기판 처리 장치용 히터의 그라운드 스트랩 장치
    13.
    发明授权
    기판 처리 장치용 히터의 그라운드 스트랩 장치 有权
    用于衬底处理设备的加热器的接地装置

    公开(公告)号:KR101721921B1

    公开(公告)日:2017-04-03

    申请号:KR1020160021918

    申请日:2016-02-24

    Abstract: 본발명은기판처리장치용히터의그라운드스트랩장치에관한것으로서, 전극과히터몸체를전기적으로연결시켜서접지시킬수 있도록제 1 고정구를이용하여상기전극과전기적으로연결되는제 1 부분및 제 2 고정구를이용하여상기히터몸체와전기적으로연결되는제 2 부분을포함하는스트랩몸체; 및상기스트랩몸체의상기제 1 부분에서상기제 2 부분으로또는상기제 2 부분에서상기제 1 부분으로전달되는열적스트레스또는기계적스트레스를완화시킬수 있도록상기제 1 부분과상기제 2 부분사이에설치되는스트레스완화부;를포함할수 있다.

    Abstract translation: 使用本发明的电极,并通过与所述第一紧固件电连接被连接到所述电极和电加热所述第一部分到所述主体sikilsu地面和第二紧固件涉及加热器的用于基板处理装置的研磨带装置 电连接到加热器本体的第二部分; 并且在第一部分和第二部分之间以减轻从带体的第一部分传递到第二部分或从第二部分传递到第一部分的热应力或机械应力 应力缓解部分。

    커팅보조장치
    14.
    发明授权
    커팅보조장치 有权
    切割辅助装置

    公开(公告)号:KR101389724B1

    公开(公告)日:2014-04-28

    申请号:KR1020120106210

    申请日:2012-09-25

    Inventor: 하태권

    Abstract: 본 발명은 소재를 원하는 각도로 절단하여 소재의 단면을 여러 각도에서 관찰할 수 있는 커팅보조장치를 위하여, 소재를 제1방향으로 절단할 수 있는 커팅장치에 고정될 수 있으며 상기 커팅장치에 고정되는 기울기를 안내하는 가이드라인이 일면에 형성되는 가이드블록과, 제2방향으로 연장된 회전축을 기준으로 상기 가이드블록에 회전가능하게 결합되며 제3방향으로 연장된 소재를 상기 제2방향과 수직하도록 고정시킬 수 있는 클램프를 포함하는 커팅보조장치를 제공한다.

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