-
公开(公告)号：KR1020110134105A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020100053901
申请日：2010-06-08
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: C23C16/44 , C23C16/40 , C23C16/50 , H01L21/205
Abstract: PURPOSE: An atmospheric pressure DBD plasma super-hydrophile property coating device using a liquid precursor is provided to maintain self-cleaning performance without the emission of ultraviolet ray in rain. CONSTITUTION: An atmospheric pressure DBD plasma super-hydrophile property coating device using a liquid precursor comprises an ground electrode(20), a DBD coating electrode(30) and a processing gas supply device. The coating big merchant for construction plate glass or film is settled in the ground electrode. The DBD coating electrode generates the plasma discharge in the state exposing to the atmospheric pressure after receiving RF energy. A mixer(120) mixes the process gas. The processing gas supply device emits the mixing process gas toward the DBD coating electrode surrounding through the construction progress gas supply pipe.
Abstract translation: 目的：提供使用液体前体的大气压DBD等离子体超亲水性涂料装置，以在雨中不发生紫外线而保持自清洁性能。 构成：使用液体前体的大气压DBD等离子体超亲水性涂布装置包括接地电极（20），DBD涂覆电极（30）和处理气体供给装置。 用于建筑板玻璃或薄膜的涂料大商人落在接地电极中。 DBD涂覆电极在接收到RF能量后，以暴露于大气压的状态产生等离子体放电。 混合器（120）混合工艺气体。 处理气体供给装置通过施工进度气体供给管向DBD涂覆电极发射混合处理气体。
-
公开(公告)号：KR101632633B1
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：KR1020140108460
申请日：2014-08-20
Applicant: 고등기술연구원연구조합
Abstract: 본발명은이중관구조의플라즈마/촉매일체형가스개질장치및 가스개질방법에관한것으로, 보다구체적으로는이산화탄소와탄화수소를포함하는혼합가스를수소와일산화탄소를포함하는합성가스로개질하는가스개질장치에있어서, 상기혼합가스를공급하는가스공급부; 상기가스공급부의하부중앙축에설치된플라즈마토치; 상기가스공급부의하단에하부가개방된형상으로설치되고, 상기플라즈마토치에의하여플라즈마화염이하방향으로형성되어, 플라즈마반응에의하여상기가스공급부로부터공급된혼합가스를 1차가스개질하는플라즈마반응기; 상기플라즈마반응기의외부를둘러싸도록설치되고, 상기플라즈마반응기에서생성된 1차개질가스및 고열이상방향으로유입되어촉매반응에의하여 2차가스개질하는촉매반응챔버; 및상기촉매반응챔버의상부에형성되어, 2차개질가스를배출하는가스배출부;를포함하고, 상기개질가스는수소와일산화탄소를포함하는합성가스인것을특징으로하는, 이중관구조의플라즈마/촉매일체형가스개질장치를개시한다.
-
公开(公告)号：KR1020130118425A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：KR1020120041252
申请日：2012-04-20
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: H05H1/46 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32532 , H01J37/32082 , H01J37/32348 , H01J37/3244 , H01J37/3255 , H01J37/32559 , H01J37/32715 , H01J37/32733 , H01L21/3065 , H05H1/46 , H05H2001/4645
Abstract: PURPOSE: A system for processing plasma etching under atmospheric pressure is provided to give hydrophilicity and pollution preventing characteristics to the surface of material by plasma etching of the surface. CONSTITUTION: A system for processing plasma etching under atmospheric pressure comprises a grounding fixture (100), a process gas supply unit (200), and an etching electrode portion (300). Material (400), a surface treatment object, is mounted on the top of the grounding fixture. The process gas supply unit supplies process gas for plasma etching. The etching electrode portion receives radio frequency (RF) energy to generate an RF electromagnetic field. The RF electromagnetic field converts the process gas into plasma so as to perform plasma etching on the surface of the material. [Reference numerals] (AA) He gas; (BB) CF_4 gas
Abstract translation: 目的：提供一种用于在大气压下进行等离子体蚀刻处理的系统，通过等离子体蚀刻表面，使材料的表面具有亲水性和防污染性。 构成：用于在大气压下处理等离子体蚀刻的系统包括接地固定装置（100），处理气体供应单元（200）和蚀刻电极部分（300）。 表面处理物体（400）安装在接地夹具的顶部。 处理气体供应单元提供用于等离子体蚀刻的处理气体。 蚀刻电极部分接收射频（RF）能量以产生RF电磁场。 RF电磁场将工艺气体转换成等离子体，以在材料的表面上进行等离子体蚀刻。 （标号）（AA）He气; （BB）CF_4气体
-
公开(公告)号：KR1020100125862A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：KR1020090044794
申请日：2009-05-22
Applicant: 고등기술연구원연구조합
Abstract: PURPOSE: A corona/plasmatron complex system is provided to reduce the power consumption by using a purification device using the corona discharge as a main processing device. CONSTITUTION: A corona/plasmatron complex system comprises the following: an inlet pipe(10) for inserting volatile organic compound(VOC) gas for processing; a flow controller(20) for controlling the insertion amount of the gas, and condensing the concentration of VOC gas; a corona reactor(30) applying high voltage DC pulse power for firstly decomposing harmful materials from the gas; a plasmatron reactor(40) for applying high-current DC power for secondly decomposing the harmful materials; a concentration sensor(50) sensing the concentration of toxic gas; and a discharging hole(60) for the VOC gas.
