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公开(公告)号：CN107407611A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013476.6
申请日：2016-02-10
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状的轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状的离子收集器(4)。离子收集器的母线方向的长度(L2)设定在栅极的母线方向的长度(L1)的6％～80％的范围内，省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。
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公开(公告)号：CN101133308B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200680007086.4
申请日：2006-03-01
Applicant: 英飞康有限责任公司
IPC: G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34 , H01J1/30 , H01J1/304 , H01J41/00 , H01J41/02 , H01J41/04 , H01J41/06 , H01J41/08 , H01J41/10 , H01J19/00 , H01J19/02 , H01J19/04 , H01J19/10
CPC classification number: G01L21/32 , G01L21/12 , H01J1/3042 , H01J41/04
Abstract: 本发明提出一种发射电子的阴极(6)，它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9)，将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3)，该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4)，该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC)，同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间，并且调节门电压，其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管，金刚石状的碳，一种金属或一种金属混合物，或者一种半导体材料，半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而，发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网，或者，它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。
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公开(公告)号：CN107407611B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201680013476.6
申请日：2016-02-10
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状的轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状的离子收集器(4)。离子收集器的母线方向的长度(L2)设定在栅极的母线方向的长度(L1)的6％～80％的范围内，省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。
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公开(公告)号：CN104303033B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380014817.8
申请日：2013-02-07
Applicant: MKS仪器公司
Inventor： G·A·布鲁克尔
IPC: G01L21/32
Abstract: 一种电离计，在控制由操作在高压下的溅射得到沉积的位置而测量压力，所述电离计包括至少一个发射电子的电子源，和限定电离体积的阳极。电离计还包括用于收集在电离体积中由电子与气体分子和原子之间的碰撞所形成的离子的收集器电极，以提供气体压力输出。电子源可以被定位在电离体积的端部处，使得电子源到溅射离开收集器电极和包层表面的原子束的暴露最小化。可替换地，电离计可以包括电离体积的外部的第一遮挡件，所述第一遮挡件被定位在电子源和收集器电极之间，并且可选地，处于包层和电子源之间的第二遮挡件，使得溅射离开包层的原子受到抑制不在电子源上沉积。
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公开(公告)号：CN104303033A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201380014817.8
申请日：2013-02-07
Applicant: MKS仪器公司
Inventor： G·A·布鲁克尔
IPC: G01L21/32
Abstract: 一种电离计，在控制由操作在高压下的溅射得到沉积的位置而测量压力，所述电离计包括至少一个发射电子的电子源，和限定电离体积的阳极。电离计还包括用于收集在电离体积中由电子与气体分子和原子之间的碰撞所形成的离子的收集器电极，以提供气体压力输出。电子源可以被定位在电离体积的端部处，使得电子源到溅射离开收集器电极和包层表面的原子束的暴露最小化。可替换地，电离计可以包括电离体积的外部的第一遮挡件，所述第一遮挡件被定位在电子源和收集器电极之间，并且可选地，处于包层和电子源之间的第二遮挡件，使得溅射离开包层的原子受到抑制不在电子源上沉积。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101133308A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200680007086.4
申请日：2006-03-01
Applicant: 英飞康有限责任公司
IPC: G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34 , H01J1/30 , H01J1/304 , H01J41/00 , H01J41/02 , H01J41/04 , H01J41/06 , H01J41/08 , H01J41/10 , H01J19/00 , H01J19/02 , H01J19/04 , H01J19/10
CPC classification number: G01L21/32 , G01L21/12 , H01J1/3042 , H01J41/04
Abstract: 本发明提出一种发射电子的阴极(6)，它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9)，将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3)，该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4)，该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC)，同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间，并且调节门电压，其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管，金刚石状的碳，一种金属或一种金属混合物，或者一种半导体材料，半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而，发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网，或者，它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。
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公开(公告)号：EP0827179A1
公开(公告)日：1998-03-04
申请号：EP96306329.2
申请日：1996-08-30
Applicant: VARIAN ASSOCIATES, INC.
Inventor： Hablanian,Marsbed , Ratnam,Asoka
CPC classification number: H01J27/14 , H01J41/04 , H01J49/126
Abstract: A single potential ion source 50 includes a single conical electrode 58 encircled by a cylindrical magnet 60. At least one filament 56 is placed proximate to the electrode. This arrangement serves to accelerate electrons created by energy from the filament toward a centre axis 59 of the conical electrode. The electrons collide with gas particles to create a focussed ion stream. The stream may be directed into a magnetic field in a mass spectrometer tube. A base 52 supports pins 54 for electrical connections to the electrode 58 and filaments 56.
