公开(公告)号：TW201243109A

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：TW101107844

申请日：2012-03-08

Applicant: 氯工程公司

Inventor： 土門宏紀 ,  藤井宏治 ,  小坂純子 ,  加藤昌明

IPC: C25B ,  C01B

CPC classification number: C25B1/22 ,  C25B11/12 ,  C25B15/02 ,  C25B15/08

Abstract: 本發明係關於一種藉由將硫酸電解而製造大量含有氧化性物質之硫酸的裝置，且關於一種藉由於電解裝置內生成溫度及濃度經管理之稀釋硫酸，進而將該稀釋硫酸於經溫度管理之條件下電解而高效率且安全地生成大量含有氧化性物質之電解硫酸的裝置。本發明提供一種硫酸電解裝置及硫酸電解方法，該硫酸電解裝置係具有陽極側電解部與陰極側電解部者，並且於陽極側電解部內至少包含陽極側稀釋硫酸生成路線A與陽極側電解硫酸生成路線B，該陽極側稀釋硫酸生成路線A係稀釋作為供給原料之濃硫酸，並將經稀釋之稀釋硫酸調整至所需之溫度及濃度，該陽極側電解硫酸生成路線B係用於將於該路線A中調整至所需之溫度及濃度之稀釋硫酸電解而生成電解硫酸，並將所生成之電解硫酸調整至所需之溫度及濃度。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种借由将硫酸电解而制造大量含有氧化性物质之硫酸的设备，且关于一种借由于电解设备内生成温度及浓度经管理之稀释硫酸，进而将该稀释硫酸于经温度管理之条件下电解而高效率且安全地生成大量含有氧化性物质之电解硫酸的设备。本发明提供一种硫酸电解设备及硫酸电解方法，该硫酸电解设备系具有阳极侧电解部与阴极侧电解部者，并且于阳极侧电解部内至少包含阳极侧稀释硫酸生成路线A与阳极侧电解硫酸生成路线B，该阳极侧稀释硫酸生成路线A系稀释作为供给原料之浓硫酸，并将经稀释之稀释硫酸调整至所需之温度及浓度，该阳极侧电解硫酸生成路线B系用于将于该路线A中调整至所需之温度及浓度之稀释硫酸电解而生成电解硫酸，并将所生成之电解硫酸调整至所需之温度及浓度。

公开(公告)号：TW201127950A

公开(公告)日：2011-08-16

申请号：TW099130900

申请日：2010-09-13

Applicant: 東芝股份有限公司 ,  芝浦機械電子裝置股份有限公司 ,  氯工程公司

Inventor： 速水直哉 ,  田家真紀子 ,  黑川禎明 ,  小林信雄 ,  加藤昌明 ,  尾川裕介 ,  土門宏紀

IPC: C11D ,  C25F ,  H01L

CPC classification number: H01L21/31133 ,  G03F7/423 ,  H01L21/67051

Abstract: 根據實施例，一種清洗液包含氧化物質及氫氟酸且表現酸性。本發明還揭示一種清洗方法。該方法包含藉由選自電解硫酸溶液、電解添加至硫酸溶液之氫氟酸及混合硫酸溶液與過氧化氫水溶液中之一者產生包含氧化物質之氧化溶液。該方法包含將該氧化溶液及氫氟酸供應至欲清洗之物件之表面。

Abstract in simplified Chinese: 根据实施例，一种清洗液包含氧化物质及氢氟酸且表现酸性。本发明还揭示一种清洗方法。该方法包含借由选自电解硫酸溶液、电解添加至硫酸溶液之氢氟酸及混合硫酸溶液与过氧化氢水溶液中之一者产生包含氧化物质之氧化溶液。该方法包含将该氧化溶液及氢氟酸供应至欲清洗之对象之表面。

