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公开(公告)号：KR100209402B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019940004520
申请日：1994-03-09
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 이 트랜지스터 각각에 2개의 접속단자가 전기적으로 연결되도록 형성된 구동기판의 상부에 희생막을 형성한 후, 상기 접속단자가 노출되도록 상기 희생막의 일부를 제거하는 공정과, 상기 희생막의 제거로 노출된 부분에 지지부를 형성하는 공정과, 상기 희생막과 지지부의 상부에 멤브레인을 형성하는 공정과, 상기 멤브레인 및 지지부의 일부를 제거하여 상기 접속단자가 노출되는 개구를 형성하고, 상기 개구에 플러그를 형성하는 공정과, 상기 멤브레인의 상부 전면에 상기 플러그와 전기적으로 연결되는 신호 전극을 형성하는 공정과, 상기 신호 전극의 상부에 변형부 및 반사막을 순차적으로 형성하는 공정과, 상기 반사막을 패터닝하여 상기 � ��지부의 상부에 형성된 반사막을 바이어스 전극으로 분리하는 공정과, 상기 희생막을 제거하는 공정을 구비한다. 따라서, 바이어스 전극이 변형부 상부의 지지부와 중첩되는 부분을 포함하는 일부분에만 형성되므로 나머지 부분에 형성된 반사막이 변형부와 멤브레인의 스트레스로 인한 휘어짐이 발생되지 않고 평탄함을 유지하므로 광효율을 향상시킬 수 있으며, 크랙 발생에 억제되어 수명을 연장시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019970077697A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960017804
申请日：1996-05-23
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: H01L27/12
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조에 관한 것으로 이러한 모듈 구조는 실리콘 기판에 복수개의 능동 소자가 매트릭스 구조로 내장되어 있는 액티브 매트릭스상에 소정 형상으로 형성된 복수개의 층들로 이루어져 있고, 복수개의 층들은 압전 세라믹 재료로 이루어진 압전층에 의해서 소정 간격으로 이격되어 있는 상부 전극 및 하부 전극을 포함하고 있으며, 상부 전극은 그의 일부를 제거함으로서 형성된 2개의 이소 컷팅부에 의해서 전기적으로 단락된 작동 전극부와 전기적으로 단선된 2개의 수동 전극부로 이루어지며 이에 의해 외부로부터 하부 전극에 전기적 신호가 인가될 때 상부 전극과 하부 전극사이에 전위차가 발생되지 않는 부분이 형성되고 그 결과 액츄에이터의 구동부가 틸팅될 때 소정의 곡률 반경을 전반적으로 구비 지 않는 평편한 표면이 제공됨으로서 난반사 특성을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 유효 반사 면적을 증대시킬 수 있다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1019970008398B1
公开(公告)日：1997-05-23
申请号：KR1019930031714
申请日：1993-12-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: H04N5/74
Abstract: a driving substrate(130) where transistors are built in and which has contact terminals connected with the transistors electrically on its surface; an actuator supporting part(120) formed on the driving substrate(130) having contact terminals connected electrically; an actuator(400) comprising an elastic part(180) formed with a nitride or an oxide, a signal electrode(160) connected with a conduction terminal connected electrically on the driving substrate(130), a transformation part(170) made of a thin ceramic film, a plug(115) connecting the transformation part(170) with the contact terminal electrically and a bias electrode(190) connected with a conduction terminal connected electrically on the driving substrate(130); a mirror(110) formed on the surface of the actuator(400); and a bending-preventing supporting part(140) located on the top surface of the other axis of the driving substrate(130).
Abstract translation: 驱动基板（130），其内置有晶体管，并且其表面上具有与晶体管电连接的接触端子; 形成在驱动基板（130）上的致动器支撑部（120），其具有电连接的接触端子; 包括由氮化物或氧化物形成的弹性部分（180）的致动器（400），与驱动基板（130）电连接的导电端子连接的信号电极（160），由 将所述变形部分（170）与所述接触端子电连接的插头（115）以及与在所述驱动基板（130）上电连接的导电端子连接的偏置电极（190）。 形成在所述致动器（400）的表面上的反射镜（110）; 以及位于驱动基板（130）的另一轴的上表面上的防弯曲支撑部（140）。
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