公开(公告)号：KR1019960043847A

公开(公告)日：1996-12-23

申请号：KR1019950013355

申请日：1995-05-26

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 액츄에이터들을 분리하고 쏘잉시 발생되는 입자들에 의해 액츄에이터가 오염되는 것을 방지하는 제 1 보호막을 형성한 후 다이아몬드 톱등으로 유효면을 한정하는 트랙을 유효면과 무효면 사이에 구동기판 두께의 절반 정도의 깊이로 형성한 다음 희생막을 제거하고 세정 및 건조한 후 트랙에 의해 한정된 유효면을 제외한 무효면을 기계적으로 절단한다. 따라서, 무효면을 절단하여 제거할 때 트랙에 의해 구동기판이 절반 정도 절단되어 있으므로 작은 힘에 의해서도 쉽게 절단되며, 이에 의해, 발생되는 충격이 작으므로 유효면의 액츄에이터의 손상을 최소화 할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019940027538A

公开(公告)日：1994-12-10

申请号：KR1019930007672

申请日：1993-05-04

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배 ,  김동국

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 M×N개의 화소를 갖는 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 이 방법은 M×N행렬의 화소를 갖는 투사용 화상표시장치의 제조방법에 있어서, 2M 2개의 세라믹충돌과 2M 1개의 금속층들이 교호하여 적층된 다층세라믹을 형성하는 공정과 ; 상기 적층된 다층세라믹에 분극 전극을 적용하여 분극하는 공정과 ; 상기 다층 세라믹을 수직방향으로 절단하여 세라믹웨이퍼를 만들고 어느 하나의 금속층들을 중심으로 돌출되는 형상을 갖는 어느 하나의 금속층들을 중심으로 돌출되는 형상을 갖는 어느 하나의 금속층을 갖는 세라믹에 대하여 좌우의 다른 금속층을 갖는 세라믹층에 홈들을 형성하고, 이 홈들 내부에 또다른 금속층을 도포하는 공정과 ; 상기 홈들과 수직방향으로 N-1회 절단하여 M×N행렬의 액츄에이터를 형성하는 공정과 ; 상기 액츄에이터들을 능동매트릭스의 기판에 실장하고 상기 금속층들을 전기적으로 연결하는 도선들을 형성하는 공정과 ; 상기 액츄에이터 상부에 거울들을 실장하는 공정을 구비한다. 따라서, 종래 투사형 TV에 이용되는 투과용 액정표시 장치가 가지는 평광판에 의한 광손실과, 액정자체 및 박막트랜지스터에 의한 광투과손실 등으로 인한 낮은 광효율을 AMA를 채용하여 광효율을 크게 향상시킬 수 있는 광로조절장치를 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019940010755A

公开(公告)日：1994-05-26

申请号：KR1019920020367

申请日：1992-10-31

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배 ,  임대영

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 적, 녹 및 청색의 광을 발생하는 광다이오드를 사용한 투사형 화상표시장치에 관한 것이다. 상기 화상표시장치는 다수의 단색광을 발생하는 광원과, 상기 다수의 단색광을 합성하고 집중하는 렌즈부와, 상기 합성되고 집중된 광을 반사하는 반사경과, 상기 반사되는 광에 의해 화상이 표시된 스크린을 구비하여 적, 녹 및 청색의 단색광들을 합성하여 원하는 색광을 얻으므로 색의 순도가 높고 색재현 범위가 넓어 선명한 색광을 얻을 수 있으며, 광원으로 광다이오드를 이용하므로 색광을 분리하기 위한 색필터가 필요하지 않게 되어 시스템이 작고 간단하며 광효율이 높다.

公开(公告)号：KR100229787B1

公开(公告)日：1999-11-15

申请号：KR1019960017801

申请日：1996-05-23

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 투사형 화상 표시 장치로 사용되는 광로 조절 장치의 광반사 효율을 극대화시키기 위하여 광반사 유효 면적이 최대로 유지된 액츄에이터의 모듈 구조에 관한 것으로, 캔틸레버 구조의 멤브레인상에 순차적으로 적층되어서 형성된 하부 전극, 변형부 및 상부 전극으로 이루어져 있는 복수개의 액츄에이터를 구비하고 있으며 상기 상부 전극은 소정 크기의 갭에 의하여 소정 간격으로 이격된 육각형 구조로 이루어져 있는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조에 의해서 달성되며 그 결과 광반사 유효 면적은 전체 면적중 약 98.36%를 차지하여서 광반사 효율을 극대화시킨다.