公开(公告)号：TW201000677A

公开(公告)日：2010-01-01

申请号：TW098121491

申请日：2009-06-26

Applicant: 氯工程公司 ,  東芝股份有限公司 ,  芝浦機械電子裝置股份有限公司

Inventor： 加藤昌明 ,  瀨谷良之 ,  速水直哉 ,  田家真紀子 ,  黑川禎明 ,  小林信雄

IPC: C25B

CPC classification number: C25B1/285 ,  C25B9/00

Abstract: 本發明提供一種於機械強度方面優異，並可耐受嚴苛電解條件，防止電解液引起的腐蝕，具有耐久性之硫酸電解槽。本發明係一種硫酸電解槽，其特徵在於，於導電性基板之表面形成導電性金剛石皮膜作為導電性金剛石陽極，於導電性基板之內表面，使用導電膠貼附於由與導電性基板相同或大於其之剛體形成的集電器，於金剛石陽極之導電性金剛石皮膜側之外周(periphery)，經由墊片抵接形成陽極室之陽極室架，於該陽極室架前面抵接上述隔膜，進而，於隔膜前面按順序抵接形成陰極室之陰極室架、墊片及陰極，於陰極之內表面，使用導電膠貼附由與上述陰極相同或大於其之剛體形成之集電器，經由上述導電膠自一集電器向另一集電器供電。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种于机械强度方面优异，并可耐受严苛电解条件，防止电解液引起的腐蚀，具有耐久性之硫酸电解槽。本发明系一种硫酸电解槽，其特征在于，于导电性基板之表面形成导电性金刚石皮膜作为导电性金刚石阳极，于导电性基板之内表面，使用导电胶贴附于由与导电性基板相同或大于其之刚体形成的集电器，于金刚石阳极之导电性金刚石皮膜侧之外周(periphery)，经由垫片抵接形成阳极室之阳极室架，于该阳极室架前面抵接上述隔膜，进而，于隔膜前面按顺序抵接形成阴极室之阴极室架、垫片及阴极，于阴极之内表面，使用导电胶贴附由与上述阴极相同或大于其之刚体形成之集电器，经由上述导电胶自一集电器向另一集电器供电。

公开(公告)号：TW201300761A

公开(公告)日：2013-01-01

申请号：TW101106972

申请日：2012-03-02

Applicant: 氯工程公司 ,  CHLORINE ENGINEERS CORP., LTD.

Inventor： 小坂純子 ,  KOSAKA, JUNKO ,  加藤昌明 ,  KATO, MASAAKI ,  土門宏紀 ,  DOMON, HIROKI

IPC: G01N21/31 ,  G01N27/416

CPC classification number: G01N27/26 ,  G01N9/36 ,  G01N21/17 ,  G01N21/33 ,  G01N21/65 ,  G01N27/3277 ,  G01N29/02 ,  G01N31/228

Abstract: 本發明提供即使為含有過硫酸或過硫酸鹽、過氧化氫等之多成分之評價液，亦可藉簡便操作、以一次測定獲得總濃度之氧化性物質之總濃度測定方法、簡易且價廉之氧化性物質之總濃度測定用濃度計以及使用其之硫酸電解裝置。本發明係測定含有至少一種氧化性物質之評價液中氧化性物質之總濃度之方法。至少包含在50~135℃熱處理評價液之熱處理步驟，及檢測經熱處理之該評價液中之過氧化氫的過氧化氫檢測步驟。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供即使为含有过硫酸或过硫酸盐、过氧化氢等之多成分之评价液，亦可藉简便操作、以一次测定获得总浓度之氧化性物质之总浓度测定方法、简易且价廉之氧化性物质之总浓度测定用浓度计以及使用其之硫酸电解设备。本发明系测定含有至少一种氧化性物质之评价液中氧化性物质之总浓度之方法。至少包含在50~135℃热处理评价液之热处理步骤，及检测经热处理之该评价液中之过氧化氢的过氧化氢检测步骤。

公开(公告)号：TW201128696A

公开(公告)日：2011-08-16

申请号：TW099130901

申请日：2010-09-13

Applicant: 東芝股份有限公司 ,  氯工程公司 ,  芝浦機械電子裝置股份有限公司

Inventor： 速水直哉 ,  田家真紀子 ,  加藤昌明 ,  土門宏紀 ,  尾川裕介 ,  黑川禎明 ,  小林信雄

IPC: H01L ,  C25B ,  C09K ,  G03F

CPC classification number: C25B1/28 ,  G03F7/423

Abstract: 根據一個實施例，本發明揭示一種清洗方法。該方法可藉由電解稀硫酸溶液而產生包含氧化物質之氧化溶液。另外，該方法可將高度濃縮之無機酸溶液與該氧化溶液個別地、依序地或實質上同時地供應至欲清洗之物件之表面。

