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公开(公告)号:CN107407611B
公开(公告)日:2019-08-02
申请号:CN201680013476.6
申请日:2016-02-10
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG),具有灯丝(2);配置在灯丝周围的具有筒状的轮廓的栅极(3);以及在栅极周围同心配置的筒状的离子收集器(4)。离子收集器的母线方向的长度(L2)设定在栅极的母线方向的长度(L1)的6%~80%的范围内,省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。
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公开(公告)号:CN107407612A
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201680017058.4
申请日:2016-02-10
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG),具有:灯丝(2);配置在灯丝周围的具有筒状轮廓的栅极(3);以及在栅极周围同心配置的筒状离子收集器(4)。还具有:灯丝发光用的电源(E1);施加给栅极高于灯丝电位的栅极用的电源(E2);以及使灯丝电位高于离子收集器电位的电源(E3)。给灯丝的供给电力设置在4W以下,控制灯丝和栅极之间的发射电流在2mA~10mA的范围内。
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公开(公告)号:CN100549648C
公开(公告)日:2009-10-14
申请号:CN200580019399.7
申请日:2005-11-07
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G01L21/12
CPC classification number: G01L21/12
Abstract: 本发明提供一种皮拉尼真空计,可提高细丝温度对气体压力变动的依存度,以良好的精度测量气体压力。本发明的皮拉尼真空计具备:包封体(2),内部面向被测量空间(s);细丝(1),收容在该包封体2内部;以及筒(7),在包封体(2)内部包围细丝(1)而设置,且夹着细丝(1)相对向的内壁间的最小距离为6mm以内,并覆盖细丝(1)长度的80%以上。
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公开(公告)号:CN1969175A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200580019399.7
申请日:2005-11-07
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G01L21/12
CPC classification number: G01L21/12
Abstract: 本发明提供一种皮拉尼真空计,可提高细丝温度对气体压力变动的依存度,以良好的精度测量气体压力。本发明的皮拉尼真空计具备:包封体(2),内部面向被测量空间(s);细丝(1),收容在该包封体2内部;以及筒(7),在包封体(2)内部包围细丝(1)而设置,且夹着细丝(1)相对向的内壁间的最小距离为6mm以内,并覆盖细丝(1)长度的80%以上。
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公开(公告)号:CN118692890A
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202410300031.2
申请日:2024-03-15
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明涉及以更换灯丝的可操作性好的质谱仪作为对从试验体导入的气体成分进行分析的质谱仪。其具备封套,所述封套具有沿X轴方向延伸的主管部,以及从主管部分支并沿与X轴方向正交的Z轴方向一方延伸的分支管部。分支管部通过切换阀与试验体连接。在主管部内朝向X轴方向下游依次收纳离子源、质量分离部和检测部,在主管部的另一端连接控制单元。离子源具有:配置在X轴方向一端侧的灯丝;位于灯丝的X轴方向下游并对热电子给予规定的运动的运动给予室;以及位于运动给予室的X轴方向下游侧而使气体离子化的离子化室。还具备开闭自如地闭塞主管部的一端的盖板,在分支管部内插设有内管,其前端部向主管部内突出并向离子化室延伸。
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公开(公告)号:CN110940456B
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN201911265635.3
申请日:2019-12-11
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G01L21/00
Abstract: 本发明提供一种具备可简便地设置、改变设定值的真空计的压力测量系统。本发明的压力测量系统(MS)具有:真空计和终端机(Mt),所述真空计的主体安装在测量对象物上,所述主体内具有:传感器部(20),其接收电源供给而工作;控制部(30),其控制传感器部的工作,并处理来自该传感器部的输入,输出规定信号;以及电源电路部(40,50),将电力供给到控制部和传感器部;所述终端机(Mt),其可经通信线路(60)与控制部可自由通信地连接,并可通过有线或无线将电力供给到电源电路部。真空计可判断从终端机给该控制部的电力供给,当从终端机对控制部进行电力供给时,真空计的控制部和终端机经通信线路相互可自由通信地连接。
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公开(公告)号:CN109238559A
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201810694986.5
申请日:2018-06-29
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够正确地对测定对象物的内部的压力进行测定的三极管式电离真空计。本发明所涉及的三极管式电离真空计具有灯丝、栅网和离子收集极。所述栅网配置在所述灯丝的周围。所述离子收集极为筒状,配置在所述栅网的周围,并由300K时的热导率为173W/(m·K)以上的材料构成。
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公开(公告)号:CN106153246A
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201610301264.X
申请日:2016-05-09
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G01L21/12
Abstract: 本发明提供一种所具有的结构可有效抑制由振动和冲击造成的细丝断裂的皮拉尼真空计。本发明的皮拉尼真空计具有设置在外壳(1)内的细丝(6);保持外壳后侧的气密性的第一端子台(2);彼此电绝缘并贯穿第一端子台的多个连接端子(3);以及由任意一个连接端子支撑的、长边在前后方向上的第一细丝支撑件(5)。细丝安装在第一细丝支撑件的前端部与其它的连接端子之间。在第一端子台的前侧设置有第二端子台(4),连接端子由贯穿第一端子台的第一部分(3a)、贯穿第二端子台的第二部分(3b)以及使第一部分和第二部分相互连接的第三部分(3c)构成。设置有将第二端子台和第一细丝支撑件保持在一起的第二细丝支撑件(7)。
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