Abstract translation: 目的：提供电晕/等离子体复合系统，通过使用使用电晕放电的净化装置作为主要处理装置来降低功耗。 构成：电晕/等离子体复合系统包括：用于插入挥发性有机化合物（VOC）气体用于加工的入口管道（10） 流量控制器（20），用于控制气体的插入量，并且浓缩VOC气体的浓度; 电晕反应器（30），施加高压DC脉冲功率，首先从气体中分解有害物质; 用于施加大电流DC电力以二次分解有害材料的等离子体反应器（40）; 检测有毒气体浓度的浓度传感器（50）; 和用于VOC气体的排出孔（60）。
-
公开(公告)号：KR102092314B1
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：KR1020180120621
申请日：2018-10-10
Applicant: 고등기술연구원연구조합 , 한국서부발전 주식회사 , 케이피엘 밸브공업 주식회사
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101866368B1
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：KR1020160171386
申请日：2016-12-15
Applicant: 고등기술연구원연구조합 , 한국서부발전 주식회사 , 주식회사 컴버스텍
CPC classification number: F16K5/201 , B08B5/02 , F16K5/06 , F16K27/067
Abstract: 본발명은분체비산형메탈시트볼밸브에관한것으로, 더욱상세하게는메탈시트에고압가스분사배출구를형성함으로써, 메탈시트의볼 접촉면주위에부착또는적체된분체를비산시켜기밀성을유지할수 있는분체비산형메탈시트볼밸브에관한것이다. 본발명에따른분체비산형메탈시트볼밸브는내부에분체수송통로가마련된밸브하우징; 상기분체수송통로에배치되어회전함으로써상기분체수송통로의개폐를조절하는밸브체; 상기밸브체를사이에두고서로마주하도록배치되는메탈시트; 및상기메탈시트에고압가스를공급하는고압가스배관을포함하며, 상기메탈시트는, 상기분체수송통로방향과평행한방향으로고압가스가분사되도록하는제1 배출구; 및상기메탈시트의내주에형성되고, 상기메탈시트의중심방향으로고압가스가분사되도록하는제2 배출구를포함한다.
-
公开(公告)号：KR1020160022640A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：KR1020140108460
申请日：2014-08-20
Applicant: 고등기술연구원연구조합
Abstract: 본발명은이중관구조의플라즈마/촉매일체형가스개질장치및 가스개질방법에관한것으로, 보다구체적으로는이산화탄소와탄화수소를포함하는혼합가스를수소와일산화탄소를포함하는합성가스로개질하는가스개질장치에있어서, 상기혼합가스를공급하는가스공급부; 상기가스공급부의하부중앙축에설치된플라즈마토치; 상기가스공급부의하단에하부가개방된형상으로설치되고, 상기플라즈마토치에의하여플라즈마화염이하방향으로형성되어, 플라즈마반응에의하여상기가스공급부로부터공급된혼합가스를 1차가스개질하는플라즈마반응기; 상기플라즈마반응기의외부를둘러싸도록설치되고, 상기플라즈마반응기에서생성된 1차개질가스및 고열이상방향으로유입되어촉매반응에의하여 2차가스개질하는촉매반응챔버; 및상기촉매반응챔버의상부에형성되어, 2차개질가스를배출하는가스배출부;를포함하고, 상기개질가스는수소와일산화탄소를포함하는합성가스인것을특징으로하는, 이중관구조의플라즈마/촉매일체형가스개질장치를개시한다.
