10°以内。换句话说,激励中心和反射中心间的相位差的绝对值在约45±10°或约135±10°以内。
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公开(公告)号：CN105474541B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201480046102.5
申请日：2014-07-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 神藤始
CPC classification number: H03H9/54 , H03H9/02559 , H03H9/1452 , H03H9/25 , H03H9/545 , H03H9/6433 , H03H2210/025
Abstract: 本发明提供频率可变范围宽且滤波器特性的陡峭性优越的可调谐滤波器。利用了洛夫波的可调谐滤波器(1)，频带扩展用电感被连接至压电谐振器(RS1、RS2)，可变电容(CP1、CS1或CP2、CS2)被连接至压电谐振器(RS1或RS2)，压电谐振器(RS1、RS2)具有LiNbO3基板与IDT电极，通频带及衰减频带位于比在LiNbO3基板中传播慢的横波的声速除以由IDT电极的周期所决定的波长而得到的值更低的低频域。
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