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公开(公告)号:CN105144340B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201480020370.X
申请日:2014-04-09
Applicant: 株式会社ORC制作所
CPC classification number: H05B41/24 , G03F7/70016 , G03F7/70291 , H01J61/025 , H01J61/0732 , H01J61/86
Abstract: 本发明的放电灯为具有沿水平方向配置的放电灯(22)和反射面为旋转抛物面的反射镜(21)的光源装置,在该光源装置中,放电灯(22)被配置在反射镜(21)的中心部,另一方面,灯中心轴(E)以从反射镜中心轴(T)起沿着铅直方向隔开距离(d)的方式平行地配置。
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公开(公告)号:CN102194643B
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201110054871.8
申请日:2011-03-08
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种放电灯,其提供稳定的发射体的扩散、稳定的电极强度。放电灯具有阴极(20),其在电极前端部(23)上设有由多个密度倾斜层(26)构成的烧结层(烧结体)(24)。密度倾斜层(26)是通过将氧化钡等的发射体粉末与钨等的高熔点金属粉末的混合粉末阶段性地压缩插入到阴极(20)的凹部(25),并在之后一体地进行SPS烧结来形成的。在各层中,烧结体倾斜化,其密度从电极前端侧向电极后端侧连续地减少。
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公开(公告)号:CN103460137A
公开(公告)日:2013-12-18
申请号:CN201280016296.5
申请日:2012-03-29
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20 , G01J1/02 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70558 , G01J1/0219 , G01J1/0233 , G01J1/0488 , H01J61/822 , H01J61/86 , H05B41/38
Abstract: 曝光装置具备:放电灯,其放射包括g线(436nm)、h线(405nm)、i线(365nm)的亮线的光;光测量单元,其具有受光部,对从放电灯放射的光进行测量;以及照明调整单元,其根据光测量单元中的测量值,调整向放电灯供给的功率。并且,光测量单元具有在g线、h线、i线中相邻的2个亮线之间具有峰值灵敏度的分光灵敏度特性。
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公开(公告)号:CN1873903B
公开(公告)日:2010-07-07
申请号:CN200610082019.0
申请日:2006-03-31
Applicant: 索尼株式会社 , 株式会社ORC制作所
CPC classification number: H01J9/326 , H01J61/34 , H01J61/368 , H01J61/86
Abstract: 本发明提供了一种耐用性得以提高的短弧型高压放电灯以及包括该短弧型高压放电灯的灯装置。玻璃材料进入其中的玻璃材料部分(52A)分别设置在电极轴(5402)的外周表面(5406)和被密封金属箔(56)的弯曲部分(58)之间、电极轴(5402)的两侧上,在玻璃材料部分(52A)、电极轴(5402)的外周表面(5406)和弯曲部分(58)中存在与密封空间(60)连续的间隙(S3)。由玻璃材料部分(52A)面对间隙(S3)的表面(52-1)与弯曲部分(58)形成的角度为钝角(ψ)。换句话说,由玻璃材料部分(52A)面对间隙(S3)的表面(52-1)与被密封金属箔(56)的弯曲部分(58)的表面(5602)形成的角度为钝角(ψ)。
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