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公开(公告)号：CN102680737B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201210063622.X
申请日：2012-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/097 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明提供加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备，该加速度检测器能够避免因与封装件的内表面的碰撞或超过强度极限的位移而导致的可动部或加速度检测元件的损坏。加速度检测器的特征在于，具备：基座部；板状的可动部，经由连接部而与该基座部连接；加速度检测元件，跨接基座部和可动部；支承部，在俯视观察时从基座部起沿着可动部而延伸，可动部的两个主面中的至少一个主面上配置有在俯视观察时一部分与支承部重合的质量部，可动部能够根据在与主面交叉的方向上施加的加速度，以连接部为支点而在与主面交叉的方向上位移，在质量部和支承部重合的区域内，于质量部和支承部之间设置有间隙。
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公开(公告)号：CN105429607A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510583828.9
申请日：2015-09-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及一种振动装置、电子设备以及移动体，其中，振动装置具备：基台，其具有固定部和被连接于固定部上的可动部；振动元件，其具有第一基部、第二基部、一端被连接于第一基部上而另一端被连接于第二基部上的振动臂，并且，第一基部被固定于固定部上，第二基部被固定于可动部上；锤部，其被连接于可动部上；应力缓和部，其被设置于锤部的连接区域和振动臂之间。
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公开(公告)号：CN102967730A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210308798.7
申请日：2012-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/14
CPC classification number: B06B1/06 , G01P15/09 , G01P15/097
Abstract: 本发明提供一种能够提高检测精度、检测灵敏度等的物理量检测特性的物理量检测器。其中，加速度检测器（1）具有：板状的挠性部（基座部（10）、接合部（11）、可动部（12）），其具有压电性，并能够通过惯性力而弯曲；加速度检测元件（13），其被搭载于基座部（10）及可动部（12）的主面（10a、12a）上；质量部（15），其被搭载于可动部（12）上，并具有导电性；封装件（20），其用于收纳基座部（10）、接合部（11）、可动部（12）、加速度检测元件（13）和质量部（15），在加速度检测元件（13）上，设置有将检测到的加速度作为电信号来获取的配线（13f、13g），并且质量部（15）被保持为所需的电位。
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公开(公告)号：CN102680737A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210063622.X
申请日：2012-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/097 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明提供加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备，该加速度检测器能够避免因与封装件的内表面的碰撞或超过强度极限的位移而导致的可动部或加速度检测元件的损坏。加速度检测器的特征在于，具备：基座部；板状的可动部，经由连接部而与该基座部连接；加速度检测元件，跨接基座部和可动部；支承部，在俯视观察时从基座部起沿着可动部而延伸，可动部的两个主面中的至少一个主面上配置有在俯视观察时一部分与支承部重合的质量部，可动部能够根据在与主面交叉的方向上施加的加速度，以连接部为支点而在与主面交叉的方向上位移，在质量部和支承部重合的区域内，于质量部和支承部之间设置有间隙。
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公开(公告)号：CN105429607B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201510583828.9
申请日：2015-09-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及一种振动装置、电子设备以及移动体，其中，振动装置具备：基台，其具有固定部和被连接于固定部上的可动部；振动元件，其具有第一基部、第二基部、一端被连接于第一基部上而另一端被连接于第二基部上的振动臂，并且，第一基部被固定于固定部上，第二基部被固定于可动部上；锤部，其被连接于可动部上；应力缓和部，其被设置于锤部的连接区域和振动臂之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103090887B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210422835.7
申请日：2012-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/09 , G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备，其能够抑制应力向物理量检测元件被传递的情况。本发明所涉及的物理量检测装置（100）包括：基部（10）；可动部（14），其通过连接部（12）而被基部（10）支承，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件（40），其跨接基部（10）和可动部（14）；第一支承部（20），其从基部（10）起延伸，并具备第一固定部（24）；第二支承部（30），其从基部（10）起延伸，并具备第二固定部（34），第一固定部（24）与第二固定部（34）之间的距离（L1）小于，第一支承部（20）与基部10）的连接根部的部分（23）和第二支承部（30）与基部（10）的连接根部的部分（33）之间的距离L2）。
