公开(公告)号：KR100890211B1

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：KR1020070114542

申请日：2007-11-09

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 주병권 ,  이의복 ,  권재홍 ,  신경 ,  여철호

IPC: H01L27/115 ,  H01L21/027 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B81C1/0046 ,  B82Y40/00 ,  H01L27/115 ,  Y10S977/887

Abstract: A non-volatile memory device producing method is provided to form the minute pattern on the semiconductor substrate by transferring the fine pattern on the semiconductor substrate through the nano imprinting technology. A resist layer(320) is formed on a substrate(310). A stamp(330) is contacted with the resist layer and the unevenness pattern of stamp is transferred onto the resist layer. The memory layer is formed on the resist layer on the substrate. The resist layer positioned between the memory layers is removed. The ion injection process is performed to the substrate and the source and drain regions are formed between the memory layers.

Abstract translation: 提供了一种非易失性存储器件的制造方法，用于通过纳米压印技术在半导体衬底上转印精细图案，在半导体衬底上形成微小图案。 在基板（310）上形成抗蚀剂层（320）。 印模（330）与抗蚀剂层接触，印模的凹凸图案转印到抗蚀剂层上。 存储层形成在基板上的抗蚀剂层上。 位于存储层之间的抗蚀剂层被去除。 对衬底进行离子注入处理，并且在存储层之间形成源区和漏区。

公开(公告)号：KR100842038B1

公开(公告)日：2008-06-30

申请号：KR1020070107098

申请日：2007-10-24

Applicant: 주식회사 에스앤에스레볼루션 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 주병권 ,  신경 ,  여철호

IPC: G01N33/26 ,  G01N33/00 ,  G01N33/28 ,  G01N33/30

CPC classification number: G01N33/2876 ,  G01N27/07

Abstract: 오일의 전산가 측정 장치, 오일의 전산가 측정을 이용한 수명 산출 장치 및 오일의 전산가 및 오일센서 측정 방법이 개시된다.
본 발명은 컨덕턴스 변화량과 해당하는 오일의 전산가 및 물성 측정치를 매칭시킨 전산가 테이블을 저장하는 전산가 테이블 저장부, 윤활유 및 절연유를 포함하는 상기 오일에서 컨덕턴스를 측정하는 컨덕턴스 측정 센서부, 및 상기 측정된 컨덕턴스에 따른 전산가 및 물성 측정치를 상기 전산가 테이블에서 검색하여 상기 오일의 전산가 정보를 출력하는 전산가 산출부를 포함하고, 상기 컨덕턴스 측정 센서부는 소정의 면적으로 형성된 기판, 상기 오일의 컨덕턴스를 측정하기 위하여 상기 기판 상면으로 탄소나노튜브를 스크린 프린팅하여 소결시킨 판 형태의 컨덕턴스 감지막, 및 상기 감지막 상면에 형성하거나 상기 감지막 상면에서 기판 상면으로 연장되게 형성하여 외부 전원에 연결되도록 진공증착 방법을 이용하여 패터닝한 상부전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 고감도의 컨덕턴스 측정 센서를 이용하여 측정 정확성을 높이고, 윤활유와 절연유에 모두 적용이 가능하며, 전산가 측정 장비의 크기를 줄이고 구조를 단순화시킬 수 있으며, 전산가 측정을 통해 오일의 수명을 정확히 판단할 수 있어 오일을 사용하는 장비를 최적의 상태로 관리 및 유지할 수 있는 편의성을 제공한다.
탄소나노튜브, 기판, 감지막, 오일, 센서

公开(公告)号：KR100819539B1

公开(公告)日：2008-04-08

申请号：KR1020060072892

申请日：2006-08-02

Applicant: 팜스텍(주) ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 이영종 ,  주병권 ,  신경 ,  여철호

IPC: G02F1/13357 ,  C25D7/00

Abstract: 본 발명은 도광판 제조용 금형 제조방법에 관한 것으로, 도광판의 상부 표면에 미세 프리즘 요철을 형성하여 휘도를 상향시켜며, 도광판의 하부 표면에 산란 및 확산의 기능을 가지는 홀로그램 패턴을 형성하여 균일 면광원화함으로써 보다 높은 휘도를 얻기 위한 프리즘과 홀로그램 패턴을 갖는 일체형 도광판 제조용 금형 제조방법에 관한 것이다. 이렇게, 도광판을 제조할 경우 도광판의 측면에서 투과되는 광 휘도를 크게 향상시키며, 도광판 상면의 출광원도 균일하게 상향 일직선으로 방출하며 고휘도의 효과가 있다.
도광판, 프리즘, 홀로그램, 금형