Abstract in simplified Chinese: 根据一个实施例，本发明揭示一种清洗方法。该方法可借由电解稀硫酸溶液而产生包含氧化物质之氧化溶液。另外，该方法可将高度浓缩之无机酸溶液与该氧化溶液个别地、依序地或实质上同时地供应至欲清洗之对象之表面。

公开(公告)号：TW201014931A

公开(公告)日：2010-04-16

申请号：TW098131860

申请日：2009-09-22

Applicant: 氯工程公司

Inventor： 加藤昌明 ,  川口理惠

IPC: C25B

CPC classification number: C25B1/13 ,  C01B13/115 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/24 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/62 ,  C25B9/10 ,  C25B15/02 ,  H01M4/8605 ,  Y02E60/366

Abstract: 本發明係提供一種臭氧產生裝置之運轉方法及臭氧產生裝置，於通常運轉時，可高效地產生臭氧，並且於安全為最大問題的保護電流進行運轉時，使陰極不產生氫氣，並且防止氫氣混入陽極所產生的臭氧，從而改善臭氧純度，並可長時間安全地進行電解。於臭氧產生裝置通常運轉時，自上述陽極室內之上述陽極產生臭氧，並自上述陰極室內之上述陰極產生氫氣，上述臭氧產生裝置停止運轉時，僅於供給用以保護上述陽極之微小電流的保護電流運轉時，將上述陰極室內的電解水及氫氣全部排出後，向上述陰極室內供給含氧氣體，並將上述陰極用作氣體電極而進行氧還原反應，從而使用上述陰極作為具備氣體產生電極及氣體電極兩者功能之可逆電極。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种臭氧产生设备之运转方法及臭氧产生设备，于通常运转时，可高效地产生臭氧，并且于安全为最大问题的保护电流进行运转时，使阴极不产生氢气，并且防止氢气混入阳极所产生的臭氧，从而改善臭氧纯度，并可长时间安全地进行电解。于臭氧产生设备通常运转时，自上述阳极室内之上述阳极产生臭氧，并自上述阴极室内之上述阴极产生氢气，上述臭氧产生设备停止运转时，仅于供给用以保护上述阳极之微小电流的保护电流运转时，将上述阴极室内的电解水及氢气全部排出后，向上述阴极室内供给含氧气体，并将上述阴极用作气体电极而进行氧还原反应，从而使用上述阴极作为具备气体产生电极及气体电极两者功能之可逆电极。

公开(公告)号：TW201000676A

公开(公告)日：2010-01-01

申请号：TW098121492

申请日：2009-06-26

Applicant: 氯工程公司 ,  東芝股份有限公司 ,  芝浦機械電子裝置股份有限公司

Inventor： 土門宏紀 ,  尾川裕介 ,  加藤昌明 ,  岸剛陸 ,  速水直哉 ,  田家真紀子 ,  黑川禎明 ,  小林信雄

IPC: C25B ,  B08B ,  H01L

CPC classification number: C11D11/007 ,  C11D7/08 ,  C11D11/0047 ,  C25B1/285 ,  G03F7/423 ,  H01L21/31133

Abstract: 本發明係提供一種利用電解硫酸之清洗方法及半導體裝置之製造方法，提高用於生成電解硫酸之電流效率，且同時可提高抗蝕劑等的清洗剝離效率。本發明係一種利用電解硫酸之清洗方法及當該清洗裝置半導體裝置之製造方法，其特徵在於，包括：自外部向硫酸電解槽供應第1硫酸溶液，進行電解，於上述硫酸電解槽內，生成含有氧化劑之第1電解硫酸之步驟；自外部向上述硫酸電解槽內供應濃度高於先前所供應之第1硫酸溶液之第2硫酸溶液，於上述硫酸電解槽內，將上述第2硫酸與上述第1電解硫酸進行混合，並進而進行電解，於上述硫酸電解槽內生成由含有硫酸與氧化劑之第2電解硫酸組成之清洗液之步驟；及使用上述清洗液進行清洗對象物清洗處理之清洗處理步驟。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种利用电解硫酸之清洗方法及半导体设备之制造方法，提高用于生成电解硫酸之电流效率，且同时可提高抗蚀剂等的清洗剥离效率。本发明系一种利用电解硫酸之清洗方法及当该清洗设备半导体设备之制造方法，其特征在于，包括：自外部向硫酸电解槽供应第1硫酸溶液，进行电解，于上述硫酸电解槽内，生成含有氧化剂之第1电解硫酸之步骤；自外部向上述硫酸电解槽内供应浓度高于先前所供应之第1硫酸溶液之第2硫酸溶液，于上述硫酸电解槽内，将上述第2硫酸与上述第1电解硫酸进行混合，并进而进行电解，于上述硫酸电解槽内生成由含有硫酸与氧化剂之第2电解硫酸组成之清洗液之步骤；及使用上述清洗液进行清洗对象物清洗处理之清洗处理步骤。