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公开(公告)号：CN102169128A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110007098.X
申请日：2011-01-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/09
CPC classification number: G01P15/097 , G01P15/09
Abstract: 本发明得到构造简单、能够降低制造成本、且高灵敏度地检测较小的加速度的加速度传感器和加速度检测装置。加速度传感器具有压电传感器(10)和支承基板(4)，压电传感器(10)具有：压电传感器要素(20)；用于在支承基板上支承压电传感器要素的被固定部(14a)和被固定部(14c)；以及将被固定部(14a)和(14c)分别与压电传感器要素连接的第1梁～第4梁(12a～12d)，支承基板具有：支承被固定部(14a)的固定侧的第1基板片(5)；支承被固定部(14c)的可动侧的第2基板片(7)；以及铰链部(8)，压电传感器要素是向与检测轴方向(9)垂直的方向延伸的细长结构，并且，传感器要素的短边方向中心部位于铰链部的短边方向宽度内。
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公开(公告)号：CN102809669B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210169606.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/0922 , G01P15/097 , G01P2015/0828 , H05K3/4623 , Y10T29/49002 , Y10T29/49124 , Y10T29/49126 , Y10T29/49817
Abstract: 本发明提供物理量检测器的制造方法和物理量检测器，其能够降低实施制造工序时的可动部或连接部的破损，从而提高物理量检测器的生产性。物理量检测器的制造方法的特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部(10)；被配置于基座部(10)的内侧，一个端部经由连接部(11)而与基座部(10)连接的平板状的可动部(12)；被架设于基座部(10)和可动部(12)上的物理量检测元件(13)，该物理量检测器的制造方法包括：一体地形成基座部(10)、连接部(11)、可动部(12)以及连结部(14)的基座基板形成工序，该连结部被设置在可动部(12)的自由端侧并连接基座部(10)与可动部(12)；将物理量检测元件(13)架设并固定在基座部(10)与可动部(12)上的物理量检测元件接合工序；将连结部(14)切断的连结部切断工序。
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公开(公告)号：CN103090887A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210422835.7
申请日：2012-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/09 , G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备，其能够抑制应力向物理量检测元件被传递的情况。本发明所涉及的物理量检测装置（100）包括：基部（10）；可动部（14），其通过连接部（12）而被基部（10）支承，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件（40），其跨接基部（10）和可动部（14）；第一支承部（20），其从基部（10）起延伸，并具备第一固定部（24）；第二支承部（30），其从基部（10）起延伸，并具备第二固定部（34），第一固定部（24）与第二固定部（34）之间的距离（L1）小于，第一支承部（20）与基部（10）的连接根部的部分（23）和第二支承部（30）与基部（10）的连接根部的部分（33）之间的距离（L2）。
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公开(公告)号：CN102809669A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210169606.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/0922 , G01P15/097 , G01P2015/0828 , H05K3/4623 , Y10T29/49002 , Y10T29/49124 , Y10T29/49126 , Y10T29/49817
Abstract: 本发明提供物理量检测器的制造方法和物理量检测器，其能够降低实施制造工序时的可动部或连接部的破损，从而提高物理量检测器的生产性。物理量检测器的制造方法的特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部(10)；被配置于基座部(10)的内侧，一个端部经由连接部(11)而与基座部(10)连接的平板状的可动部(12)；被架设于基座部(10)和可动部(12)上的物理量检测元件(13)，该物理量检测器的制造方法包括：一体地形成基座部(10)、连接部(11)、可动部(12)以及连结部(14)的基座基板形成工序，该连结部被设置在可动部(12)的自由端侧并连接基座部(10)与可动部(12)；将物理量检测元件(13)架设并固定在基座部(10)与可动部(12)上的物理量检测元件接合工序；将连结部(14)切断的连结部切断工序。
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