使用卧式反应器制造多晶硅的装置以及该多晶硅的制造方法

    公开(公告)号:CN106458607B

    公开(公告)日:2018-12-25

    申请号:CN201580024951.5

    申请日:2015-05-11

    Abstract: 本发明涉及一种多晶硅生产装置。该装置包括:卧式反应管,其位于隔热管中,并具有:出口,通过其供应包含含硅反应气体和还原气体的气体原料,出口,通过其排出残余气体,与所述气体原料接触的反应表面,以及多个底部开口,通过其排出由所述气体原料的反应而产生的熔融多晶硅;设置在所述卧式反应管中以提供额外的反应表面的一个或多个内部构件;以及适于加热所述卧式反应管的反应表面的第一加热设备。本发明还涉及一种使用所述装置的多晶硅生产方法。

Patent Agency Ranking