公开(公告)号：TWI406972B

公开(公告)日：2013-09-01

申请号：TW096126810

申请日：2007-07-23

Applicant: 氯工程公司 ,  CHLORINE ENGINEERS CORP., LTD.

Inventor： 橋本輝美 ,  HASHIMOTO TERUMI ,  加藤昌明 ,  KATO MASAAKI ,  真鍋明義 ,  MANABE AKIYOSHI

IPC: C25B1/13 ,  C25B13/08

CPC classification number: C25B1/13 ,  C25B9/10

公开(公告)号：TW201303080A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：TW101106254

申请日：2012-02-24

Applicant: 氯工程公司 ,  CHLORINE ENGINEERS CORP., LTD.

Inventor： 川口理惠 ,  KAWAGUCHI, RIE ,  加藤昌明 ,  KATO, MASAAKI

IPC: C25B1/13 ,  C25B11/03 ,  C25B11/04 ,  C25B11/06 ,  C25B9/00

CPC classification number: C25B9/10 ,  C25B1/13

Abstract: 本發明係提供一種樹脂基材且表面平滑性高之陽極觸媒體作為臭氧產生陽極電解電池用。本發明之陽極觸媒體，其係於氟樹脂系陽離子交換膜的一面使陽極觸媒體密著，於另一面使陰極觸媒體密著而構成，於各觸媒體通過集電體而供給直流電流以進行水電解，得到臭氧氣體作為陽極氣體之臭氧產生用電解電池所使用之陽極觸媒體，其特徵係含有可藉電解產生臭氧之電極觸媒粒子與樹脂，前述樹脂係以使樹脂成分溶解於溶劑之溶液作為原料所製作者。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种树脂基材且表面平滑性高之阳极触媒体作为臭氧产生阳极电解电池用。本发明之阳极触媒体，其系于氟树脂系阳离子交换膜的一面使阳极触媒体密着，于另一面使阴极触媒体密着而构成，于各触媒体通过集电体而供给直流电流以进行水电解，得到臭氧气体作为阳极气体之臭氧产生用电解电池所使用之阳极触媒体，其特征系含有可藉电解产生臭氧之电极触媒粒子与树脂，前述树脂系以使树脂成分溶解于溶剂之溶液作为原料所制作者。

公开(公告)号：TWI351446B

公开(公告)日：2011-11-01

申请号：TW096121452

申请日：2007-06-14

Applicant: 東芝股份有限公司 ,  氯工程公司

Inventor： 速水直哉 ,  柴田幸弘 ,  加藤昌明 ,  福井博之

IPC: C25B ,  H01L

CPC classification number: C25B1/30 ,  G03F7/423

Abstract: 本發明係關於一種洗淨系統，其包括：硫酸電解部分，其經安裝用於電解硫酸溶液以在陽極室中產生氧化性物質；濃硫酸供應部分，其經安裝用於將濃硫酸溶液供應至該陽極室；及洗淨處理部分，其經安裝用於使用包含該氧化性物質之氧化性溶液對欲洗淨對象實施洗淨處理。該硫酸電解部分具有陽極、陰極、設置於該陽極與該陰極間之隔膜、界定在該陽極與該隔膜間之陽極室及界定在該陰極與該隔膜間之陰極室。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种洗净系统，其包括：硫酸电解部分，其经安装用于电解硫酸溶液以在阳极室中产生氧化性物质；浓硫酸供应部分，其经安装用于将浓硫酸溶液供应至该阳极室；及洗净处理部分，其经安装用于使用包含该氧化性物质之氧化性溶液对欲洗净对象实施洗净处理。该硫酸电解部分具有阳极、阴极、设置于该阳极与该阴极间之隔膜、界定在该阳极与该隔膜间之阳极室及界定在该阴极与该隔膜间之阴极室。