公开(公告)号：CN100561354C

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200610143735.5

申请日：2006-11-03

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 剑持晴康 ,  佐藤博明 ,  池田泰人 ,  森昌人

IPC: G03F7/20 ,  G03B17/48 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法，该装置及其方法能够应对于当识别标记形成在周边区域的任何位置的情况下。本装置包括：保持基板(W)的台座(2)；对基板的预设的预定位置和与预设在台座上的基准位置相对应而设置的定位标记进行摄影，以取得图像数据的摄影装置(4)；使台座移动的移动搬运机构(3)；在该移动搬运机构的移动路径上照射激光束的激光束单元(5)；从照射口对基板的周边区域照射包含紫外线的光的紫外线照射单元(9)；和可使基于从摄影装置取得的图像数据来进行基板的校准，并可使利用激光束的识别标记的曝光和利用包含紫外线的光的周边曝光同时进行的，控制移动搬运机构的控制装置(20)。

公开(公告)号：CN1959536A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200610143734.0

申请日：2006-11-03

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 剑持晴康 ,  佐藤博明 ,  池田泰人 ,  森昌人

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G03B17/48

Abstract: 本发明提供一种激光束曝光装置及其方法，该装置及方法不会使得识别标记变形，而且在多个激光照射单元中光路长度相同。激光束曝光装置(5)包括：光路长度调节单元(6)，其对从激光束光源(5a)至基板的激光束的光路长度进行调节；和多个激光照射单元(7)，其在基板的移动路径上设于基板的上方，并向基板照射由光路长度调节单元调节了光路长度的激光束。

公开(公告)号：CN1959537A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200610143735.5

申请日：2006-11-03

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 剑持晴康 ,  佐藤博明 ,  池田泰人 ,  森昌人

IPC: G03F7/20 ,  G03B17/48 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法，该装置及其方法能够应对于当识别标记形成在周边区域的任何位置的情况下。本装置包括：保持基板(W)的台座(2)；对基板的预设的预定位置和与预设在台座上的基准位置相对应而设置的定位标记进行摄影，以取得图像数据的摄影装置(4)；使台座移动的移动搬运机构(3)；在该移动搬运机构的移动路径上照射激光束的激光束单元(5)；从照射口对基板的周边区域照射包含紫外线的光的紫外线照射单元(9)；和可使基于从摄影装置取得的图像数据来进行基板的校准，并可使利用激光束的识别标记的曝光和利用包含紫外线的光的周边曝光同时进行的，控制移动搬运机构的控制装置(20)。

公开(公告)号：CN1959535A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200610143732.1

申请日：2006-11-03

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 剑持晴康 ,  佐藤博明 ,  池田泰人 ,  森昌人

IPC: G03F7/20 ,  G03B17/48 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法，从而将一个台座的移动速度确定为适当的速度。激光束、紫外线照射周边曝光装置包括：保持基板的台座(2)；使台座在绕与基板的面正交的垂线旋转的旋转方向、使台座沿基板的面水平移动的移动方向以及与使台座与所述移动方向正交的正交方向上水平移动的移动搬运机构(3)；在该移动搬运机构的移动路径上设在基板的上方的位置，并照射激光束的激光束单元(5)；从照射口对周边区域照射包含紫外线的光的紫外线照射单元(9)；和对应于照射激光束时使台座移动的第一移动速度和照射包含紫外线的光时使台座移动的第二移动速度中的某一个速度来控制移动搬运机构的控制装置(20)。