公开(公告)号：CN101630063A

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200910160459.7

申请日：2009-07-15

Applicant: 船井电机株式会社

Inventor： 神野伊策 ,  小寺秀俊 ,  村山学 ,  藤井仁

IPC: G02B26/10 ,  H01L41/18

CPC classification number: G02B26/0858 ,  B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109 ,  G02B26/101 ,  H04N1/1017 ,  H04N1/193 ,  H04N2201/0428 ,  H04N2201/0458

Abstract: 一种振动镜元件，该振动镜元件包括：底座部件；由镜子部、从两侧将镜子部支撑成能摆动并作为下部电极起作用的可动部、支撑可动部并安装于底座部件的安装部一体形成的金属形成的基板；设置在基板的可动部上、并通过对其施加周期性的电压而使镜子部振动的压电膜；以及设置在压电膜上的上部电极。

公开(公告)号：CN101162593A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200710180144.X

申请日：2007-10-10

Applicant: 船井电机株式会社

Inventor： 丁子英树 ,  前田重雄 ,  小寺秀俊 ,  神野伊策

IPC: G11B7/135 ,  G02B17/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G11B7/13925 ,  G02B26/06 ,  G02B26/0825 ,  G11B7/1362

Abstract: 一种可变形镜，其包括：基板；下电极膜，其设置在基板上；压电膜，其设置在下电极膜上；上电极膜，其设置在压电膜上；绝缘膜，其设置在上电极膜上；以及镜膜，其设置在绝缘膜上。下电极膜、压电膜和上电极膜作为驱动部以使镜膜变形。上电极膜被分成多个分割电极，并且驱动部包括执行镜膜的主要变形的部分和执行镜膜的变形的微调的部分。

公开(公告)号：CN101008705A

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200610142820.X

申请日：2006-10-26

Applicant: 船井电机株式会社 ,  国立大学法人京都大学

Inventor： 丁子英树 ,  前田重雄 ,  小寺秀俊 ,  神野伊策

IPC: G02B26/08 ,  G02B7/182 ,  G11B7/135 ,  G11B7/095

Abstract: 一种可变形镜，包括：驱动部，其包括压电膜、将该压电膜夹在中间的第一和第二电极膜；基板，其形成于第一电极膜上以便支撑驱动部。当驱动部受到驱动时，镜膜的形状变化。该基板由至少一种选自Si、SiO2和MgO的材料形成。该压电膜由锆钛酸铅或由含有Nb的且与锆钛酸铅同类的钙钛矿氧化物形成。第一电极膜由多个具有不同成分的层形成；并且在这些层中，形成于基板上的一个层为由包含至少一种选自Ti、Cr和W的元素的成分构成的金属层；并且形成于压电膜上的一个层为由包含至少一种选自Pt、Ir和Ru的元素的成分构成的金属层。