Abstract translation: 单个电势离子源50包括由圆柱形磁体60包围的单个圆锥形电极58.至少一个细丝56靠近电极放置。 这种布置用于将由能量产生的电子加速到锥形电极的中心轴线59。 电子与气体颗粒碰撞以产生聚焦的离子流。 流可以被引导到质谱管中的磁场中。 基座52支撑用于电连接到电极58和细丝56的销54
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公开(公告)号：EP0537770A3
公开(公告)日：1993-07-28
申请号：EP92117733.3
申请日：1992-10-16
Applicant: Granville-Phillips Company
Abstract: Ionization gauge and method of operating same where the gauge may be of the Bayard-Alpert type and include a shield which completely encloses the electron source, the anode, and the collector electrode so that potentials external to the shield do not disturb the electric charge distribution within the shielded volume to thus stabilize the sensity of the gauge. The ionization gauge is further characterized by the following features which may be present either alone or in combination including: (a) the anode is provided with end caps which extend radially inward at least 25 % of the radius of the anode but not more than 75 % of the radius; (b) the ion collector has a diameter of not less than 0.015 in. and not more than 0.080 in.; (c) the ion collector extends at its free end at least through one of the partial end caps of the anode; (d) the electron source is not substantially longer axially than the region within the anode volume in which the electric field is predominantly directed radially inward and where the electron source is located substantially only adjacent to the foregoing region; (e) the anode is provided with a substantially uniformly transparent grid structure in the regions where the electrons enter the anode volume and where they exit the anode volume. A controller circuitry and method for controlling the operation of the ionization gauge has a source of electrons, an anode, and an ion collector electrode, including storing a plurality of calibration data sets for at least collector electrode currents and gauge sensitivities obtained with at least one reference gauge at representative values of known pressures; and calculating the gauge sensitivity corresponding to an unknown pressure in response to at least one of the data sets together with a measured value of the ion collector current. The data sets may also include representative values of the heating powers of the electron source so that the calculated sensitivity may also be compensated for variations in the electron source heating power.
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公开(公告)号：WO2005114169A1
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：PCT/EP2004/050893
申请日：2004-05-22
Applicant: AGILENT TECHNOLOGIES, INC. , GLATZ, Bernd , ANDERER, Herbert , BÄUERLE, Martin , KRAICZEK, Karsten , EICKHOFF, Jan , MÜLLER, Patrick
Inventor： GLATZ, Bernd , ANDERER, Herbert , BÄUERLE, Martin , KRAICZEK, Karsten , EICKHOFF, Jan , MÜLLER, Patrick
IPC: G01N30/60
CPC classification number: G01N30/466 , B01L3/5025 , B01L3/502738 , B01L2400/0622 , G01N30/20 , G01N30/6095 , G01N30/724 , G01N2030/085 , G01N2030/201 , G01N2030/202 , H01J41/04 , H01J49/04
Abstract: A microfluidic chip (1; 87; 93; 149; 159; 201) with at least one inlet port, with at least one microfluidic flow path (249) coupled to the inlet port, and with at least one analytical element adapted for analyzing and/or separating components of a liquid within the flow path (249) which is arranged within or adjacent to, and/or is coupled to the microfluidic flow path (249). The microfluldic chip (1; 87; 93; 149; 159; 201) is adapted to execute at least two processes (45,47) in parallel.
Abstract translation: 具有至少一个入口端口的微流体芯片（1; 87; 93; 149; 159; 201），其具有耦合到所述入口端口的至少一个微流体流动路径（249），以及适于分析和 /或分离布置在微流体流动路径（249）内或附近的流路（249）内和/或耦合到微流体流动路径（249）的流动路径（249）内的液体的组分。 微型芯片（1; 87; 93; 149; 159; 201）适于并行执行至少两个过程（45,47）。
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公开(公告)号：WO2005091331A2
公开(公告)日：2005-09-29
申请号：PCT/US2005/008003
申请日：2005-03-10
Applicant: HELIX TECHNOLOGY CORPORATION , ARNOLD, Paul, C. , RUTT, Paul, M.
Inventor： ARNOLD, Paul, C. , RUTT, Paul, M.
IPC: H01J41/00
Abstract: An ionization gauge for isolating an electron source from gas molecules includes the electron source for generating electrons, a collector electrode for collecting ions formed by the impact between the electrons and gas molecules, and an electron window which isolates the electron source from the gas molecules. The ionization gauge can have an anode which defines an anode volume and retains the electrons in a region of the anode. The ionization gauge can have a plurality of electron sources and/or collector electrodes. The collector electrode(s) can be located within the anode volume or outside the anode volume. The ionization gauge can have a mass filter for separating the ions based on mass-to-charge ratio. The ionization gauge can be a Bayard-Alpert type that measures pressure or a residual gas analyzer that determines a gas type.
Abstract translation: 用于从气体分子中分离电子源的电离计包括用于产生电子的电子源，用于收集由电子和气体分子之间的冲击形成的离子的集电极，以及将电子源与气体分子隔离的电子窗口。 电离计可以具有限定阳极体积并将电子保持在阳极区域中的阳极。 电离计可以具有多个电子源和/或集电极。 集电极可以位于阳极体积内或阳极体积外。 电离计可以具有用于基于质荷比分离离子的质量过滤器。 电离计可以是衡量压力的Bayard-Alpert型，也可以是确定气体类型的残留气体分析仪。
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