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公开(公告)号：CN105144340A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480020370.X
申请日：2014-04-09
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: H01J61/88 , F21S2/00 , F21V13/02 , H01J61/20 , H01L21/027 , H05B41/24 , F21Y101/00
CPC classification number: H05B41/24 , G03F7/70016 , G03F7/70291 , H01J61/025 , H01J61/0732 , H01J61/86
Abstract: 本发明的放电灯为具有沿水平方向配置的放电灯(22)和反射面为旋转抛物面的反射镜(21)的光源装置，在该光源装置中，放电灯(22)被配置在反射镜(21)的中心部，另一方面，灯中心轴(E)以从反射镜中心轴(T)起沿着铅直方向隔开距离(d)的方式平行地配置。
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公开(公告)号：CN103460137B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201280016296.5
申请日：2012-03-29
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20 , G01J1/02 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70558 , G01J1/0219 , G01J1/0233 , G01J1/0488 , H01J61/822 , H01J61/86 , H05B41/38
Abstract: 曝光装置具备：放电灯，其放射包括g线（436nm）、h线（405nm）、i线（365nm）的亮线的光；光测量单元，其具有受光部，对从放电灯放射的光进行测量；以及照明调整单元，其根据光测量单元中的测量值，调整向放电灯供给的功率。并且，光测量单元具有在g线、h线、i线中相邻的2个亮线之间具有峰值灵敏度的分光灵敏度特性。
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公开(公告)号：CN105144340B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201480020370.X
申请日：2014-04-09
Applicant: 株式会社ORC制作所
CPC classification number: H05B41/24 , G03F7/70016 , G03F7/70291 , H01J61/025 , H01J61/0732 , H01J61/86
Abstract: 本发明的放电灯为具有沿水平方向配置的放电灯(22)和反射面为旋转抛物面的反射镜(21)的光源装置，在该光源装置中，放电灯(22)被配置在反射镜(21)的中心部，另一方面，灯中心轴(E)以从反射镜中心轴(T)起沿着铅直方向隔开距离(d)的方式平行地配置。
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公开(公告)号：CN103460137A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201280016296.5
申请日：2012-03-29
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20 , G01J1/02 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70558 , G01J1/0219 , G01J1/0233 , G01J1/0488 , H01J61/822 , H01J61/86 , H05B41/38
Abstract: 曝光装置具备：放电灯，其放射包括g线（436nm）、h线（405nm）、i线（365nm）的亮线的光；光测量单元，其具有受光部，对从放电灯放射的光进行测量；以及照明调整单元，其根据光测量单元中的测量值，调整向放电灯供给的功率。并且，光测量单元具有在g线、h线、i线中相邻的2个亮线之间具有峰值灵敏度的分光灵敏度特性。
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