公开(公告)号：KR101690753B1

公开(公告)日：2017-01-10

申请号：KR1020150106693

申请日：2015-07-28

Applicant: 강릉원주대학교산학협력단 ,  (주)보부하이테크

Inventor： 하태권 ,  박상엽 ,  김성진 ,  이주성 ,  조태현 ,  정용헌

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명은반도체초고온박막공정을위한저열전도도특성을갖는질화알루미늄히터용샤프트및 이의제조방법에관한것으로, 상부와하부가각각개방되고내부가빈 중공구조를가지며, 상부의직경이상단으로갈수록점점커지는직선형태의경사구조를갖는것을특징으로하는반도체제조공정용히터샤프트를제공한다.

公开(公告)号：KR101721921B1

公开(公告)日：2017-04-03

申请号：KR1020160021918

申请日：2016-02-24

Applicant: 강릉원주대학교산학협력단

Inventor： 하태권 ,  민석홍 ,  조태현 ,  이주성

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324 ,  H01L21/205 ,  H01L21/02 ,  H01L21/16

Abstract: 본발명은기판처리장치용히터의그라운드스트랩장치에관한것으로서, 전극과히터몸체를전기적으로연결시켜서접지시킬수 있도록제 1 고정구를이용하여상기전극과전기적으로연결되는제 1 부분및 제 2 고정구를이용하여상기히터몸체와전기적으로연결되는제 2 부분을포함하는스트랩몸체; 및상기스트랩몸체의상기제 1 부분에서상기제 2 부분으로또는상기제 2 부분에서상기제 1 부분으로전달되는열적스트레스또는기계적스트레스를완화시킬수 있도록상기제 1 부분과상기제 2 부분사이에설치되는스트레스완화부;를포함할수 있다.

Abstract translation: 使用本发明的电极，并通过与所述第一紧固件电连接被连接到所述电极和电加热所述第一部分到所述主体sikilsu地面和第二紧固件涉及加热器的用于基板处理装置的研磨带装置 电连接到加热器本体的第二部分; 并且在第一部分和第二部分之间以减轻从带体的第一部分传递到第二部分或从第二部分传递到第一部分的热应力或机械应力 应力缓解部分。