公开(公告)号：KR100220690B1

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：KR1019960042748

申请日：1996-09-25

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배 ,  민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 향상된 광 효율을 갖을 뿐만 아니라 제조 공정시 요구되는 고온에 의한 악영향을 줄일 수 있는 박막형 광로 조절 장치의 어레이 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치의 어레이는 다수의 스위칭 소자를 갖는 구동기판, 액츄에이터의 어레이 및 거울의 어레이를 포함한다. 상기 각 액츄에이터는 관련 스위칭 소자와 중첩되지 않고 관련 스위칭 소자의 옆에 형성되어져 있다. 상기 각 거울은 액츄에이터의 상부 끝단에 붙여진 오목한 부분을 통해 액츄에이터와 이격되어 2층 구조로 별도로 형성되어져 있으므로, 박막형 광로 조절 장치의 구동에 의해 액츄에이터가 휘어지더라도 거울은 평형을 유지할 수 있게 되고, 거울에 입사되는 광속을 더 정확하고 효과적으로 반사할 수 있게 되어 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 전반적인 광효율을 증가시킬 수 있다. 게다가, 상기 각 액츄에이터가 관련 스위칭 소자와 중첩되지 않고 관련 스위칭 소자의 옆에 위치하기 때문에, 액츄에이터의 형성시 요구되는 고온 공정이 모두 끝난 후에 구동기판과 액츄에이터 사이의 전기적인 연결 공정을 함으로서 고온에 의해 발생되는 스파킹 (spiking) 등의 단락 현상을 줄일 수 있다.

公开(公告)号：KR100203578B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019940034976

申请日：1994-12-19

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 희생막의 제거시에 발생할 수도 있는 스틱킹현상을 완전히 억제할 수 있는 광로조절장치의 제조방법과, 상기 제조방법에서 희생막의 제거공정에 채용되는 제조시스템을 제공한다.
본 발명은 제조방법은 구동기판상에 희생막을 퇴적하고 희생막을 소정 형상으로 패터닝하는 제1공정과, 상기 패터닝된 희생막을 포함하는 전표면상에 소정 갯수의 구동박막층을 퇴적시키고 상기 희생막의 일부가 노출되도록 소정 형상으로 패터닝하여 구동박막을 형성하는 제2공정, 상기 희생막을 건식 에칭방법에 의해 제거하는 제3공정을 포함하여 이루어진다. 그리고, 본 발명의 제조시스템은 상기 제조방법에서 희생막을 에칭제거하는 제3공정에서 사용된다.

公开(公告)号：KR1019980030151A

公开(公告)日：1998-07-25

申请号：KR1019960049527

申请日：1996-10-29

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 열 확산 및 응력에 의한 막간 박리 및 디펙트 형성을 방지하여 누설 전류를 방지하기 위하여, 상기 박막형 광로 조절 장치의 제조시 각층별로 응력을 풀어주고, 질화 티타늄(TiN)으로 컨택트 메탈의 확산 장벽층을 형성하며, 컨택트 메탈 및 플러그 메탈을 고융점 메탈로 형성함으로써, 상기 박막형 광로 조절 장치의 성능 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100124270B1

公开(公告)日：1997-09-24

申请号：KR1019930031713

申请日：1993-12-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: H04N5/74

公开(公告)号：KR100124269B1

公开(公告)日：1997-09-24

申请号：KR1019930031714

申请日：1993-12-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: H04N5/74

公开(公告)号：KR1019970006987B1

公开(公告)日：1997-05-01

申请号：KR1019930004502

申请日：1993-03-23

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 지정범 ,  전용배

IPC: H04N5/74

Abstract: A light path adjusting means of a projection image display device is provided to enhance the manufacturing and to accomplish high-density pixels. The light path adjusting means comprises a substrate in which each pixel has a transistor and wiring patterns of matrix pattern are formed therein; a fixing portion(35) which is formed on the substrate(31); an actuator(40) which has a stacked structure in which one side of the lower portion thereof is attached to an upper portion of the fixing portion and which deflects upward and downward when a signal voltage is applied; a reflection mirror which is attached to an upper portion of the actuator(40) and has an inclined angle by the deflection of the actuator(40).

Abstract translation: 提供投影图像显示装置的光路调整装置，以增强制造并实现高密度像素。 光路调整装置包括其中每个像素具有晶体管并且其中形成有矩阵图案的布线图案的基板; 形成在所述基板（31）上的固定部（35）; 具有堆叠结构的致动器（40），其下部的一侧安装在固定部的上部，并且在施加信号电压时向上和向下偏转; 反射镜，其附接到致动器（40）的上部并且由于致动器（40）的偏转而具有倾斜角。