公开(公告)号：KR102073959B1

公开(公告)日：2020-02-05

申请号：KR1020170181241

申请日：2017-12-27

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김진호 ,  김효식 ,  오승천 ,  류재홍 ,  강석환

IPC: B01J23/75 ,  B01J23/755 ,  B01J21/04 ,  B01J35/00 ,  B01J23/89 ,  B01J23/83 ,  C10J3/00 ,  C10K3/04

公开(公告)号：KR101929012B1

公开(公告)日：2018-12-13

申请号：KR1020170110232

申请日：2017-08-30

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김효식 ,  김진호 ,  정기진 ,  오승천 ,  홍범의 ,  강석환

IPC: C01B3/38

Abstract: 모듈형 개질 반응기가 개시된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 튜브 모듈; 상기 튜브 모듈의 상부에 설치되어 상기 튜브 모듈의 상단을 폐쇄하는 상부 커버; 및 상기 튜브 모듈의 하부에 설치되는 하부 커버를 포함하고, 상기 튜브 모듈은, 내부에 개질 촉매가 장입되고, 외부로부터 제공되는 반응물과 상기 개질 촉매의 반응에 의해 합성 가스를 생성하는 개질 반응 튜브; 상기 개질 반응 튜브로부터 상기 합성가스를 제공받고, 제공받은 상기 합성가스의 폐열을 상기 개질 반응 튜브에 전달하는 열교환 튜브; 및 내부에 연소 촉매가 장입되고, 상기 열교환 튜브로부터 상기 합성가스를 제공받고, 외부로부터 제공되는 연료와 상기 연소 촉매의 반응에 의해 연소가스를 생성하고, 생성된 상기 연소가스의 열을 상기 개질 반응 튜브에 전달하며, 상기 연소가스와 상기 합성가스가 혼합된 혼합가스를 하부로 배출하는 연소반응 튜브를 포함하는 모듈형 개질 반응기가 제공될 수 있다.

公开(公告)号：KR101367158B1

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：KR1020120011060

申请日：2012-02-03

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김상식 ,  신중욱 ,  오승천 ,  김성민

IPC: C23C14/38 ,  H05H1/24

Abstract: 상압 플라즈마 복합 코팅 장치 및 방법이 개시된다. 본 발명의 상압 플라즈마 복합 코팅 장치 및 방법은 습식 코팅될 대상물을 상압 플라즈마 표면 처리하는 상압 플라즈마 세정 공정과, 상압 플라즈마 세정 공정에서 표면 처리된 대상물의 표면을 코팅하는 코팅 공정이 하나의 바디에서 이루어지는 세정 및 코팅 공정 일체형 플라즈마 전극 시스템을 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020120121655A

公开(公告)日：2012-11-06

申请号：KR1020110039585

申请日：2011-04-27

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김상식 ,  신중욱 ,  오승천

IPC: H01L51/56 ,  H05B33/10

Abstract: PURPOSE: An apparatus and method for coating a coating device for an OLED(organic light emitting diode) moisture transmission preventing film using atmospheric plasma are provided to reduce process time by allowing manufacturing in atmospheric pressure. CONSTITUTION: A ground electrode(20) is installed inside a furnace(10) of atmospheric pressure. The ground electrode mounts a coating target, an organic electroluminescent device(30). A DBD(Dielectric Barrel Discharge) coating electrode is arranged on the ground electrode at a predetermined interval. The DBD coating electrode forms plasma discharge while being exposed to the atmospheric pressure by being applied with RF energy. A process gas supply device(100) supplies a mixing process gas including an HMDSO(Hexamethyldisiloxane) precursor.

Abstract translation: 目的：提供使用大气等离子体涂覆OLED（有机发光二极管）防潮膜的涂布装置的装置和方法，通过允许制造大气压来缩短处理时间。 构成：接地电极（20）安装在大气压力的炉子（10）的内部。 接地电极安装涂覆靶，有机电致发光器件（30）。 绝缘筒放电涂布电极以预定间隔设置在接地电极上。 DBD涂层电极通过施加RF能量而暴露于大气压下形成等离子体放电。 工艺气体供给装置（100）提供包括HMDSO（六甲基二硅氧烷）前体的混合工艺气体。