Abstract translation: 本发明涉及具有双管结构的等离子体/催化剂一体化气体重整装置及使用其的气体重整方法，更具体地说，涉及将含有二氧化碳和烃的混合气体重整的气体重整装置 含有氢和一氧化碳的合成气，其包括：用于供应混合气体的气体供应; 安装在气体供应的较低中心轴线处的等离子体焰炬; 安装在气体供应下的等离子体反应器，使得等离子体反应器具有开放的底部，以通过等离子体反应等离子体反应主要改变从气体供应源供应的混合气体;等离子体反应器由等离子体焰炬向下形成的等离子体火焰; 催化剂反应室，其安装成围绕等离子体反应器的外表面，以使用在等离子体反应器中产生并向上馈送的主要重整气体和热量通过催化剂反应进行二次重整; 以及气体放电单元，其形成在所述催化剂反应室上以排出二次重整气体，其中所述重整气体是含有氢和一氧化碳的合成气。
-
公开(公告)号：KR1020130090037A
公开(公告)日：2013-08-13
申请号：KR1020120011060
申请日：2012-02-03
Applicant: 고등기술연구원연구조합
Abstract: PURPOSE: An atmospheric pressure composite coating apparatus is provided to reduce the number of processes, process time, and system costs. CONSTITUTION: An atmospheric pressure composite coating apparatus comprises the following steps. An object to be wet-coated goes through the atmospheric pressure plasma surface treatment. The surface of the surface-treated object is coated in an atmospheric pressure plasma cleaning process. A plasma electrode system which is integrated with a cleaning and a coating process includes a cleaning unit (110), a coating unit (120), and a plasma electrode body (130). The cleaning unit deals with the atmospheric pressure plasma cleaning process. The coating unit deals with a coating process. The plasma electrode body is installed with the cleaning unit and the coating unit. [Reference numerals] (AA) Coating solution
Abstract translation: 目的：提供大气压复合涂层设备，以减少工艺数量，加工时间和系统成本。 构成：大气压复合涂布装置包括以下步骤。 待涂覆的物体经过大气压等离子体表面处理。 表面处理物体的表面被涂覆在大气压等离子体清洗工艺中。 与清洁和涂覆工艺集成的等离子体电极系统包括清洁单元（110），涂覆单元（120）和等离子体电极体（130）。 清洁装置处理大气压等离子体清洗过程。 涂层单元处理涂层工艺。 等离子体电极体安装有清洁单元和涂覆单元。 （附图标记）（AA）涂布液
-
公开(公告)号：KR1020150057249A
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：KR1020130140336
申请日：2013-11-19
Applicant: 고등기술연구원연구조합
Abstract: 본발명은디젤연료분사장치의부품및 이의코팅방법에관한것으로서, 더욱구체적으로는디젤인젝터연료분사장치에서디젤인젝터니들(diesel injector needle), 밸브시트(valve seat), 디젤인젝터스풀밸브(diesel injector spool valve), 그리고스풀바디시트(spool body seat)에적용되는 DLC 코팅의기계적성질및 내마모성을유지하면서 DLC 코팅의밀착력을개선하여, 디젤인젝터의성능유지및 수명을향상시킬수 있는디젤연료분사장치의부품및 이의코팅방법에관한것이다. 본발명에따른디젤연료분사장치부품의코팅방법은디젤인젝터연료분사장치에서디젤인젝터니들(diesel injector needle), 상기디젤인젝터니들이접촉하는밸브시트(valve seat), 디젤인젝터스풀밸브(diesel injector spool valve), 그리고상기디젤인젝터스풀밸브가접촉하는스풀바디시트(spool body seat)에 CH가스와 CH가스를사용하여구배형 DLC 코팅이이루어지도록한다.
Abstract translation: 本发明涉及柴油燃料喷射装置的一部分及其涂布方法，更具体地，涉及一种能够通过以下方式提高柴油喷射器的维护性能和寿命的柴油燃料喷射装置及其涂布方法中的一部分 提高了在柴油喷射器燃料喷射装置中施加到柴油喷射器针头，阀座，柴油喷射器滑阀和卷轴主体座椅的类金刚石碳（DLC）涂层的粘附力。 根据本发明，在柴油喷射装置中涂覆部件的方法在柴油喷射针上形成梯度DLC涂层，与柴油喷射器针接触的阀座，柴油喷射器滑阀和 阀芯阀座，柴油喷射器滑阀在柴油喷射器燃料喷射装置中与CH_4气体和C_2H_2气体接触。
-
公开(公告)号：KR101227961B1
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：KR1020100053901
申请日：2010-06-08
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: C23C16/44 , C23C16/40 , C23C16/50 , H01L21/205
Abstract: 본 발명은 액상 프리커서를 사용한 대기압 DBD 플라즈마 초친수 코팅장치로서, 코팅 대상인 건축용 판유리 또는 필름(10)이 안착되는 접지 치구(ground plate)(20)와, RF에너지를 인가받아 대기압에 노출된 상태에서 플라즈마 방전을 일으키는 DBD(Dielecric Barrier Discharge : 절연막방전) 코팅 전극(30)사이의 방전영역에서 발생된 플라즈마 방전에 의한 화학적 증착작용에 의해 건축용 판유리 또는 필름(10)에 초친수 기능이 부여되도록 헬륨 가스, 알곤 가스, 산소 가스를 혼합기(120)에서 혼합한 혼합 공정가스를 공정가스 공급관(122)을 통해 DBD 방전 전극(30) 주위에 분사시키는 공정가스 공급부(100)를 포함하여, 건축용 판유리 또는 필름(10)에 자기세정 및 방오염 특성을 나타난다. 헬륨 가스는 TiOx 금속 산화물에 의한 친수성 기능이 부여되는 액상 프리커서(150)를 통해 혼합기(120)에 공급되며, 기화장치로서 버블러(160)를 사용한다. 판유리 또는 필름(10)의 표면 전체에 코팅의 균일도(uniformity)를 향상시키기 위해서 플라즈마 상태의 방전 영역에 골고루 노출시키도록 접지 치구(20)는 회전하면서 직선왕복운동을 할 수 있도록 제어되며, 판유리 또는 필름(10)은 회전하는 접지 치구(10)의 판 위에 놓여 DBD 방전 전극(30)과 일정 간격을 유지하며 회전하면서 정속도로 직선왕복 이동한다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
14
records
(took 0.018 seconds)
