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公开(公告)号:CN102798732A
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN201210162807.6
申请日:2012-05-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01P15/097
Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器以及加速度检测装置,其加速度检测灵敏度、加速度检测精度较高。加速度检测元件(10)具备加速度检测部(20)、第一被固定部(14a)以及第二被固定部(14c)、将第一被固定部(14a)以及第二被固定部(14c)分别连结于加速度检测部(20)的第一至第四梁(12a~12d),支承基板(4)具备固定侧的第一基板片(5)、可动侧的第二基板片(7)、和对第一基板片(5)和第二基板片(7)进行连结的铰链部(8),加速度检测元件(10)的长边方向沿着与检测轴(9)方向正交的方向而延伸,且短边方向的中心部与铰链部(8)的短边方向上的范围重叠,第二基板片(7)的沿着铰链部(8)的长边方向的长度(L1)长于沿着铰链部(8)的短边方向的长度(L2)。
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公开(公告)号:CN202693614U
公开(公告)日:2013-01-23
申请号:CN201220091421.6
申请日:2012-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/097 , G01C9/00
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/097 , G01P2015/0871
Abstract: 本实用新型提供加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备,该加速度检测器能够避免因与封装件的内表面的碰撞或超过强度极限的位移而导致的可动部或加速度检测元件的损坏。加速度检测器的特征在于,具备:基座部;板状的可动部,经由连接部而与该基座部连接;加速度检测元件,跨接基座部和可动部;支承部,在俯视观察时从基座部起沿着可动部而延伸,可动部的两个主面中的至少一个主面上配置有在俯视观察时一部分与支承部重合的质量部,可动部能够根据在与主面交叉的方向上施加的加速度,以连接部为支点而在与主面交叉的方向上位移,在质量部和支承部重合的区域内,于质量部和支承部之间设置有间隙。
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