振动反射镜元件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102713722A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201080060757.X

    申请日:2010-12-24

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 该振动反射镜元件(100)具有:反射镜部(10);第一驱动部(41),其形成为悬臂梁状,包括形成在第一方向上的一侧的第一固定端(41a)和形成在另一侧的第一自由端(41b),而且延伸成直线状;第一反射镜支撑部(46),其能够以使反射镜部(10)倾斜的状态支撑该反射镜部(10);第二驱动部(51),其形成为悬臂梁状,并且包括形成在第一方向上的另一侧的第二固定端(51a)和形成在一侧的第二自由端(51b),与第一驱动部具有以反射镜的中心为对称点而点对称的关系;第二反射镜支撑部(56),其与第一反射镜支撑部具有以反射镜的中心为对称点而点对称的关系,并且能够以使反射镜部倾斜的状态支撑该反射镜部。

    振动镜部件
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101750735B

    公开(公告)日:2013-09-25

    申请号:CN200910261591.7

    申请日:2009-12-15

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 本振动镜部件包括反射光线的镜面部分、与镜面部分连接用于以能振动的方向支承镜面部分的可扭转变形的梁部分、以及具有与梁部分连接的连接部分以通过可扭转变形的梁部分来驱动镜面部分的驱动部分。使在平面图中驱动部分的连接部分的宽度小于驱动部分除了连接部分之外的部分的宽度。

    振动镜部件
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101750735A

    公开(公告)日:2010-06-23

    申请号:CN200910261591.7

    申请日:2009-12-15

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 本振动镜部件包括反射光线的镜面部分、与镜面部分连接用于以能振动的方向支承镜面部分的可扭转变形的梁部分、以及具有与梁部分连接的连接部分以通过可扭转变形的梁部分来驱动镜面部分的驱动部分。使在平面图中驱动部分的连接部分的宽度小于驱动部分除了连接部分之外的部分的宽度。

    振动镜部件
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101750734B

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN200910254126.0

    申请日:2009-12-07

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 本振动镜部件包括以能振动的方式支承镜面部分的一对第一梁部分、分别与该成对第一梁部分连接的一对第二梁部分、以及分别与该成对第二梁部分连接的一对驱动部分。镜面部分布置在由成对第二梁部分和成对驱动部分所包围的区域中。使成对第一梁部分的宽度和成对第二梁部分的宽度不超过成对驱动部分的宽度的一半。

    振动镜部件
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101750734A

    公开(公告)日:2010-06-23

    申请号:CN200910254126.0

    申请日:2009-12-07

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 本振动镜部件包括以能振动的方式支承镜面部分的一对第一梁部分、分别与该成对第一梁部分连接的一对第二梁部分、以及分别与该成对第二梁部分连接的一对驱动部分。镜面部分布置在由成对第二梁部分和成对驱动部分所包围的区域中。使成对第一梁部分的宽度和成对第二梁部分的宽度不超过成对驱动部分的宽度的一半。

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